CVD & PECVD Furnace

경사형 로터리 플라즈마 강화 화학 증착 PECVD 튜브 퍼니스 기계

Name: 경사형 로터리 플라즈마 강화 화학 증착 PECVD 튜브 퍼니스 기계
Brand: Kintek Furnace
SKU: KT-PED
Rating: 4.81 (11 reviews)

품목 번호 : KT-PED

가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의

가열 온도: ≤800℃
진공도: ≤5×10-5Pa
출력 전력: 500W-1000W

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플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 코팅기

플라즈마 강화 증착 PECVD 코팅기

KINTEK의 첨단 PECVD 시스템: 고객의 요구에 맞춘 정밀 코팅

탁월한 R&D 및 자체 제조를 활용하여 다양한 실험실 및 산업 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 시스템을 제공하는 KINTEK. PECVD는 플라즈마를 사용하여 전구체 가스를 활성화하는 정교한 진공 박막 증착 기술입니다. 이를 통해 기존의 화학 기상 증착(CVD)보다 훨씬 낮은 온도에서 고품질의 균일한 코팅을 생성할 수 있어 플라스틱과 같이 열에 민감한 기판과 유전체, 반도체, 절연체 등 다양한 코팅 재료에 대한 가능성을 확장할 수 있습니다.

PECVD 장비는 머플, 튜브, 로터리 퍼니스, 진공 및 대기 퍼니스, 기타 CVD/MPCVD 시스템을 포함하는 킨텍의 포괄적인 첨단 고온 퍼니스 솔루션 제품군에서 핵심적인 제품입니다. 당사는 고객의 고유한 실험 및 생산 요구 사항을 충족하도록 PECVD 시스템을 정밀하게 설계할 수 있는 강력한 심층 맞춤화 역량에 자부심을 가지고 있습니다.

주요 특징

킨텍의 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 코팅기는 뛰어난 성능과 다목적성을 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다:

저온 증착: 열 손상 없이 섬세하거나 융점이 낮은 기판에 고품질의 필름을 형성할 수 있어 재료 호환성이 크게 확대됩니다.
높은 증착 속도: 빠른 필름 성장을 달성하여 처리량을 극대화하고 처리 시간을 단축하며 전반적인 생산성을 높입니다.
균일하고 균열에 강한 필름: 기판 전체에 걸쳐 두께와 특성이 매우 일관된 코팅을 생성하여 균열과 같은 결함을 최소화하여 안정적이고 내구성 있는 결과를 얻을 수 있습니다.
뛰어난 기판 접착력: 증착된 필름과 피착재 사이의 강력한 접착력을 보장하여 성능이 오래 지속되고 박리를 방지합니다.
다양한 코팅 기능: 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 SiO2, SiNx, SiOxNy 등과 같은 다양한 재료의 증착을 지원합니다.
복잡한 형상에 대한 컨포멀 코팅: 복잡한 모양과 지형을 가진 기판을 균일하게 코팅할 수 있어 포괄적인 커버리지와 최적의 성능을 보장합니다.
사용자 친화적인 디자인: 유지보수 요구 사항이 적고 설치가 간편하도록 설계되어 가동 중단 시간을 최소화하고 워크플로에 쉽게 통합할 수 있습니다.

기술 사양

샘플 홀더	크기	1~6인치
	회전 속도	0-20rpm 조절 가능
	가열 온도	≤800℃
	제어 정확도	±0.5℃ 시마덴 PID 컨트롤러
가스 퍼지	유량계	질량 유량계 컨트롤러(MFC)
	채널	4개 채널
	냉각 방식	순환 수냉식
진공 챔버	챔버 크기	Φ500mm X 550mm
	관찰 포트	배플이 있는 풀 뷰 포트
	챔버 재질	316 스테인리스 스틸
	도어 유형	전면 개방형 도어
	캡 재질	304 스테인리스 스틸
	진공 펌프 포트	CF200 플랜지
	가스 주입구 포트	φ6 VCR 커넥터
플라즈마 전원	소스 전원	DC 전원 또는 RF 전원
	커플링 모드	유도 결합 또는 플레이트 용량성
	출력 전력	500W-1000W
	바이어스 전력	500v
진공 펌프	프리 펌프	15L/S 베인 진공 펌프
	터보 펌프 포트	CF150/CF200 620L/S-1600L/S
	릴리프 포트	KF25
	펌프 속도	베인 펌프: 15L/s, 터보 펌프: 1200L/s 또는 1600L/s
	진공 정도	≤5×10-5Pa
	진공 센서	이온화/저항 진공 게이지/필름 게이지
시스템	전력 공급	AC 220V /380 50Hz
	정격 전력	5kW
	치수	900mm X 820mm X870mm
	무게	200kg

