CVD & PECVD Furnace
진공 스테이션 CVD 기계가 있는 스플릿 챔버 CVD 튜브 퍼니스
품목 번호 : KT-CTF12
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 최대 온도
- 1200℃
- 용광로 튜브 직경
- 60mm
- 가열 속도
- 0-20℃/min
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세부 정보 및 부품
소개
킨텍은 탁월한 R&D 및 자체 제조를 활용하여 다양한 실험실 요구에 맞는 고급 고온 용광로 솔루션을 제공합니다. The 진공 스테이션이 있는 분할 챔버 CVD 튜브 퍼니스 은 까다로운 화학 기상 증착(CVD) 애플리케이션을 위해 세심하게 설계된 다목적 고성능 시스템을 제공합니다.
이 퍼니스는 정밀하고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 연구에 도움이 되는 주요 기능은 다음과 같습니다:
- 분할 퍼니스 챔버: 반응 샘플에 바로 접근할 수 있고 빠른 냉각이 가능하여 실험 효율과 처리량이 크게 향상됩니다.
- 고온 기능: 최대 1200°C의 온도가 필요한 공정에 적합한 고순도 석영 튜브(표준 60mm 직경, 맞춤형 옵션 사용 가능)를 사용합니다.
- 정밀한 가스 제어: 4채널 MFC 질량 유량계가 장착되어 CH4, H2, O2, N2와 같은 소스 가스를 정확하고 안정적으로 공급하여 일관된 공정 결과를 제공합니다.
- 통합 진공 스테이션: 최대 진공 압력 10 Pa를 달성할 수 있는 견고한 4L/S 로터리 베인 진공 펌프로 다양한 진공 공정에 최적의 환경을 보장합니다.
킨텍은 고유한 실험 요건에 따라 유연한 솔루션이 필요하다는 것을 잘 알고 있습니다. 이 시스템은 재료 과학, 반도체 공정 및 선구적인 R&D에 이상적인 고급 기능으로 가득 차 있지만, 당사의 강력한 심층 맞춤화 기능을 통해 고객의 특정 요구 사항에 맞게 추가로 맞춤화할 수 있습니다. 머플, 튜브, 로터리 퍼니스, 진공 및 대기 퍼니스, 고급 CVD/PECVD/MPCVD 시스템을 포함한 포괄적인 제품 라인에 걸친 전문 지식을 바탕으로 고객의 작업에 완벽한 솔루션을 제공합니다.
연구 역량을 높이거나 CVD 공정을 위한 맞춤형 구성을 논의할 준비가 되셨나요? 지금 바로 전문가에게 문의하세요. 로 연락하여 정확한 실험 요건에 맞게 분할 챔버 CVD 튜브 용광로를 조정하는 방법을 알아보고 견적을 요청하세요.
응용 분야
진공 스테이션이 있는 분할 챔버 CVD 튜브 용광로는 재료 과학, 반도체 제조 및 연구 개발 분야의 다양한 응용 분야를 위해 설계된 다목적 고급 장비입니다. 이 장비는 온도, 가스 흐름, 진공 수준을 정밀하게 제어해야 하는 공정에 특히 유용하며 고품질 재료 합성 및 가공에 필수적인 도구입니다.
- 나노 물질 합성: 이 퍼니스는 첨단 전자 및 광전자 장치 개발에 필수적인 나노 와이어, 나노 필름 및 기타 나노 구조 재료의 성장에 이상적입니다.
- 진공 코팅: 금속 필름, 세라믹 필름, 복합 필름 등 다양한 기판에 박막을 증착하는 데 광범위하게 사용되며, 광학 및 전자 등의 분야에서 재료의 특성을 향상시키는 데 필수적입니다.
- 배터리 재료 가공: 이 퍼니스는 고성능 배터리 생산의 핵심 단계인 배터리 재료의 건조 및 소결에 적합합니다.
- 재료 건조 및 소결: 세라믹, 내화 재료 및 특수 재료의 고온 소결에 사용되어 이러한 재료의 응집 및 치밀화를 보장합니다.
- 대기 및 진공 열처리: 수직 튜브 퍼니스 구성으로 소형 강철 부품의 담금질, 어닐링 및 템퍼링은 물론 수직 CVD 코팅이 가능하여 야금 공정에서 귀중한 자산이 될 수 있습니다.
