3구역 분할 튜브 퍼니스는 챔버와 단열재에 특수 소재를 사용하여 열 균일성을 유지하면서 고온을 견딜 수 있습니다.챔버는 일반적으로 내구성과 내열성으로 유명한 고온 지르코니아 등급의 세라믹 섬유 소재를 사용합니다.단열을 위해 이 퍼니스는 고품질 세라믹 섬유 지르코니아 등급의 단열재를 사용하여 세 구역의 온도를 균일하게 유지합니다.이러한 소재는 극한의 열(일부 모델의 경우 최대 1800°C)을 처리하는 능력과 정밀한 열 제어 시스템과의 호환성 때문에 선택되었습니다.분할 설계로 챔버에 쉽게 접근하면서도 이러한 중요한 열 특성을 유지할 수 있습니다.
핵심 포인트 설명:
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챔버 재료 구성
- 고온 지르코니아 등급의 세라믹 섬유가 챔버의 주요 소재입니다.
- 이 소재는 극한의 온도(1200~1800°C 범위)에서 탁월한 열 안정성을 제공합니다.
- 지르코니아 함량이 높아 열 충격과 화학적 부식에 대한 저항력이 향상됩니다.
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단열 시스템
- 고품질 세라믹 섬유 지르코니아 등급의 단열재가 챔버를 둘러싸고 있습니다.
- 다층 구조로 구역 사이에 효과적인 열 차단막을 형성합니다.
- 각 구역 내 온도 구배를 ±1°C까지 낮게 유지합니다.
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소재 성능 특성
- 낮은 열전도율로 구역 간 열 손실을 최소화합니다.
- 고순도 구성으로 시료의 오염을 방지합니다.
- 열 충격 저항성이 뛰어나 빠른 온도 순환을 수용합니다.
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설계 통합
- 분할 튜브 구성은 재료 무결성을 유지하면서 챔버 접근을 허용합니다.
- 다양한 발열체(칸탈, SiC, MoSi2)와 함께 작동하도록 재료가 선택됩니다.
- 다음에서 사용할 경우 진공 작업과 호환됩니다. 화학 기상 증착 반응기 애플리케이션
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사용자 지정 옵션
- 온도 요구 사항에 따라 재료 두께를 조정할 수 있습니다.
- 특정 용도에 따라 알루미나 코팅을 추가로 적용할 수 있습니다.
- 모듈식 설계로 개별 구역 구성 요소를 교체할 수 있습니다.
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운영 고려 사항
- 장시간 고온 작동 시에도 안정성을 유지하는 소재.
- 잦은 가열/냉각 주기로 인한 열 성능 저하를 방지합니다.
- 다양한 대기(불활성, 환원, 진공)와 호환 가능.
이러한 고급 세라믹 소재의 선택은 반도체 공정 및 첨단 재료 연구와 같은 응용 분야에 중요한 여러 구역에서 정밀한 온도 제어를 유지하는 퍼니스의 기능을 직접적으로 지원합니다.또한 열 특성은 환경으로의 열 손실을 최소화하여 에너지 효율에도 기여합니다.
요약 표:
| 구성 요소 | 재질 | 주요 속성 |
|---|---|---|
| 챔버 | 지르코니아 등급 세라믹 섬유 | 높은 열 안정성(1200~1800°C), 충격/부식 저항성, 낮은 오염도 |
| 절연 | 지르코니아 등급 세라믹 섬유(다층) | ±1°C 균일성, 낮은 열전도율, 진공 호환성 |
| 설계 특징 | 분할 튜브 구성 | 손쉬운 접근, 모듈식 구성품, 맞춤형 두께/코팅 가능 |
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킨텍의 첨단 고온 솔루션은 최첨단 지르코니아 세라믹과 견고한 분할 튜브 설계를 결합하여 탁월한 열 제어를 제공합니다.반도체 공정, CVD 응용 분야 또는 재료 연구 등 어떤 분야에서든 당사의 용광로를 사용할 수 있습니다:
- 모든 구역에서 ±1°C 균일성 모든 구역에서
- 1800°C 기능 충격에 강한 소재 사용
- 맞춤형 구성 진공/불활성 대기용
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