응용 분야

킨텍의 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 코팅기는 다양한 산업 및 첨단 응용 분야에 다목적 솔루션을 제공합니다:

LED 조명: 효율적이고 내구성이 뛰어난 발광 다이오드(LED)에 필수적인 고품질 유전체 및 반도체 필름을 증착합니다.
전력 반도체: 전력 반도체 소자에서 절연층, 게이트 산화물 및 기타 중요한 필름 구성 요소의 형성.
MEMS(미세전자기계 시스템): 센서, 액추에이터 및 기타 마이크로 규모의 장치를 위한 정밀한 박막 제작.
광학 코팅: 반사 방지 코팅, 광학 필터, 보호층 및 기타 기능성 광학 부품의 증착.
박막 태양 전지: 태양광 장치용 비정질 및 미세 결정 실리콘 박막과 기타 반도체 재료의 생산.
표면 개질: 내식성, 내마모성, 경도 및 생체 적합성 개선을 포함한 재료 표면 특성 향상.
나노 기술: 나노 입자, 나노 와이어, 초박막 필름과 같은 첨단 나노 소재를 합성하여 새로운 응용 분야에 적용합니다.

왜 PECVD 기술을 위해 킨텍과 파트너 관계를 맺어야 할까요?

PECVD 요구 사항을 위해 KINTEK을 선택한다는 것은 품질, 신뢰성 및 맞춤형 솔루션에 투자한다는 것을 의미합니다:

심층 맞춤화: 당사는 고객의 정확한 사양에 맞게 PECVD 시스템을 구성하여 고객의 고유한 응용 분야와 연구 목표에 맞는 최적의 성능을 보장하는 것을 전문으로 합니다.
고급 R&D 및 제조: 사내 전문성을 바탕으로 혁신을 주도하는 소니는 최첨단 PECVD 기술을 제공합니다.
고품질 구조: 소니의 시스템은 스테인리스 스틸과 같은 프리미엄 소재로 견고하게 설계되어 안정성과 내구성이 뛰어나며 수명이 연장됩니다.
신뢰할 수 있는 성능: 일관된 결과를 위해 설계된 소니의 PECVD 장비는 우수한 접착력을 갖춘 고품질의 균일한 박막을 생산합니다.
포괄적인 지원: 간편한 설치부터 낮은 유지보수 요구 사항까지, 소니는 사용자 친화적인 시스템과 신속한 고객 서비스를 제공합니다.
다목적성: 당사의 장비는 다양한 재료를 증착할 수 있어 다양한 연구 및 산업 공정에 적합합니다.

작동 원리

플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)은 박막 증착 공정에서 플라즈마(이온화된 가스)를 사용하여 화학 반응을 자극하고 강화하는 공정입니다. 반응을 촉진하기 위해 고온에만 의존하는 기존 CVD와 달리 PECVD는 고에너지 플라즈마를 사용합니다. 이 플라즈마는 전구체 가스에 에너지를 공급하여 상당히 낮은 기판 온도에서 반응성 종을 형성합니다. 그런 다음 이러한 반응성 종은 기판 표면에 흡착되어 화학 반응을 거쳐 견고한 박막을 형성합니다. 이 방법을 사용하면 SiO2, SiNx, SiOxNy와 같은 다양한 고품질 필름을 증착할 수 있으며, 특히 태양 전지에 사용되는 비정질 또는 미세 결정 실리콘 박막을 만드는 데 효과적입니다. 낮은 처리 온도는 기판의 열 스트레스를 최소화하고 핀홀을 줄이며 균열을 방지하므로 PECVD는 광범위한 재료와 애플리케이션에 이상적입니다.

