가스를 도입할 수 있는 3존 튜브 퍼니스 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 대기압 또는 대기압 이하 압력에서 사용할 수 있습니다.이 퍼니스는 1000°C 이하의 온도에서 어닐링 및 화학 기상 증착(CVD)을 포함한 유연한 처리를 위해 설계되었습니다.안전 조치와 정밀한 제어 기능은 이러한 압력 조건에서 안정적인 작동을 보장합니다.
핵심 사항 설명:
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가스 도입을 위한 압력 범위
- 가스는 다음 압력에서 도입할 수 있습니다. 대기압 (표준 조건) 또는 대기권 이하의 압력 (진공 또는 감압).
- 원치 않는 반응을 최소화하거나 증착 균일성을 개선하기 위해 CVD와 같은 공정에서 대기권 이하의 조건이 자주 사용됩니다.
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디자인 및 유연성
- 3존 3존 튜브 퍼니스 은 어닐링 및 CVD에 최적화되어 있으며, 균일한 가열을 위해 3개의 구역에서 독립적인 온도 제어가 가능합니다.
- 최대 60mm 크기의 샘플을 수용하며 가스 매니폴드가 포함되어 있어 가스 전달을 제어할 수 있습니다.
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온도 및 안전 고려 사항
- 작동 온도는 일반적으로 1000°C 미만이지만 일부 모델은 더 높은 범위를 지원할 수 있습니다.
- 과열 및 과압 보호와 같은 안전 기능으로 다양한 가스 압력에서도 안정적인 작동을 보장합니다.
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공정별 조정
- CVD의 경우 가스 확산 및 반응 동역학을 향상시키기 위해 대기압 이하 압력이 선호될 수 있습니다.
- 어닐링은 재료 요구 사항에 따라 단순성을 위해 대기압을 사용할 수 있습니다.
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진공 시스템과의 통합
- 대기압 이하의 압력이 필요한 경우, 특정 모델과 구성에 따라 다르지만 퍼니스를 진공 펌프 시스템과 함께 사용할 수 있습니다.
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작업자 안전
- 다양한 압력의 가스를 취급할 때는 적절한 환기와 PPE(예: 내열 장갑, 보안경)를 반드시 착용해야 합니다.
- 비상 종료 절차를 명확히 이해해야 합니다.
이러한 유연성 덕분에 3존 튜브 퍼니스 재료 연구부터 반도체 공정에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다.압력 매개변수를 조정하면 특정 공정 목표에 부합할까요?
요약 표:
| 기능 | 세부 정보 |
|---|---|
| 압력 범위 | 대기압 또는 대기압 이하(진공/감압) |
| 주요 응용 분야 | 어닐링, CVD, 재료 연구, 반도체 공정 |
| 온도 범위 | 일반적으로 1000°C 미만(일부 모델은 더 높은 온도 지원) |
| 안전 조치 | 과열/과압 보호, 비상 종료 프로토콜 |
| 통합 옵션 | 대기권 이하의 공정을 위한 진공 펌프 시스템과 호환 가능 |
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