3구역 튜브 퍼니스는 특히 정밀한 온도 제어, 균일성 및 공정 유연성이 필요한 응용 분야에서 단일 구역 퍼니스에 비해 상당한 기술적 이점을 제공합니다.이 퍼니스는 개별적으로 제어되는 가열 구역으로 설계되어 시료의 길이에 따라 맞춤형 열 프로파일을 만들 수 있습니다.이 기능은 온도 구배 또는 단계적 가열이 필요한 첨단 재료 가공, 반도체 제조 및 연구 분야에 필수적입니다.또한 3존 퍼니스는 향상된 안전 기능, 자동화, 다양한 전원 공급 장치 및 액세서리와의 호환성을 제공하므로 산업 및 실험실 환경에서 다목적이며 신뢰할 수 있는 선택이 될 수 있습니다.
핵심 포인트 설명:
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향상된 온도 균일성 및 제어
- 3존 튜브 퍼니스는 시료의 길이에 따른 온도 편차를 최소화하여 일관된 열처리를 보장합니다.
- 독립적인 구역 제어를 통해 반도체의 도펀트 확산이나 재료의 상 전이와 같은 공정에 중요한 정밀한 열 프로파일링이 가능합니다.
- 단일 구역 퍼니스에 비해 다중 구역 설계는 핫 스팟 또는 콜드 스팟을 줄여 실험 재현성을 향상시킵니다.
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프로그래밍 및 자동화
- 통합 디지털 컨트롤러로 단계별 프로그래밍이 가능하여 사용자가 복잡한 난방 및 냉방 프로필을 설정할 수 있습니다.
- 마스터/슬레이브 구성으로 독립적인 안전 한계를 유지하면서 동기화된 구역 제어를 보장합니다.
- 원격 모니터링 기능은 연구 및 품질 관리를 위한 프로세스 추적 및 데이터 로깅을 향상시킵니다.
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안전 및 신뢰성
- 과열 보호 및 열전대 차단 알람은 장비 손상을 방지하고 작업자의 안전을 보장합니다.
- 전기 가열은 가스 또는 오일 기반 시스템과 관련된 연소 위험을 제거하여 실험실 환경에 더 안전합니다.
- 견고한 구조와 고온 기능(최대 1760°C)으로 장기적인 안정성을 보장합니다.
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다양한 응용 분야
- 3존 퍼니스는 단계별 열처리를 통해 세라믹, 나노 소재, 반도체 등 다양한 소재를 지원합니다.
- 석영 또는 알루미나 보트와 같은 옵션 액세서리는 다양한 시료 유형과의 호환성을 향상시키고 분위기 레토르트 용광로 .
- 가열 튜브 길이(예: 27인치)는 더 큰 시료 또는 배치 처리에 적합합니다.
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전력 및 운영 유연성
- 220V(단상) 및 415V(3상) 구성으로 제공되어 다양한 시설 요건을 충족할 수 있습니다.
- 다중 구역 설계는 전체 챔버를 균일하게 가열하는 단일 구역 용광로와 달리 필요한 부분만 가열하여 에너지 낭비를 줄입니다.
3존 튜브 퍼니스는 뛰어난 온도 제어, 안전성 및 적응성을 제공함으로써 단일 구역 시스템의 한계를 해결하여 고급 열처리에 필수적인 요소입니다.그라데이션 어닐링이나 제어 대기 실험과 같은 실제 조건을 시뮬레이션할 수 있는 능력은 연구 및 산업 응용 분야 모두에서 그 가치를 더욱 강조합니다.
요약 표:
| 기능 | 3존 튜브 퍼니스 | 단일 구역 용광로 |
|---|---|---|
| 온도 제어 | 정밀한 그라데이션을 위한 독립적인 구역 제어 | 균일한 가열만 가능 |
| 공정 유연성 | 단계별 가열 및 복잡한 프로파일 지원 | 단일 단계 프로세스로 제한 |
| 에너지 효율 | 필요한 구역만 가열 | 챔버 전체가 균일하게 가열 |
| 안전 기능 | 과열 보호, 열전대 알람 | 기본 안전 제어 |
| 애플리케이션 | 반도체, 나노 소재, 세라믹 | 더 간단한 열처리 |
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