킨텍과 함께하는 맞춤형 PECVD 솔루션

박막 증착 역량을 향상시킬 준비가 되셨나요? 킨텍의 전문가가 귀사의 특정 프로젝트 요구 사항과 과제를 논의할 수 있습니다. 실험 또는 생산 요구 사항에 완벽하게 맞춘 플라즈마 강화 화학 기상 증착 시스템을 구성할 수 있도록 도와드립니다. 당사의 심층적인 맞춤화 전문 지식과 첨단 기술을 활용하여 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.

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FAQ

튜브 퍼니스는 무엇이며 어떻게 작동하나요?

튜브 퍼니스는 열원을 통해 열을 발생시키고 이 열을 퍼니스 튜브를 통해 공작물이나 매질에 전달하는 가열 장치입니다. 다양한 산업 분야에 적합한 안정적이고 균일한 가열을 제공합니다. 온도 제어 시스템은 열전대 또는 기타 센서를 사용하여 퍼니스 온도를 모니터링하고 컨트롤러에 신호를 다시 공급하여 발열체의 출력을 조정하여 정밀한 온도 제어를 유지합니다.

로터리 튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?

로터리 튜브 퍼니스는 균일한 가열과 지속적인 혼합이 필수적인 분말 야금, 재료 혼합 및 화학 반응에 널리 사용됩니다. 특히 입상 또는 분말 형태의 재료를 처리하는 데 효과적입니다.

로터리 퍼니스의 원리는 무엇인가요?

회전로는 축을 중심으로 회전하는 실린더로 작동하며, 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝으로 전하 물질이 쉽게 이동할 수 있도록 약간 기울어져 있습니다. 이 설계는 혼합과 균일한 가열을 촉진합니다. 열은 일반적으로 재료 흐름과 역류 방향으로 흐르는 뜨거운 가스에 의해 공급됩니다.

회전로는 어떤 용도로 사용되나요?

회전로는 침탄(금속 표면에 탄소 추가), 질화(금속 표면에 질소 추가), 소결, 어닐링 및 기타 고급 재료 처리를 포함한 다양한 공정에 사용됩니다. 또한 바이오매스 열분해, 활성탄 재생, 반도체 연구의 정밀한 박막 증착과 같은 응용 분야에도 활용됩니다.

멀티존 튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?

멀티존 튜브 퍼니스는 반도체 및 배터리 생산, 열전대 및 광물 절연 케이블 제조, 진공 브레이징 및 열처리, 진공 경화 및 소결, 물/폐기물/토양 테스트, 항공우주 세라믹 및 금속 테스트, 석유 및 가스 분석, 고체 산화물 연료 전지, 폴리머 복합재/그래핀 생산을 비롯한 다양한 상업 및 연구 분야에 사용됩니다. 또한 금속 열처리(담금질, 템퍼링, 어닐링), 용접을 위한 예열, 세라믹/분말 야금 소결, 코팅 처리 및 재료 연구 실험에도 사용됩니다.

분할 튜브 퍼니스의 일반적인 응용 분야는 무엇입니까?

분할 튜브 퍼니스는 일반적으로 재료 테스트(인장 테스트 등), 유기 재료의 열분해, 박막 증착을 위한 화학 기상 증착(CVD), 탄소 함유 재료의 흑연화, 세라믹 소결에 사용됩니다. 이러한 응용 분야는 분할 튜브 퍼니스가 제공하는 정밀한 온도 제어와 손쉬운 시료 처리의 이점을 누릴 수 있습니다.

수직 튜브 퍼니스가 무엇인가요?

수직 튜브 퍼니스는 수직 방향으로 설계된 고온 가열 장치로, 정밀한 온도 제어, 균일한 가열, 효율적인 에너지 사용을 제공합니다. 수직형 설계로 공간을 절약할 수 있으며 특히 수직 설치의 이점이 있는 공정에 유용합니다.

튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?

