3존 퍼니스는 하나의 챔버를 3개의 개별 가열 구역으로 나누고 각각 독립적인 온도 제어 시스템, 발열체 및 센서를 장착한 구조로 설계되었습니다.이 구조는 정밀한 열 관리가 가능하여 일관되고 반복 가능한 결과가 필요한 복잡한 산업 공정에 이상적입니다.이 퍼니스는 각 구역에서 최대 1700°C의 고온을 달성할 수 있으며, 모델에 따라 다양한 온도를 사용할 수 있습니다.각 구역을 독립적으로 제어할 수 있어 가열 프로파일의 유연성이 보장되어 다양한 재료 가공 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
핵심 포인트 설명:
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3존 퍼니스의 기본 구조
- A 3존 튜브 퍼니스 는 세 개의 개별 가열 구역으로 나뉜 하나의 길쭉한 챔버로 구성되어 있습니다.
- 각 구역에는 자체 발열체, 온도 센서 및 제어 메커니즘이 장착되어 있습니다.
- 구역은 일반적으로 선형으로 배열되어 순차적 또는 독립적인 난방 프로필을 사용할 수 있습니다.
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독립적인 온도 제어
- 각 구역은 자체 PID(비례-적분-미분) 루프 제어로 작동하여 정밀한 온도 조절을 보장합니다.
- 온도 균일성은 +/- 5°C 이내로 유지되며, 일부 모델은 더 엄격한 제어(+/- 1°C)를 제공합니다.
- 이러한 독립성 덕분에 그라데이션 가열, 등온 처리 또는 맞춤형 열 프로파일을 구현할 수 있습니다.
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발열체 및 온도 기능
- 발열체는 모델에 따라 다르지만 일반적으로 저항선, 탄화규소 막대 또는 이규화몰리브덴(MoSi2) 소자를 사용합니다.
- 최대 온도는 최대 1700°C까지 올라갈 수 있으며, 일부 모델은 특정 용도에 따라 더 낮은 최대 온도(예: 1200°C 또는 1400°C)를 제공합니다.
- 발열체의 선택은 필요한 온도 범위와 처리하는 재료에 따라 달라집니다.
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응용 분야 및 장점
- 정밀한 열 구배가 필요한 재료 연구, 반도체 공정 및 세라믹 소결에 사용됩니다.
- 어닐링, 브레이징, 화학 기상 증착(CVD)과 같은 공정을 높은 반복성으로 수행할 수 있습니다.
- 다중 구역 설계로 점진적인 온도 변화를 허용하여 재료의 열 스트레스를 줄여줍니다.
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안전 및 유지보수 고려 사항
- 전기 연결부는 정기적으로 전선이 닳거나 연결이 느슨하지 않은지 검사하여 위험을 예방해야 합니다.
- 감전을 방지하려면 적절한 접지가 필수적입니다.
- 온도 센서를 정기적으로 보정하면 시간이 지나도 정확성을 유지할 수 있습니다.
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다른 퍼니스 유형과의 비교
- 단일 구역 퍼니스와 달리 3구역 퍼니스는 열 처리에 있어 더 큰 유연성을 제공합니다.
- 진공로는 더 높은 온도(최대 2000°C)를 제공할 수 있지만 다중 구역 제어 기능이 부족합니다.
이 구조화된 접근 방식은 고온 처리에서 정밀성과 다양성을 모두 제공하여 산업 및 연구 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 퍼니스가 되도록 보장합니다.
요약 표:
| 기능 | 설명 |
|---|---|
| 구조 | 각각 독립적인 발열체가 있는 세 개의 구역으로 나뉜 단일 챔버. |
| 온도 제어 | 구역별 PID 루프 제어(±1°C ~ ±5°C 균일성). |
| 최대 온도 | 최대 1700°C(모델에 따라 다름). |
| 애플리케이션 | 어닐링, CVD, 소결 및 반도체 공정. |
| 안전 | 정기적인 전기 점검과 센서 보정이 필요합니다. |
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