- 연구 및 개발: 대학, 연구 기관, 산업 및 광업 기업에서 고온 실험, 대기 소결, 환원 대기 및 CVD/CVI 실험을 수행하기 위해 널리 사용되어 재료 과학 및 기술 발전에 기여하고 있습니다.
특징
진공 스테이션 CVD 기계가 장착된 분할 챔버 CVD 튜브 퍼니스는 첨단 화학 기상 증착(CVD) 공정을 위해 설계된 정교한 장비입니다. 이 퍼니스는 최첨단 기술을 통합하여 박막 증착의 효율성과 품질을 향상시켜 연구 및 산업 응용 분야에 이상적입니다. 주요 특징과 장점은 다음과 같습니다:
- 높은 박막 증착률: 이 퍼니스는 무선 주파수 글로우 기술을 활용하여 필름 증착 속도를 크게 향상시켜 최대 10Å/S에 이릅니다. 이러한 빠른 증착은 처리량이 많은 생산 및 연구에 매우 중요하므로 시간을 절약하고 생산성을 높일 수 있습니다.
- 대면적 균일성: 이 퍼니스는 고급 멀티포인트 RF 피드 기술과 특수 가스 경로 분배를 통해 최대 8%의 필름 균일성을 보장합니다. 이러한 균일성은 넓은 기판에서 일관되고 고품질의 코팅을 생성하는 데 필수적이며, 생산된 재료의 신뢰성을 향상시킵니다.
- 일관된 증착: 이 설계는 첨단 반도체 산업 개념을 통합하여 기판 간 편차가 2% 미만입니다. 이러한 높은 수준의 일관성은 전자 부품 생산과 같이 정밀하고 반복 가능한 결과가 필요한 애플리케이션에 필수적입니다.
- 안정적인 공정 제어: 장비의 높은 안정성은 CVD 공정의 연속성과 일관성을 보장합니다. 이러한 안정성은 공정 무결성을 유지하고 작동 중 결함이나 고장의 위험을 줄이는 데 매우 중요합니다.
- 지능형 제어 시스템: Bonage가 특허를 획득한 통합 제어 시스템에는 폐쇄 루프 네거티브 피드백 메커니즘을 사용하는 고성능 온도 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 고품질 수입 전기 부품과 결합되어 장비의 전반적인 성능과 신뢰성을 향상시켜 사실상 유지보수가 필요 없습니다.
- 다양한 애플리케이션: 금속, 세라믹, 복합 필름 등 다양한 유형의 필름 증착에 적합한 이 퍼니스는 연속 성장 공정을 지원하며 플라즈마 세정 및 에칭과 같은 추가 기능으로 쉽게 확장할 수 있습니다. 이러한 다용도성 덕분에 다양한 연구 및 생산 요구 사항을 충족하는 귀중한 자산이 될 수 있습니다.
원리
진공 스테이션이 있는 스플릿 챔버 CVD 튜브 퍼니스는 화학 기상 증착(CVD) 공정에 사용되는 고온 진공 퍼니스입니다. CVD는 가스 또는 증기의 화학 반응에 의해 기판에 박막의 물질을 증착하는 공정입니다. 진공 스테이션이 있는 분할 챔버 CVD 튜브 용광로는 CVD 공정 중에 기판에 쉽게 접근할 수 있도록 분할 용광로 챔버를 사용합니다. 진공 스테이션은 퍼니스 챔버에 진공을 생성하는 데 사용되어 불순물을 제거하고 증착된 필름의 품질을 개선하는 데 도움이 됩니다.
장점
- 직관적인 샘플 관찰 및 빠른 냉각: 분할된 퍼니스 챔버를 통해 반응 샘플을 직접 관찰하고 빠르게 냉각할 수 있습니다.
- 높은 온도 성능: 최대 1200℃의 최대 작동 온도로 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
- 정밀한 가스 제어: CH4, H2, O2 및 N2 소스를 갖춘 4채널 MFC 질량 유량계가 정확하고 안정적인 가스 공급을 보장합니다.