튜브 퍼니스는 진공 또는 대기 조건에서의 가스 담금질 테스트, 합성 및 정제, 산화, 확산, 소성 및 무기 또는 유기 화합물의 열 어닐링을 포함한 열처리 응용 분야에 널리 사용됩니다. 또한 가열 및 냉각 속도를 제어해야 하는 재료 테스트, 열처리 및 화학 반응에도 사용됩니다. 수직 튜브 퍼니스는 특히 시료를 위에서부터 퍼니스에 떨어뜨려야 하는 공정에 적합합니다.

로터리 튜브 퍼니스의 주요 특징은 무엇인가요?

로터리 튜브 퍼니스는 회전 메커니즘을 통해 균일한 열 분배와 시료의 철저한 혼합을 보장합니다. 연속 처리를 위해 설계되었으며 다양한 시료 부피를 수용할 수 있습니다. 일반적으로 가열로에는 여러 개의 가열 구역, 회전 및 기울일 수 있는 가열로 튜브가 포함되며 최대 1200°C의 온도까지 도달할 수 있습니다.

로터리 퍼니스의 장점은 무엇인가요?

로터리 퍼니스는 높은 에너지 활용도, 다양한 공급 재료 취급의 유연성, 배치 퍼니스 기능, 높은 생산 능력, 납 회수율 증가, 환경 친화성, 적은 인력으로 사용자 친화적인 작동 등 여러 가지 장점을 제공합니다.

사용 가능한 회전로의 주요 유형에는 어떤 것이 있나요?

회전로의 주요 유형에는 열분해 및 하소용 전기 로터리 킬른, 연속 처리를 위한 진공 밀봉 로터리 튜브 퍼니스, 실험실 진공 틸트 로터리 튜브 퍼니스, 분할 다중 가열 구역 로터리 튜브 퍼니스, 경사 회전 플라즈마 강화 화학 증착(PECVD) 튜브 퍼니스 등이 있습니다. 각 유형은 특정 애플리케이션과 온도 요구 사항에 맞게 설계되었습니다.

다중 구역 튜브 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?

주요 기능은 다음과 같습니다: 1) 유연한 어닐링 및 화학 기상 증착 기능, 2) 최대 60mm(2인치) 샘플 수용, 3) 간편한 가스 공급을 위한 내장 매니폴드, 4) 끝이 차갑고 중앙이 균일한 자연 온도 구배, 5) 다양한 가스 또는 진공 상태에 대한 적응성, 6) 정밀한 온도 프로파일을 위한 여러 독립 제어 가열 구역이 있습니다.

분할 튜브 퍼니스의 주요 특징은 무엇인가요?

분할 튜브 퍼니스는 일반적으로 가열 길이가 200-600mm이고 가열 직경이 40-100mm인 1, 2, 3 또는 5개의 가열 구역 옵션을 제공합니다. 안전한 케이스 온도를 보장하기 위해 이중층 강제 공랭식 냉각이 포함되며 최대 1200°C의 온도에 도달할 수 있는 가열 코일을 열원으로 사용합니다. 퍼니스는 원통형 튜브를 세로로 분할하여 경첩으로 연결된 두 개의 반으로 설계하고 원활한 작동을 위해 공압식 감쇠 스트럿을 장착했습니다.

수직 튜브 용광로는 어떤 용도로 사용되나요?

수직 튜브 퍼니스는 가열 및 냉각 속도를 제어해야 하는 재료 테스트, 열처리 및 화학 반응에 널리 사용됩니다. 또한 합성 수지, 고무, 페인트 및 염료 생산을 위한 화학 공학, 베이킹, 건조 및 살균을 위한 식품 산업, 제련, 용융 및 열처리 공정을 위한 야금학에서도 사용됩니다.

튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?

튜브 퍼니스는 성숙한 기술, 간단한 퍼니스 구조, 낮은 전력 소비, 높은 열효율, 작동 및 제어 용이성, 연속 생산 능력, 정밀한 온도 제어, 균일한 온도 분포, 다양한 대기에 대한 적응성 등 여러 가지 장점을 제공합니다. 또한 제품 수율이 높고, 제품 농도가 높으며, 대부분의 균열 가스 및 연도 가스를 회수할 수 있습니다. 대규모 생산을 위해 여러 개의 퍼니스를 결합할 수 있습니다.

로터리 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?

