70mm 튜브 용광로의 가열 튜브는 일반적으로 작동 온도와 가공되는 재료의 특성에 따라 석영, 세라믹 또는 스테인리스 스틸과 같은 재료로 만들어집니다.석영은 고온 용도에 이상적이며 열충격에 대한 저항성이 뛰어나며 세라믹은 내구성과 화학 반응에 대한 저항성을 제공합니다.스테인리스 스틸은 저온 공정이나 기계적 강도가 우선시되는 경우에 주로 사용됩니다.일부 재료는 특정 가스 환경에 더 적합하기 때문에 재료 선택은 용광로가 불활성 또는 반응성 대기를 처리할지 여부에 따라 달라집니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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석영 히팅 튜브
- 고온 저항:석영은 최대 1200°C의 온도를 견딜 수 있어 화학 기상 증착(CVD)과 같은 공정에 적합합니다.
- 열 충격 저항:급격한 온도 변화에 잘 견디며 균열의 위험을 줄여줍니다.
- 화학적 불활성:반응성 가스 또는 부식성 물질이 포함된 공정에 이상적입니다.
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세라믹 히팅 튜브
- 내구성:알루미나와 같은 세라믹 소재는 견고하고 마모에 강해 장기간 사용하기에 적합합니다.
- 고온 안정성:1600°C 이상의 온도에서 작동할 수 있어 소결 및 열처리에 유용합니다.
- 부식 저항:강한 화학 물질이나 산화성 대기가 있는 환경에서 효과적입니다.
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스테인리스 스틸 히팅 튜브
- 기계적 강도:진공 소결 등 구조적 무결성이 요구되는 애플리케이션에 선호됩니다.
- 저온 적합성:극한의 내열성이 필요하지 않은 1000°C 이하의 공정에 가장 적합합니다.
- 비용 효율성:표준 산업용 애플리케이션에서 석영이나 세라믹보다 경제적입니다.
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부식성 환경을 위한 특수 소재
- 몰리브덴 또는 텅스텐 튜브:화학적 분해에 강하므로 부식성이 강한 재료를 가공할 때 사용합니다.
- 파이렉스 또는 퓨즈드 쿼츠:광학 투명성 또는 순도가 필요한 실험실 규모의 용광로에 일반적입니다.
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대기 환경 고려 사항
- 불활성 가스 호환성:불활성 분위기(예: 아르곤, 질소)에는 석영과 세라믹이 선호됩니다.
- 반응성 가스 처리:스테인리스 스틸은 반응성 환경에서 산화를 방지하기 위해 코팅이나 합금이 필요할 수 있습니다.
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멀티존 퍼니스와 싱글존 퍼니스 비교
- 열 균일성:단일 구역 용광로의 수냉식 엔드 캡은 균일한 난방을 유지하는 데 도움이 됩니다.
- 정밀 제어:다중 구역 퍼니스는 프로그래밍 가능한 온도 프로파일을 허용하여 일관성을 위한 재료 선택에 영향을 줍니다.
전열관 재료의 선택은 궁극적으로 온도 요구 사항, 화학적 호환성 및 기계적 요구 사항의 균형을 맞추는 데 달려 있습니다.퍼니스의 가스 관리 시스템이 선택에 어떤 영향을 미칠 수 있는지 고려해 보셨나요?이러한 재료는 반도체 제조 및 야금과 같은 분야의 발전을 조용히 지원하며 현대 산업 및 연구 환경에서 필수적인 것으로 입증되었습니다.
요약 표:
자료 | 주요 기능 | 최고의 대상 |
---|---|---|
석영 | 고온(최대 1200°C), 열 충격 저항, 화학적 불활성 | CVD, 반응성/부식성 환경 |
세라믹 | 내구성, 고온 안정성(>1600°C), 내식성 | 소결, 열처리, 가혹한 화학적 환경에 대한 내구성 |
스테인리스 스틸 | 기계적 강도, 비용 효율, 저온 적합성(<1000°C) | 진공 소결, 산업용 애플리케이션 |
몰리브덴/텅스텐 | 내식성, 극한 조건 | 부식성이 높은 재료 |
파이렉스/퓨즈드 쿼츠 | 광학 투명성, 순도 | 실험실 규모의 용광로, 정밀 실험 |
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