CVD & PECVD Furnace
액체 기화기 PECVD 기계가 있는 슬라이드 PECVD 튜브 퍼니스
품목 번호 : KT-PE12
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 최대 온도
- 1200℃
- RF 플라즈마 출력 전력
- 5-500W
- 정격 진공 압력
- 10Pa~6x10-4Pa
배송:
문의하기 배송 세부 정보를 얻으려면 즐기세요 정시 배송 보장.
정밀 박막 증착을 실현하세요
액체 가스화기가 장착된 킨텍 슬라이드 PECVD 튜브 퍼니스는 다목적 고성능 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 시스템입니다. 현대 연구 및 생산의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 이 시스템은 500W RF 플라즈마 소스, 빠른 열 순환을 위한 혁신적인 슬라이드 아웃 퍼니스, 정밀한 가스 흐름 제어 및 견고한 진공 스테이션을 결합합니다. 이 시스템은 전자, 반도체, 광학 또는 첨단 재료 과학 분야에서 탁월한 결과와 신뢰성을 제공합니다. 킨텍은 뛰어난 R&D 전문성과 자체 제조 역량을 활용하여 이와 같은 고급 용광로 솔루션을 제공하며, 고객의 고유한 실험 요구 사항을 정확하게 충족하는 강력한 심층 맞춤화를 제공합니다.
주요 특징 및 이점
액체 가스화기가 장착된 슬라이드 PECVD 튜브 용광로는 연구 및 생산을 향상시키는 다양한 이점을 제공합니다:
- 향상된 전력 생성: 혁신적인 흑연 보트 구조로 태양전지 웨이퍼의 출력을 크게 향상시킵니다.
- 균일한 셀 품질: 튜브형 PECVD 셀의 색상 차이를 효과적으로 제거하여 일관된 결과를 보장합니다.
- 다목적 RF 플라즈마 소스: 다양한 애플리케이션에서 안정적이고 적응 가능한 성능을 위해 넓은 출력 전력 범위(5-500W)의 자동 매칭 RF 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다.
- 빠른 열 순환: 퍼니스 챔버 슬라이딩 시스템으로 고속 가열 및 냉각이 가능하여 처리 시간을 크게 단축합니다. 보조 강제 공기 순환으로 냉각 속도가 더욱 빨라집니다.
- 자동화된 작동: 자동 슬라이딩 이동 옵션은 효율성을 높이고 수동 개입을 줄여 워크플로우를 간소화합니다.
- 정밀한 온도 관리: PID 프로그래밍 가능 온도 제어로 정확한 온도 조절이 가능합니다. 원격 및 중앙 집중식 제어를 지원하여 편의성과 운영 유연성을 높입니다.
- 정확한 가스 제어: 고정밀 MFC 질량 유량계가 소스 가스를 정밀하게 제어하여 안정적이고 일관된 사전 혼합 가스 공급을 보장합니다.
- 고성능 진공 시스템: 여러 개의 적응 포트가 있는 스테인리스강 진공 플랜지는 다양한 진공 펌프 스테이션 구성을 수용하여 높은 진공도와 안정적인 밀봉을 보장합니다.
- 사용자 친화적인 인터페이스: CTF Pro 7인치 TFT 터치스크린 컨트롤러가 장착되어 있어 프로그램 설정과 조작이 간편하고 기록 데이터를 쉽게 분석할 수 있습니다.
다양한 응용 분야
액체 가스화기가 장착된 슬라이드 PECVD 튜브 용광로는 다음과 같은 다양한 응용 분야에 이상적입니다:
- 화학 기상 증착(CVD)
- 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)
- 다양한 재료의 박막 증착
- 태양 전지 제조 및 연구
- 반도체 공정
- 나노 기술 연구 및 개발
- 첨단 재료 과학 연구
- 제어된 환경에서의 일반 연구 및 개발
시스템 구성 살펴보기
킨텍은 다양한 실험 요구를 충족시키기 위해 다양한 CVD 시스템 구성을 제공합니다. 아래는 사용 가능한 구성의 예입니다:
작동 원리
액체 가스화기가 있는 슬라이드 PECVD 튜브 퍼니스는 저온 플라즈마를 사용하여 공정 챔버의 음극(샘플 트레이)에서 글로우 방전을 생성합니다. 글로우 방전(또는 다른 열원)은 샘플의 온도를 미리 정해진 수준까지 올립니다. 그런 다음 제어된 양의 공정 가스가 도입되어 화학 및 플라즈마 반응을 거쳐 시료 표면에 고체 필름을 형성합니다.
내장된 안전 이점
- 과전류 및 과열 보호: 퍼니스에는 과전류 보호 및 과온 경보 기능이 탑재되어 있어 한계를 초과하면 자동으로 전원을 차단합니다.