로터리 튜브 퍼니스는 회전하는 튜브를 통해 열원에서 재료로 열이 전달되는 간접 소성 원리로 작동합니다. 여러 제어 구역이 있는 연속 열 시스템을 사용하여 균일한 가열을 보장합니다. 퍼니스는 작업 섹션에서 분쇄된 고체, 기체 또는 액체 연료를 연소시켜 시료를 향해 흐르는 가열 가스를 생성합니다. 내화 재료로 안감 처리되고 비스듬히 장착된 회전 드럼이 이 과정을 용이하게 합니다.

로터리 퍼니스의 주요 특징은 무엇인가요?

로터리 퍼니스의 주요 특징으로는 고온 기능, 다중 구역 가열 제어, 맞춤형 회전 및 공정 제어, 대기 다용도성, 통합 안전 및 환경 제어 등이 있습니다.

회전로는 어떻게 작동하나요?

회전 퍼니스는 퍼니스 내부의 재료를 회전시켜 균일한 열 분포를 보장하는 방식으로 작동합니다. 회전 메커니즘은 일관된 방사형 온도와 정밀한 온도 제어에 도움이 되며, 종종 전기 가열을 통해 이루어집니다. 이 설계는 에너지 효율적이며 재료를 균일하게 처리해야 하는 공정에 적합합니다.

다중 구역 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?

멀티존 튜브 퍼니스의 작동 방식은 다음과 같습니다: 1) 독립적으로 제어되는 여러 가열 요소를 통해 열 발생, 2) 이 열을 퍼니스 튜브를 통해 공작물에 균일하게 전달, 3) 정밀한 온도 구배(CVD 필름 성장과 같은 공정) 또는 확장된 항온 구역 생성(여러 구역을 동일한 온도로 설정한 경우), 4) 다양한 산업 공정에 적합한 안정적인 가열 조건을 유지합니다.

분할 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?

분할 튜브 퍼니스는 가열 코일을 통해 열을 발생시킨 다음 이 열을 퍼니스 튜브 내부의 공작물 또는 매질에 전달하는 방식으로 작동합니다. 이 프로세스는 안정적이고 균일한 가열을 보장하므로 다양한 산업 및 실험실 애플리케이션에 적합합니다. 퍼니스는 여러 가열 구역으로 구성할 수 있으며 안전한 외부 온도를 유지하기 위해 강제 공랭식 냉각과 같은 기능이 포함되어 있습니다.

수직 튜브 퍼니스의 장점은 무엇인가요?

수직 튜브 퍼니스는 수평 퍼니스에 비해 설치 공간이 작아 공간이 제한된 실험실에 이상적인 등 여러 가지 장점이 있습니다. 또한 효율적이고 에너지 절약적인 작동, 정밀한 온도 제어, 사용의 유연성, 작동의 용이성, 안전성, 신뢰성, 환경 표준 준수 등의 이점을 제공합니다.

어떤 유형의 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?

튜브 퍼니스에는 실험실용 석영 튜브 퍼니스, 분할 다중 가열 구역 로터리 튜브 퍼니스, 다중 구역 튜브 퍼니스, 고온 튜브 퍼니스(최대 1700°C), 박막 증착용 PECVD 튜브 퍼니스, 진공 튜브 퍼니스, 수직 튜브 퍼니스 등 다양한 유형이 있습니다. 각 용도에 맞게 급속 가열, 기울기 조절, 360° 회전, 맞춤형 가열 구역, 진공 준비 상태 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다.

로터리 튜브 퍼니스를 사용하면 어떤 이점이 있나요?

회전 튜브 퍼니스는 회전 작용으로 인한 균일한 온도 분포로 시료 침전을 방지하고 일관된 처리를 보장하는 등 여러 가지 장점을 제공합니다. 열 전달 효율이 향상되어 처리 시간이 단축되고 결과가 균일해집니다. 또한 열 전달 효율이 뛰어난 설계로 특정 요구에 맞게 여러 가열 구역으로 맞춤 설정할 수 있습니다.

로터리 퍼니스의 일반적인 응용 분야는 무엇인가요?

