3-Zone 튜브 퍼니스는 유연한 어닐링 및 화학 기상 증착(CVD) 공정을 위해 설계되어 다양한 용도에 맞는 다양한 가스를 수용할 수 있습니다.일반적인 가스에는 매니폴드 시스템을 통해 유입되는 아르곤(Ar), 질소(N2), 수소 혼합물(예: 아르곤에 4% H2)이 포함됩니다.이러한 가스는 필요한 특정 열 또는 화학적 처리에 따라 퍼징, 공정 분위기 제어, 반응 환경 등의 용도로 사용됩니다.퍼니스의 설계는 이러한 가스와의 호환성을 보장하는 동시에 정밀한 온도 제어와 안전성을 유지합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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호환 가스:
- 아르곤 (Ar):어닐링과 같은 고온 공정에서 산화를 방지하기 위해 산소가 없는 환경을 만드는 데 자주 사용되는 불활성 가스입니다.
- 질소(N2):퍼징에 사용되거나 CVD 공정에서 운반 가스로 사용되는 또 다른 불활성 가스.
- 수소 혼합물(예: 아르곤에 4% H2):CVD 또는 침탄 처리와 같은 환원 분위기 또는 특정 화학 반응에 사용됩니다.3존 튜브 퍼니스 3존 튜브 용광로 는 이러한 가스를 안전하게 처리하도록 설계되었습니다.
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가스 전달 시스템:
- 용광로에는 매니폴드 를 사용하여 가스 도입을 제어하고 정확한 유량과 분포를 보장합니다.이는 가스 구성과 흐름이 증착 품질에 직접적인 영향을 미치는 CVD와 같은 공정에 매우 중요합니다.
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공정 응용 분야:
- 어닐링:일반적으로 샘플을 산화로부터 보호하기 위해 불활성 가스(Ar, N2)를 사용합니다.
- 화학 기상 증착(CVD):필름 성장을 촉진하기 위해 반응성 가스(예: H2 혼합물) 또는 운반 가스(Ar, N2)가 필요할 수 있습니다.
- 침탄:고온 침탄에 대한 참조에서 언급했듯이 표면 처리에는 수소 함유 가스를 사용할 수 있습니다.
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안전 및 유연성:
- 퍼니스의 설계는 특히 온도 범위(최대 1000°C)를 고려하여 안전성을 유지하면서 이러한 가스와의 호환성을 보장합니다.매니폴드 시스템을 통해 가스를 쉽게 전환할 수 있어 다양한 실험 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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배기 고려 사항:
- 가스 도입과 직접적인 관련이 없지만, 용광로의 배기 처리 방법(예: 연소, 흡착)은 특히 H2와 같은 반응성 가스를 사용할 때 부산물의 안전한 처리를 보장합니다.
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비교 이점:
- 오염이없는 환경에서 탁월한 진공로와 달리 3-Zone 튜브 퍼니스는 다음을 제공합니다. 대기 제어 가스를 사용하여 특정 기체 상 반응이 필요한 공정에 이상적입니다.
이러한 점을 이해하면 구매자는 특정 열 또는 화학 처리 요구 사항에 적합한 가스와 구성을 선택할 수 있습니다.가스 선택이 공정 결과에 어떤 영향을 미칠 수 있는지 고려해 보셨나요?
요약 표:
| 가스 유형 | 주요 용도 | 일반적인 응용 분야 |
|---|---|---|
| 아르곤(Ar) | 불활성 분위기, 산화 방지 | 어닐링, CVD 캐리어 가스 |
| 질소(N2) | 퍼징, 불활성 캐리어 가스 | CVD, 시료 보호 |
| 수소 혼합물 | 환원 분위기, 반응 | 침탄, CVD 공정 |
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