- 열전대 고장 감지: 열전대 감지 기능이 내장되어 있어 열전대가 파손되거나 고장난 것이 감지되면 가열을 중지하고 알람을 울려 무분별한 가열을 방지합니다.
- 정전 재시작 기능: PE Pro 컨트롤러는 정전 재시작 기능을 지원하여 정전 후 전원이 복구되면 가열로가 자동으로 가열 프로그램을 재개할 수 있습니다.
기술 사양
| 퍼니스 모델 | KT-PE12-60 |
| 최대 온도 | 1200℃ |
| 일정한 작업 온도 | 1100℃ |
| 용광로 튜브 재질 | 고순도 석영 |
| 용광로 튜브 직경 | 60mm |
| 가열 영역 길이 | 1x450mm |
| 챔버 재질 | 일본 알루미나 섬유 |
| 발열체 | Cr2Al2Mo2 와이어 코일 |
| 가열 속도 | 0-20℃/min |
| 열 커플 | K 타입 빌드 |
| 온도 컨트롤러 | 디지털 PID 컨트롤러/터치 스크린 PID 컨트롤러 |
| 온도 제어 정확도 | ±1℃ |
| 슬라이딩 거리 | 600mm |
| RF 플라즈마 장치 | |
| 출력 전력 | 5 -500W, ± 1% 안정성으로 조정 가능 |
| RF 주파수 | 13.56MHz ±0.005% 안정성 |
| 반사 전력 | 최대 350W |
| 매칭 | 자동 |
| 노이즈 | |
| 냉각 | 공기 냉각. |
| 가스 정밀 제어 장치 | |
| 유량계 | MFC 질량 유량계 |
| 가스 채널 | 4개 채널 |
| 유량 |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500SCCM N2 |
| 선형성 | ±0.5% F.S. |
| 반복성 | ±0.2% F.S. |
| 파이프 라인 및 밸브 | 스테인리스 스틸 |
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa |
| 유량계 컨트롤러 | 디지털 노브 컨트롤러/터치 스크린 컨트롤러 |
| 표준 진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 피라니/저항 실리콘 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 10Pa |
| 고진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 분자 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S+110L/S |
| 진공 흡입 포트 | KF25 |
| 진공 게이지 | 복합 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 6x10-4Pa |
| 상기 사양 및 설정은 사용자 지정 가능 | |
표준 패키지 구성품
| 아니요. | 설명 | 수량 |
| 1 | 용광로 | 1 |
| 2 | 석영 튜브 | 1 |
| 3 | 진공 플랜지 | 2 |
| 4 | 튜브 열 블록 | 2 |
| 5 | 튜브 써멀 블록 후크 | 1 |
| 6 | 내열 장갑 | 1 |
| 7 | RF 플라즈마 소스 | 1 |
| 8 | 정밀한 가스 제어 | 1 |
| 9 | 진공 장치 | 1 |
| 10 | 사용 설명서 | 1 |
커스터마이징 및 옵션 설정
킨텍은 강력한 심층 맞춤화 역량에 자부심을 가지고 있습니다. 고객의 고유한 실험 요구 사항을 정확하게 충족하도록 슬라이드 PECVD 튜브 퍼니스를 맞춤화할 수 있습니다. 사용 가능한 옵션 설정은 다음과 같습니다:
- 튜브 내 가스 감지 및 모니터링(예: H2, O2)
- 독립적인 퍼니스 온도 모니터링 및 기록 시스템
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트
- 맞춤형 가스 공급 유량 제어(질량 유량계 또는 플로트 유량계)
- 다목적의 운전자 친화적인 기능을 갖춘 고급 터치 스크린 온도 컨트롤러
- 다양한 고진공 펌프 스테이션 설정(예: 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 확산 펌프)
고급 용광로 요구사항에 대한 킨텍과의 파트너십
킨텍의 슬라이드 PECVD 튜브 퍼니스는 적응성과 고성능을 위해 설계되었습니다. 당사는 귀사의 연구가 고유하다는 것을 잘 알고 있습니다. 당사의 강력한 심층 맞춤화 기능을 활용하여 이 시스템을 정확한 사양에 맞게 조정할 수 있습니다. 다양한 온도 범위, 특정 가스 구성, 고급 제어 기능 또는 고유한 진공 설정이 필요한 경우 당사 전문가 팀이 도와드릴 준비가 되어 있습니다.
연구 또는 생산 수준을 높일 준비가 되셨나요? 전문가와 요구 사항을 논의하고 맞춤형 견적을 받아보세요. 지금 바로 문의 양식을 작성해 주세요 를 작성하시면 전문가가 곧 연락을 드리고 완벽한 PECVD 솔루션을 구성할 수 있도록 도와드리겠습니다!
FAQ
튜브 퍼니스는 무엇이며 어떻게 작동하나요?