로터리 튜브 퍼니스는 균일한 가열과 지속적인 혼합이 필수적인 분말 야금, 재료 혼합 및 화학 반응에 특히 유용합니다. 또한 입상 또는 분말 형태의 재료를 가공하고 알루미나 및 철광석 펠릿과 같은 재료를 생산하며 느슨한 재료를 지속적으로 처리해야 하는 소성 및 산화와 같은 응용 분야에서도 탁월한 성능을 발휘합니다.

회전로를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?

회전로의 장점은 일관된 결과를 위한 균일한 열 분포, 정밀한 온도 제어, 기존 연소 방식에 비해 에너지 효율, 열처리 공정을 맞춤화할 수 있는 유연성 등입니다. 또한 회전로는 소량 생산에 비용 효율적이며 특정 연구 또는 산업 요구에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.

다중 구역 튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?

장점은 다음과 같습니다: 1) 단순한 퍼니스 구조의 성숙하고 안정적인 기술, 2) 높은 열 효율로 낮은 전력 소비, 3) 간편한 작동 및 정밀한 제어, 4) 연속 생산 능력, 5) 확장된 균일한 가열 구역 또는 정밀한 온도 구배 생성 능력, 6) 화학 공정에서 더 높은 제품 수율, 7) 공정 가스 회수 능력, 8) 광범위한 원료 적용성, 9) 대규모 생산을 위한 퍼니스 조합을 통한 확장성.

분할 튜브 퍼니스를 사용하면 어떤 이점이 있나요?

분할 튜브 퍼니스의 주요 장점은 시료 또는 장비의 로딩 및 언로딩 간소화, 운영 중단 시간 감소, 효율성 향상 등입니다. 분할 설계로 퍼니스 챔버에 빠르게 접근할 수 있어 잦은 변경이나 복잡한 실험 설정이 필요한 애플리케이션에 특히 유용합니다. 또한 공압식 댐핑 스트럿 및 다중 가열 구역과 같은 기능으로 사용성과 성능이 더욱 향상됩니다.

수직 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?

수직 튜브 퍼니스는 열원을 통해 열을 발생시키고 이 열을 퍼니스 튜브를 통해 가열된 공작물 또는 매질로 전달합니다. 이 프로세스는 안정적이고 균일한 가열을 보장하므로 다양한 산업 분야에 적합합니다.

튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?

튜브 퍼니스는 다양한 용도에 맞게 다양한 온도 범위에서 사용할 수 있습니다. 표준 모델은 일반적으로 최대 1200°C까지 도달하며, 고온 모델은 1400°C~1700°C까지 도달할 수 있습니다. 일부 특수 모델은 최대 2000°C까지 도달할 수 있습니다. 온도 성능은 사용되는 가열 요소와 퍼니스 튜브 재료(예: 석영 또는 알루미나)에 따라 달라집니다.

로터리 튜브 퍼니스는 어떤 온도까지 도달할 수 있나요?

로터리 튜브 퍼니스는 최대 온도 1200°C까지 도달할 수 있어 소성, 소결 및 열처리와 같은 고온 응용 분야에 적합합니다.

로터리 퍼니스는 다양한 재료를 어떻게 처리하나요?

회전로는 회전하고 약간 기울어진 디자인으로 다양한 공급 재료를 유연하게 처리할 수 있어 균일한 가열과 혼합을 보장합니다. 따라서 입상 또는 분말 물질을 포함한 다양한 재료에 적합하며 소성 및 산화와 같은 응용 분야에서 효율적으로 처리할 수 있습니다.

회전로에는 어떤 안전 기능이 포함되어 있나요?

회전로는 과열 보호, 비상 차단 메커니즘, 명확한 경보 시스템과 같은 중요한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 고온 공정 중 안전한 작동을 보장하고 사고를 예방합니다.

어떤 유형의 멀티존 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?

사용 가능한 유형은 다음과 같습니다: 1) 분할 다중 가열 구역 로터리 튜브 퍼니스(틸트 및 회전 기능 포함), 2) 실험실 석영 튜브 퍼니스(1~10개 구역으로 최대 1700°C), 3) 빠른 가열 속도를 갖춘 급속 열처리(RTP) 퍼니스, 4) 화학 기상 증착용 CVD 튜브 퍼니스, 5) 플라즈마 강화 공정용 PECVD 퍼니스, 6) 진공 튜브 퍼니스, 7) 고압 튜브 퍼니스가 있습니다. 이러한 용광로는 사용자 지정 가능한 구역 번호, 온도 범위, 진공/대기 제어와 같은 특수 기능을 갖춘 다양한 구성으로 제공됩니다.