- 진공 호환성: 4L/S 로터리 베인 진공 펌프가 장착된 진공 스테이션은 최대 10Pa의 최대 진공 압력을 달성하여 다양한 진공 공정을 가능하게 합니다.
- 고속 가열 및 냉각: 퍼니스 챔버 슬라이딩 시스템은 효율적인 시료 처리를 위해 빠른 가열 및 냉각을 지원합니다.
- 고급 온도 제어: 뛰어난 정확도, 원격 제어 및 중앙 집중식 제어 기능을 갖춘 PID 프로그래밍 가능 온도 제어.
- 사용자 친화적인 인터페이스: 7인치 TFT 터치 스크린이 장착된 CTF Pro 컨트롤러는 직관적인 프로그램 설정과 데이터 분석을 제공합니다.
- 다양한 진공 설정: 적응형 포트가 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지는 맞춤형 진공 환경을 위해 다양한 진공 펌프 스테이션을 수용합니다.
- 에너지 효율: 수냉식 냉각 시스템과 가스 애프터플로우 설계로 에너지 소비를 최소화합니다.
- 폭넓은 적용성: 진공 및 대기 보호 상태에서 CVD, 확산 및 기타 열처리에 적합합니다.
안전 이점
- 킨들 테크 튜브 퍼니스는 과전류 보호 및 과온 경보 기능을 보유하고 있으며, 퍼니스는 자동으로 전원을 끕니다.
- 퍼니스 내장 열 커플 감지 기능, 퍼니스는 가열을 중지하고 고장 또는 고장이 감지되면 경보가 켜집니다.
- KT-CTF12 Pro는 정전 재시작 기능을 지원하며, 고장 후 전원이 들어 오면 퍼니스 가열 프로그램이 재개됩니다.
기술 사양
| 퍼니스 모델 | KT-CTF12-60 |
|---|---|
| 최대 온도 | 1200℃ |
| 일정한 작업 온도 | 1100℃ |
| 용광로 튜브 재질 | 고순도 석영 |
| 용광로 튜브 직경 | 60mm |
| 가열 영역 길이 | 1x450mm |
| 챔버 재질 | 일본 알루미나 섬유 |
| 발열체 | Cr2Al2Mo2 와이어 코일 |
| 가열 속도 | 0-20℃/min |
| 열 커플 | K 타입 빌드 |
| 온도 컨트롤러 | 디지털 PID 컨트롤러/터치 스크린 PID 컨트롤러 |
| 온도 제어 정확도 | ±1℃ |
| 슬라이딩 거리 | 600mm |
| 가스 정밀 제어 장치 | |
| 유량계 | MFC 질량 유량계 |
| 가스 채널 | 4개 채널 |
| 유량 |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500SCCM N2 |
| 선형성 | ±0.5% F.S. |
| 반복성 | ±0.2% F.S. |
| 파이프 라인 및 밸브 | 스테인리스 스틸 |
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa |
| 유량계 컨트롤러 | 디지털 노브 컨트롤러/터치 스크린 컨트롤러 |
| 표준 진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 피라니/저항 실리콘 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 10Pa |
| 고진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 분자 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S+110L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 복합 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 6x10-5Pa |
| 위의 사양 및 설정은 사용자 지정할 수 있습니다. | |
표준 패키지
| 아니요. | 설명 | 수량 |
|---|---|---|
| 1 | Furnace | 1 |
| 2 | 석영 튜브 | 1 |
| 3 | 진공 플랜지 | 2 |
| 4 | 튜브 열 블록 | 2 |
| 5 | 튜브 써멀 블록 후크 | 1 |
| 6 | 내열 장갑 | 1 |
| 7 | 정밀한 가스 제어 | 1 |
| 8 | 진공 장치 | 1 |
| 9 | 사용 설명서 | 1 |
옵션 설정
- H2, O2 등과 같은 튜브 내 가스 감지 및 모니터링
- 독립적인 퍼니스 온도 모니터링 및 기록
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트
- 질량 유량계 및 플로트 유량계와 같은 가스 공급 유량 제어 삽입
- 다양한 작업자 친화적 기능을 갖춘 터치 스크린 온도 컨트롤러
- 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 확산 펌프와 같은 고진공 펌프 스테이션 설정
맞춤화에 대한 문의 또는 킨텍이 특정 연구 요구 사항을 지원하는 방법에 대해 자세히 알아보려면 다음을 수행하십시오. 문의 양식을 작성하거나 를 작성하거나 전문가 팀에 문의하십시오.