멀티존 튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
CVD 장비의 원리는 무엇인가요?
분할 튜브 퍼니스의 일반적인 응용 분야는 무엇입니까?
수직 튜브 퍼니스가 무엇인가요?
튜브 퍼니스의 주요 용도는 무엇인가요?
다중 구역 튜브 용광로의 주요 특징은 무엇인가요?
CVD 장비를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
분할 튜브 퍼니스의 주요 특징은 무엇인가요?
수직 튜브 용광로는 어떤 용도로 사용되나요?
튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?
다중 구역 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
CVD 장비의 용도는 무엇인가요?
분할 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
수직 튜브 퍼니스의 장점은 무엇인가요?
어떤 유형의 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?
다중 구역 튜브 퍼니스 사용의 장점은 무엇인가요?
CVD 장비의 주요 특징은 무엇입니까?
분할 튜브 퍼니스를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
수직 튜브 퍼니스는 어떻게 작동하나요?
튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
어떤 유형의 멀티존 튜브 퍼니스를 사용할 수 있나요?
어떤 유형의 CVD 장비를 사용할 수 있나요?
분할 튜브 퍼니스는 어떤 온도까지 도달할 수 있나요?
어떤 유형의 수직 튜브 용광로를 사용할 수 있나요?
튜브 퍼니스는 다양한 대기 환경에서 작동할 수 있나요?
튜브 용광로에서 분할 설계가 유리한 이유는 무엇인가요?
수평형 대신 수직형 튜브 퍼니스를 선택하는 이유는 무엇일까요?
킨텍 튜브 퍼니스의 특별한 점은 무엇일까요?
수직 튜브 용광로는 어떤 온도 범위를 달성할 수 있나요?
수직 튜브 퍼니스는 맞춤화가 가능한가요?
4.9
out of
5
Incredible precision and efficiency! This machine has revolutionized our lab workflow.
4.8
out of
5
Fast delivery and top-notch quality. Worth every penny for advanced research.
4.7
out of
5
The durability is unmatched. A reliable workhorse for high-temperature applications.
4.9
out of
5
Cutting-edge technology with seamless integration. Highly recommended for serious labs.
4.8
out of
5
Exceptional value for money. The liquid gasifier feature is a game-changer.
4.9
out of
5
Superior build quality and performance. Exceeded all our expectations.
4.7
out of
5
Easy to operate and maintain. Perfect for both beginners and experts.
4.8
out of
5
Fast setup and outstanding results. A must-have for any advanced lab.
4.9
out of
5
The technological advancement is mind-blowing. Delivered ahead of schedule!
4.8
out of
5
Robust and reliable. Perfect for continuous high-performance tasks.
4.9
out of
5
Precision engineering at its finest. Our experiments have never been smoother.
4.7
out of
5
Great investment for any lab. The quality speaks for itself.
4.8
out of
5
Innovative design and flawless performance. A standout in its category.
4.9
out of
5
The speed and accuracy are unparalleled. A true technological marvel.
4.7
out of
5
User-friendly and highly efficient. Perfect for complex applications.
4.8
out of
5
Outstanding durability and performance. Delivered faster than expected.
4.9
out of
5
A masterpiece of engineering. The liquid gasifier is a brilliant addition.
4.7
out of
5
Consistent results every time. A reliable partner for advanced research.
4.8
out of
5
Exceptional build and innovative features. A top-tier machine for any lab.
조회를 요청하다
우리의 전문 팀이 영업일 기준 1일 이내에 답변을 드릴 것입니다. 언제든지 연락 주시기 바랍니다!
관련 제품
경사형 로터리 플라즈마 강화 화학 증착 PECVD 튜브 퍼니스 기계
킨텍의 PECVD 코팅기는 LED, 태양 전지 및 MEMS에 저온에서 정밀한 박막을 제공합니다. 맞춤형 고성능 솔루션.
분할 다중 가열 구역 로터리 튜브 용광로 회전 튜브 용광로
기울기 조절, 360° 회전, 맞춤형 가열 구역을 갖춘 고온 재료 가공용 정밀 분할 다중 가열 구역 로터리 튜브 퍼니스입니다. 실험실에 이상적입니다.
진공 스테이션 CVD 기계가 있는 스플릿 챔버 CVD 튜브 퍼니스
진공 스테이션이 있는 분할 챔버 CVD 튜브 용광로 - 첨단 재료 연구를 위한 고정밀 1200°C 실험실 용광로입니다. 맞춤형 솔루션 제공.
화학 기상 증착 장비용 다중 가열 구역 CVD 튜브 용광로 기계
킨텍의 멀티존 CVD 튜브 용광로는 고급 박막 증착을 위한 정밀 온도 제어 기능을 제공합니다. 연구 및 생산에 이상적이며 실험실 요구 사항에 맞게 맞춤 설정할 수 있습니다.
