CVD & PECVD Furnace
화학 기상 증착 장비용 다중 가열 구역 CVD 튜브 용광로 기계
품목 번호 : KT-CTF14
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 최대 온도
- 1400℃
- 난방 영역
- 2x450mm
- 온도 제어 정확도
- ±1℃
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킨텍의 첨단 멀티존 CVD 튜브 용광로 알아보기
킨텍은 탁월한 R&D 및 자체 제조를 활용하여 다양한 실험실에 첨단 고온 용광로 솔루션을 제공합니다. 당사의 다중 구역 CVD 튜브 용광로는 정밀성, 신뢰성 및 적응성을 위해 설계되어 연구 및 생산 공정을 강화합니다.
제품 쇼케이스: 다중 가열 구역 CVD 튜브 퍼니스
튜브형 PECVD 장비의 일반적인 반응 챔버 구조의 개략도 1. 배기구; 2. 테일 엔드 플랜지; 3. 테일 수냉 플랜지; 4. 테일 씰링 플랜지; 5. 테일 고정 플랜지; 6. 전극 막대; 7. 흑연 보트; 8. 석영로 튜브; 9. 전면 고정 플랜지; 10. 전면 수냉 플랜지; 11. 전면 공기 흡입구 플랜지; 12. 퍼니스 도어
다중 구역 CVD 튜브 용광로 란 무엇입니까?
다중 구역 화학 기상 증착(CVD) 튜브 퍼니스는 가스 또는 증기의 화학 반응을 통해 기판에 박막을 증착하도록 설계된 특수 실험실 장비입니다. "멀티존" 설계의 가장 큰 장점은 독립적으로 제어되는 여러 가열 구역에 있습니다. 이를 통해 퍼니스 내의 온도 프로파일을 정밀하게 조작할 수 있으며, 이는 온도가 증착된 필름의 특성에 직접적인 영향을 미치기 때문에 많은 CVD 공정에서 중요한 요소입니다. 이러한 퍼니스는 최첨단 연구 개발과 까다로운 생산 응용 분야 모두에 필수적입니다.
왜 킨텍의 멀티존 CVD 퍼니스를 선택해야 할까요?
킨텍의 다중 구역 CVD 튜브 용광로는 중요한 공정에 뛰어난 성능과 적응성을 제공하도록 설계되었습니다. 귀사의 작업을 강화하는 방법은 다음과 같습니다:
- 탁월한 온도 정밀도: 독립적인 가열 구역을 통해 균일한 증착과 특수 재료 합성에 필수적인 확장된 항온 필드 또는 정밀하게 제어된 온도 구배를 생성할 수 있습니다.
- 고급 공정 제어: PID 프로그래밍이 가능한 온도 제어로 뛰어난 정확도를 보장합니다. 원격 및 중앙 집중식 제어 기능과 결합하여 유연성과 모니터링의 용이성을 확보할 수 있습니다.
- 안정적이고 정확한 가스 공급: 고정밀 MFC(질량 유량 컨트롤러) 질량 유량계는 일관된 필름 품질에 필수적인 소스 가스 사전 혼합 옵션을 포함하여 정확하고 안정적인 가스 공급 속도를 보장합니다.
- 신뢰할 수 있는 고진공 환경: 다양한 적응 포트를 갖춘 견고한 스테인리스강 진공 플랜지는 뛰어난 밀봉을 보장하여 민감한 CVD 공정에 필요한 고진공도를 달성하고 유지합니다.
- 사용자 친화적인 작동 및 데이터 분석: KT-CTF14 Pro와 같은 일부 모델에는 7인치 TFT 터치 스크린 컨트롤러가 있어 프로그램 설정을 간소화하고 과거 데이터를 쉽게 분석할 수 있습니다.
- 다양한 애플리케이션을 위한 다목적성: 당사의 용광로는 CVD에만 국한되지 않고 진공 또는 제어된 분위기에서 확산, 어닐링, 소결 및 기타 열처리에도 이상적입니다.
- 에너지 효율적인 설계: 고품질 세라믹 섬유 단열재와 이중층 구조를 갖춘 소니의 퍼니스는 열 손실을 최소화하여 외부 온도를 낮추고 에너지를 절약합니다.