분할 튜브 퍼니스는 어떤 온도까지 도달할 수 있나요?

분할 튜브 퍼니스는 최대 1200°C의 온도에 도달할 수 있어 재료 합성, CVD, 소결 등 고온 응용 분야에 적합합니다. 퍼니스는 가열 코일을 열원으로 사용하며 작동 중 안전한 외부 온도를 유지하기 위해 이중층 강제 공랭식 냉각을 포함합니다.

어떤 유형의 수직 튜브 용광로를 사용할 수 있나요?

수직 튜브 퍼니스는 단일 또는 다중 가열 구역, 급속 열처리(RTP) 기능, 진공 스테이션, CVD(화학 기상 증착) 및 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착)와 같은 특정 실험실 요구에 맞는 맞춤형 솔루션 등 다양한 유형으로 제공됩니다.

튜브 퍼니스는 다양한 대기 환경에서 작동할 수 있나요?

예. 튜브 퍼니스는 다목적이며 공기, 불활성 가스(아르곤 또는 질소 등), 진공 및 특수 가스 혼합물을 포함한 다양한 분위기에서 작동할 수 있습니다. 따라서 산화, 환원, 어닐링, 화학 기상 증착(CVD) 등 다양한 공정에 적합합니다. 많은 모델에는 정밀한 분위기 관리를 위한 진공 지원 설계 및 가스 제어 시스템이 함께 제공됩니다.

로터리 튜브 퍼니스에서 처리할 수 있는 재료의 종류는 무엇인가요?

로터리 튜브 퍼니스는 입상 또는 분말 형태의 재료를 가공하는 데 이상적입니다. 일반적으로 분말 야금, 재료 혼합 및 균일한 가열과 지속적인 혼합이 필요한 화학 반응과 관련된 응용 분야에 사용됩니다.

특정 용도에 맞게 회전로를 맞춤화할 수 있나요?

예, 회전로는 특정 용도에 맞게 맞춤 제작할 수 있습니다. 다양한 가열 구역, 조정 가능한 기울기 각도, 360° 회전 기능 등 다양한 구성으로 제공됩니다. 맞춤형 옵션에는 연구 또는 생산 환경의 정밀한 요구 사항을 충족하기 위한 진공 및 제어 대기 설정도 포함됩니다.

튜브 용광로에서 분할 설계가 유리한 이유는 무엇인가요?

튜브 퍼니스의 분할 설계는 퍼니스 챔버에 빠르고 쉽게 접근할 수 있다는 점에서 유용합니다. 공압식 감쇠 스트럿이 있는 두 개의 힌지형 반쪽으로 구성된 이 설계는 특히 잦은 변경이나 복잡한 구성이 필요한 응용 분야에서 복잡한 설정 또는 대형 샘플의 취급을 간소화하고 운영 중단 시간을 줄이며 전반적인 효율성을 향상시킵니다.

수평형 대신 수직형 튜브 퍼니스를 선택하는 이유는 무엇일까요?

수직 튜브 퍼니스는 주로 공간 절약형 설계와 중력 보조 공정의 이점을 누릴 수 있다는 점 때문에 수평 튜브 퍼니스보다 선택됩니다. 수직 설치는 열과 재료를 고르게 분배할 수 있어 특정 실험이나 제조 공정에 이상적입니다.

킨텍 튜브 퍼니스의 특별한 점은 무엇일까요?

킨텍 튜브 퍼니스는 정밀 온도 제어(일부 모델은 초당 최대 100°C의 빠른 가열을 제공), 맞춤형 가열 구역(1~10개 구역), 진공 지원 설계 및 안전 인증이 특징입니다. 또한 회전 메커니즘, 분할 챔버 및 플라즈마 강화 구성 옵션을 통해 재료 합성, CVD, 소결 및 반도체 연구와 같은 고급 응용 분야를 위한 다목적 솔루션을 제공합니다.