맞춤형 다목적 CVD 튜브 용광로 화학 기상 증착 CVD 장비 기계
킨텍의 CVD 튜브 퍼니스는 박막 증착에 이상적인 최대 1600°C의 정밀 온도 제어 기능을 제공합니다. 연구 및 산업 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.
경사형 로터리 플라즈마 강화 화학 증착 PECVD 튜브 퍼니스 기계
정밀한 박막 증착을 위한 고급 PECVD 튜브 퍼니스. 균일한 가열, RF 플라즈마 소스, 맞춤형 가스 제어. 반도체 연구에 이상적입니다.
석영 또는 알루미나 튜브가 있는 1700℃ 고온 실험실 튜브 용광로
알루미나 튜브가 있는 킨텍의 튜브 퍼니스: 재료 합성, CVD 및 소결을 위해 최대 1700°C까지 정밀 가열합니다. 컴팩트하고 사용자 정의가 가능하며 진공 상태에서도 사용할 수 있습니다. 지금 살펴보세요!
실험실 진공 틸트 로터리 튜브 퍼니스 회전 튜브 퍼니스
킨텍 실험실 로터리 퍼니스: 소성, 건조, 소결을 위한 정밀 가열. 진공 및 제어 대기를 갖춘 맞춤형 솔루션. 지금 연구를 강화하세요!
진공 밀폐형 연속 작업 로터리 튜브 퍼니스 회전 튜브 퍼니스
연속 진공 처리를 위한 정밀 로터리 튜브 퍼니스. 소성, 소결 및 열처리에 이상적입니다. 최대 1600℃까지 맞춤 설정 가능.
1200℃ 분할 튜브 용광로 실험실 석영 튜브가있는 석영 튜브 용광로
정밀한 고온 실험실 응용 분야를 위한 석영 튜브가 있는 킨텍의 1200℃ 분할 튜브 용광로를 만나보세요. 맞춤형, 내구성, 효율성이 뛰어납니다. 지금 구입하세요!
킨텍 고압 튜브 퍼니스: 15Mpa 압력 제어로 최대 1100°C까지 정밀 가열. 소결, 결정 성장 및 실험실 연구에 이상적입니다. 맞춤형 솔루션 제공.
RF PECVD 시스템 고주파 플라즈마 기상 증착 강화 화학 기상 증착법
킨텍 RF PECVD 시스템: 반도체, 광학 및 MEMS를 위한 정밀 박막 증착. 자동화된 저온 공정으로 우수한 박막 품질을 제공합니다. 맞춤형 솔루션 제공.
석영 및 알루미나 튜브가 있는 1400℃ 고온 실험실 튜브 용광로
알루미나 튜브가 있는 킨텍의 튜브 용광로: 실험실을 위한 최대 2000°C의 정밀 고온 처리. 재료 합성, CVD 및 소결에 이상적입니다. 맞춤형 옵션을 사용할 수 있습니다.
전기 로터리 킬른 소형 로터리로 바이오매스 열분해 플랜트 회전로
킨텍의 회전식 바이오매스 열분해로는 바이오매스를 바이오 숯, 바이오 오일 및 합성 가스로 효율적으로 변환합니다. 연구 또는 생산에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 지금 솔루션을 받으세요!
신속하고 정밀한 재료 가공을 위한 킨텍의 첨단 스파크 플라즈마 소결(SPS) 용광로에 대해 알아보세요. 연구 및 생산을 위한 맞춤형 솔루션.
고정밀 애플리케이션을 위한 초진공 전극 피드스루 커넥터 플랜지 파워 리드
안정적인 UHV 연결을 위한 초고진공 전극 피드스루. 반도체 및 우주 애플리케이션에 이상적인 고밀폐, 맞춤형 플랜지 옵션.
진공 시스템용 304 316 스테인리스 스틸 고진공 볼 스톱 밸브
킨텍의 304/316 스테인리스 스틸 진공 볼 밸브 및 스톱 밸브는 산업 및 과학 응용 분야를 위한 고성능 씰링을 보장합니다. 내구성이 뛰어나고 부식에 강한 솔루션을 살펴보세요.
킨텍 진공 열간 프레스 용광로: 우수한 재료 밀도를 위한 정밀 가열 및 프레스. 최대 2800°C까지 맞춤 설정이 가능하며 금속, 세라믹 및 복합재에 이상적입니다. 지금 고급 기능을 살펴보세요!
초고진공 스테인레스 스틸 KF ISO CF 플랜지 파이프 스트레이트 파이프 티 크로스 피팅
정밀 애플리케이션을 위한 KF/ISO/CF 초고진공 스테인리스강 플랜지 파이프 시스템. 맞춤형, 내구성, 누출 방지. 지금 전문가 솔루션을 받아보세요!