- 내구성이 뛰어난 맞춤형 소재: 퍼니스 튜브는 다양한 화학 환경과 온도 요구 사항에 맞게 내열강, 고순도 석영 유리, 세라믹 등 다양한 재질로 제공됩니다.
작동 원리
다중 가열 구역 CVD 튜브 퍼니스는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 기판에 박막을 증착합니다. 일반적으로 금속-유기 화합물 및/또는 수화물과 같은 기체 전구체가 퍼니스 챔버에 도입됩니다. 이러한 전구체는 제어된 온도에서 화학적으로 반응하여 기판에 고체 필름 재료를 형성합니다. 퍼니스의 여러 가열 구역을 통해 기판 전체의 증착 온도와 온도 구배를 정밀하게 제어할 수 있으므로 두께, 구성 및 결정성과 같은 맞춤형 특성을 가진 고품질 필름을 증착할 수 있습니다. 진공 시스템이 통합되어 불순물을 제거하고 증착 압력을 제어하여 최적의 공정 조건을 보장합니다.
응용 분야
다중 가열 구역 CVD 튜브 용광로는 다음과 같은 다양한 첨단 분야에서 널리 사용됩니다:
- 화학 기상 증착(CVD): 전자 장치, 반도체, 태양 전지, 코팅 및 나노 재료용 박막 성장.
- 확산: 반도체 및 금속의 정밀한 도핑.
- 어닐링: 재료의 구조적, 물리적 특성을 향상시키기 위한 열처리.
- 소결: 제어된 열과 압력을 통해 분말 형태의 재료를 결합하여 견고한 구조를 형성합니다.
- 열처리: 재료 연구 및 수정을 위한 광범위한 제어 가열 및 냉각 프로세스.
- 원소 분석 및 결정: 분석 목적으로 샘플을 준비합니다.
- 재료 가공: 작은 강철 조각의 담금질, 어닐링 및 템퍼링, 전자 세라믹 및 기타 신소재 개발.
기술 사양
| 용광로 모델 | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| 최대 온도 | 1400℃ |
| 일정한 작업 온도 | 1300℃ |
| 용광로 튜브 재질 | 고순도 Al2O3 튜브 |
| 용광로 튜브 직경 | 60mm |
| 가열 영역 | 2x450mm |
| 챔버 재질 | 알루미나 다결정 섬유 |
| 발열체 | 실리콘 카바이드 |
| 가열 속도 | 0-10℃/min |
| 열 커플 | S 타입 |
| 온도 컨트롤러 | 디지털 PID 컨트롤러/터치 스크린 PID 컨트롤러 |
| 온도 제어 정확도 | ±1℃ |
| 가스 정밀 제어 장치 | |
| 유량계 | MFC 질량 유량계 |
| 가스 채널 | 4개 채널 |
| 유량 |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500SCCM N2 |
| 선형성 | ±0.5% F.S. |
| 반복성 | ±0.2% F.S. |
| 파이프 라인 및 밸브 | 스테인리스 스틸 |
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa |
| 유량계 컨트롤러 | 디지털 노브 컨트롤러/터치 스크린 컨트롤러 |
| 표준 진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 피라니/저항 실리콘 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 10Pa |
| 고진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 분자 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S+110L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 복합 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 6x10-5Pa |
| 위의 사양 및 설정은 사용자 지정 가능 | |
표준 패키지
| 아니요. | 설명 | 수량 |
|---|---|---|
| 1 | Furnace | 1 |
| 2 | 석영 튜브(또는 주문에 따른 기타 재료) | 1 |
| 3 | 진공 플랜지 세트 | 2 |
| 4 | 튜브 열 블록 | 2 |
| 5 | 튜브 써멀 블록 후크 | 1 |
| 6 | 내열 장갑 | 1 |
| 7 | 정밀 가스 제어 장치(주문 시) | 1 |
| 8 | 진공 장치(주문 시) | 1 |
| 9 | 사용 설명서 | 1 |
고객의 고유한 요구사항을 위한 심층 맞춤화
킨텍은 고유한 실험 및 생산 요구 사항을 정확하게 충족하기 위해 심층 맞춤형 퍼니스 솔루션을 제공하는 데 탁월합니다. 표준 구성 외에도 다양한 옵션 설정 및 수정을 제공합니다:
- 튜브 내 가스 감지 및 모니터링(예: H2, O2).
- 독립적인 용광로 온도 모니터링 및 기록 시스템.
