3구역 분할 튜브 퍼니스는 여러 안전 보호 기능을 통합하여 고온 공정 중에도 안전하게 작동할 수 있도록 합니다.주요 안전 기능으로는 과열 경보, 열전대 파손 감지, 정전 보호, 방폭 설계 등이 있으며, 제어된 대기 환경을 위한 방폭 설계가 포함되어 있습니다.수냉식 엔드캡과 단열 현관 같은 추가 안전장치는 열 효율을 높이는 동시에 위험을 최소화합니다.이러한 보호 기능은 정밀한 온도 제어와 위험 예방이 가장 중요한 반도체 제조부터 나노 물질 합성에 이르는 다양한 애플리케이션에 매우 중요합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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핵심 안전 보호 기능
- 과열 경보:온도가 안전 임계값을 초과하면 자동으로 작동하여 장비 손상 및 잠재적 화재를 방지합니다.
- 열전대 단선 감지:온도 센서에 장애가 발생하면 작업자에게 경고하여 정확한 모니터링을 보장하고 제어되지 않은 가열을 방지합니다.
- 정전 보호:전기 이상 시 전원을 차단하여 위험한 상황을 방지합니다.
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대기 제어 안전
- 폭발 방지 장치:다음과 같이 반응성 또는 인화성 가스를 포함하는 공정에 필수적입니다. 화학 기상 증착 반응기 애플리케이션
- 가스 처리 시스템:독성 또는 가연성 가스로 인한 위험을 완화하기 위해 누출 감지 및 비상 퍼지 기능을 포함합니다.
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열 및 구조적 안전 장치
- 단열 현관 및 등급별 단열재:열 손실을 최소화하고 외부 표면 온도를 낮춰 화상 위험을 낮춥니다.
- 수냉식 엔드 캡:고온 환경에서 씰 무결성을 유지하는 데 중요한 튜브 입구의 과열을 방지합니다.
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운영 설계 이점
- 다중 구역 온도 제어:재료의 열 스트레스를 줄이면서 정밀한 열 프로파일링이 가능하여 공정 편차를 방지함으로써 간접적으로 안전성을 향상시킵니다.
- 컴팩트한 통합:노출된 뜨거운 표면을 줄이고 위험 차단을 간소화합니다.
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위험 완화를 위한 커스터마이징
- 강화 튜브 또는 재료별 발열체(예: 초고온용 MoSi2)와 같은 옵션 기능을 통해 고유한 공정 위험을 해결할 수 있습니다.
이러한 보호 기능은 반도체 도핑 및 세라믹 합성과 같은 고급 애플리케이션을 지원하면서 산업 안전 표준 준수를 종합적으로 보장합니다.이러한 기능이 시설의 특정 가스 취급 또는 온도 요구 사항에 어떻게 부합하는지 고려해 보셨나요?
요약 표:
| 안전 기능 | 기능 |
|---|---|
| 과열 경보 | 온도가 안전 한계를 초과하면 경고를 트리거하여 손상을 방지합니다. |
| 열전대 단선 감지 | 제어되지 않은 가열을 방지하기 위해 센서 무결성을 모니터링합니다. |
| 정전 보호 | 전기 이상 시 전원을 차단하여 안전하게 종료합니다. |
| 방폭 설계 | 통제된 대기 환경에서 반응성/인화성 가스 위험으로부터 보호합니다. |
| 수냉식 엔드캡 | 튜브 입구의 과열을 방지하여 씰 무결성을 유지합니다. |
| 현관 단열 | 외부 표면 온도를 낮추고 화상 위험을 최소화합니다. |
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