FAQ
튜브 퍼니스는 무엇이며 어떻게 작동하나요?
멀티존 튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
MPCVD 장비의 원리는 무엇인가요?
PECVD 장비는 어떤 용도로 사용되나요?
진공로의 주요 응용 분야는 무엇인가요?
수직 튜브 퍼니스가 무엇인가요?
대기로는 어떤 용도로 사용되나요?
진공 유도로란 무엇인가요?
CVD 장비의 원리는 무엇인가요?
튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
다중 구역 튜브 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
MPCVD 장비를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
PECVD 장비의 주요 유형은 무엇인가요?
진공 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
수직 튜브 용광로는 어떤 용도로 사용되나요?
분위기 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
진공 유도로의 주요 응용 분야는 무엇인가요?
CVD 장비를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?
다중 구역 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
MPCVD 장비의 주요 응용 분야는 무엇일까요?
PECVD 장비는 어떻게 작동하나요?
진공로는 어떻게 작동하나요?
수직 튜브 퍼니스의 장점은 무엇인가요?
대기로는 어떻게 작동하나요?
진공 유도로는 어떻게 작동하나요?
CVD 장비의 용도는 무엇인가요?
어떤 유형의 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?
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PECVD 장비의 주요 특징은 무엇인가요?
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수직 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
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진공 유도로를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
CVD 장비의 주요 특징은 무엇입니까?
튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
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진공로에서 처리할 수 있는 재료의 종류에는 어떤 것이 있나요?
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튜브 퍼니스는 다양한 대기 환경에서 작동할 수 있나요?
다이아몬드 성장에 MPCVD가 선호되는 이유는 무엇인가요?
PECVD 장비를 사용하여 증착할 수 있는 재료는 무엇인가요?
고온벽 진공 용광로와 저온벽 진공 용광로의 차이점은 무엇인가요?
수평형 대신 수직형 튜브 퍼니스를 선택하는 이유는 무엇일까요?
고급 대기 용광로에는 어떤 안전 기능이 있나요?
진공 유도 용광로에서 온도 제어가 중요한 이유는 무엇일까요?
킨텍 튜브 퍼니스의 특별한 점은 무엇일까요?
다른 증착 방법보다 PECVD가 선호되는 이유는 무엇인가요?
진공로는 특정 용도에 맞게 맞춤화할 수 있나요?
수직 튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
진공 유도로에서 가공할 수 있는 재료에는 어떤 것이 있나요?
수직 튜브 퍼니스는 맞춤화가 가능한가요?
진공 환경이 재료 가공에 어떤 이점을 제공하나요?
4.9
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5
Incredible precision and speed! This furnace exceeded my expectations for lab efficiency.
4.8
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5
Top-notch quality and durability. A game-changer for our research team!
4.7
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5
Fast delivery and easy setup. The vacuum station works flawlessly.
4.9
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5
Worth every penny! The split chamber design is a brilliant innovation.
4.8
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5
Perfect for high-temperature applications. Highly recommend for advanced labs.
4.9
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5
Exceptional performance and reliability. Our experiments have never been smoother.
4.7
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5
Love the compact design! Saves space without compromising on power.
4.8
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5
The vacuum seal is impeccable. No leaks, no issues—just perfect results.
4.9
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5
Cutting-edge technology at its finest. A must-have for serious researchers.
4.8
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5
Superb value for money. The build quality is outstanding.
4.7
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5
Quick and efficient service. The furnace arrived in perfect condition.
4.9
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5
The split chamber feature is revolutionary. Makes multitasking a breeze.
4.8
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5
Reliable and consistent performance. Our lab productivity has soared.
4.7
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5
Easy to operate and maintain. A fantastic investment for any lab.
4.9
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5
The temperature control is spot-on. Perfect for delicate experiments.
4.8
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5
Durable and built to last. This machine is a workhorse.
4.9
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Innovative design meets superior functionality. Absolutely love it!
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