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트.
- 다양한 질량 유량계 및 플로트 유량계를 포함한 다목적 가스 공급 유량 제어 옵션.
- 사용자 친화적인 인터페이스와 광범위한 프로그래밍 기능을 갖춘 고급 터치 스크린 온도 컨트롤러.
- 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 디퓨전 펌프 등을 통합한 종합적인 고진공 펌프 스테이션 설정.
- 맞춤형 용광로 치수, 가열 구역 구성 및 재료 선택.
당면 과제를 알려주시면 솔루션을 설계해 드리겠습니다.
고온 솔루션을 위한 킨텍의 파트너십
R&D 및 자체 제조 분야에서 탄탄한 기반을 갖춘 킨텍은 머플 퍼니스, 튜브 퍼니스, 로터리 퍼니스, 진공 및 대기 퍼니스, 특수 CVD/PECVD/MPCVD 시스템을 포함한 첨단 고온 퍼니스 시스템을 전 세계 실험실에 공급하는 데 전념하고 있습니다. 심층적인 맞춤화를 위한 당사의 노력으로 특정 실험 목표에 완벽하게 부합하는 퍼니스를 제공할 수 있습니다.
재료 가공 및 연구 역량을 향상시킬 준비가 되셨나요? 전문가 팀과 귀사의 요구 사항을 논의해 보세요.
FAQ
튜브 퍼니스는 무엇이며 어떻게 작동하나요?
멀티존 튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
수직 튜브 퍼니스가 무엇인가요?
진공 유도로란 무엇인가요?
진공로의 주요 응용 분야는 무엇인가요?
대기로는 어떤 용도로 사용되나요?
튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
다중 구역 튜브 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
수직 튜브 용광로는 어떤 용도로 사용되나요?
진공 유도로의 주요 응용 분야는 무엇인가요?
진공 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
분위기 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?
다중 구역 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
수직 튜브 퍼니스의 장점은 무엇인가요?
진공 유도로는 어떻게 작동하나요?
진공로는 어떻게 작동하나요?
대기로는 어떻게 작동하나요?
어떤 유형의 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?
다중 구역 튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?
수직 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
진공 유도로를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
진공로 사용의 장점은 무엇인가요?
대기로를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
어떤 유형의 멀티존 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?
어떤 유형의 수직 튜브 용광로를 사용할 수 있나요?
어떤 유형의 진공 유도로를 사용할 수 있나요?
진공로에서 처리할 수 있는 재료의 종류에는 어떤 것이 있나요?
분위기 용광로에는 어떤 종류의 가스를 사용할 수 있나요?
튜브 퍼니스는 다양한 대기 환경에서 작동할 수 있나요?
수평형 대신 수직형 튜브 퍼니스를 선택하는 이유는 무엇일까요?
진공 유도 용광로에서 온도 제어가 중요한 이유는 무엇일까요?
고온벽 진공 용광로와 저온벽 진공 용광로의 차이점은 무엇인가요?
고급 대기 용광로에는 어떤 안전 기능이 있나요?
킨텍 튜브 퍼니스의 특별한 점은 무엇일까요?
수직 튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
진공 유도로에서 가공할 수 있는 재료에는 어떤 것이 있나요?
진공로는 특정 용도에 맞게 맞춤화할 수 있나요?
수직 튜브 퍼니스는 맞춤화가 가능한가요?
진공 환경이 재료 가공에 어떤 이점을 제공하나요?
4.9
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Incredible precision and control! The multi-zone heating is a game-changer for our lab.
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Fast delivery and flawless setup. This furnace exceeded our expectations!
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Top-notch technology. The temperature uniformity is perfect for our research.
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Efficient and reliable. Our experiments have never been smoother.
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Great value for money. The build quality is impressive.
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A must-have for any serious lab. The performance is stellar.
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Quick setup and easy to use. Highly recommend this furnace!
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Durable and efficient. Perfect for high-temperature applications.
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The multi-zone feature is revolutionary. Our productivity has soared.
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Exceptional craftsmanship. This furnace is built to last.
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Reliable and precise. A fantastic investment for any lab.
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Cutting-edge technology. The temperature control is impeccable.
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The best furnace we've used. The multi-zone heating is brilliant.
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Perfect for our CVD needs. The machine is a workhorse.
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