3구역 분할 튜브 퍼니스는 정밀한 온도 구배, 확장된 구역에 걸친 균일한 가열 또는 제어된 대기가 필요한 응용 분야를 위해 설계된 다목적 가열 시스템입니다.다중 구역 구성으로 맞춤형 열 프로파일이 가능하므로 재료 과학, 반도체 제조 및 진공 브레이징과 같은 산업 공정에서 없어서는 안 될 필수 요소입니다.이 퍼니스는 특히 연구, 생산 및 특수 열처리와 같이 단일 구역 시스템으로는 필요한 제어나 균일성이 부족한 시나리오에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
핵심 포인트 설명:
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정밀한 온도 그라데이션 생성
- 튜브 길이를 따라 뚜렷한 온도 영역을 유지하여 CVD(화학 기상 증착) 필름 성장을 제어할 수 있습니다.
- 점진적인 온도 변화가 중요한 결정 성장 및 반도체 공정 지원
- 단일 실험 설정 내에서 다양한 열 조건에서 재료 테스트를 용이하게 합니다.
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확장된 균일한 가열 구역
- 동일한 온도로 설정된 여러 개의 구역은 단일 구역 용광로에 비해 더 긴 등온 구간을 생성합니다.
- 다음과 같은 균일한 열처리 공정에 필수적입니다. (진공 브레이징로) 일정한 온도로 적절한 필러 금속 흐름을 보장합니다.
- 특정 온도에서 장시간 노출이 필요한 재료의 일괄 처리 수율 향상
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고급 재료 처리
- 진공 호환 설계로 금속 사출 성형 부품의 소결, 어닐링 및 디바인딩을 지원합니다.
- 확산 공정 및 산화물 성장을 위한 반도체 제조에 사용
- 세라믹 소결 및 유리 대 금속 밀봉과 같은 특수 애플리케이션 지원
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산업 규모 애플리케이션
- 공구 산업:진공 소결을 통한 카바이드 생산
- 전기 산업:브레이징을 통한 진공 스위칭 챔버 제조
- 자동차: 고성능 합금의 열처리
- 광학 제조:레이저 부품을 위한 결정 성장
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사용자 지정 및 제어 기능
- 다양한 튜브 직경(50-120mm) 및 가열 길이(최대 900mm)로 사용 가능
- 칸탈, SiC 또는 MoSi2 발열체를 사용한 최대 1800°C 온도 범위
- 동기화된 열 프로파일을 위한 마스터/슬레이브 구성이 가능한 프로그래밍 가능한 다중 구역 컨트롤러
- 과열 보호 및 복잡한 열 주기를 위한 정밀한 단계 프로그래밍
이 용광로는 실험실 연구와 산업 생산을 연결하여 섬세한 나노 재료 합성부터 견고한 금속 접합 공정까지 모든 것을 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다.제어된 환경(불활성, 환원 또는 진공)을 유지할 수 있기 때문에 산소에 민감한 재료와 고순도 응용 분야에 특히 유용합니다.
요약 표:
| 애플리케이션 | 주요 이점 |
|---|---|
| CVD 필름 성장 | 제어된 증착을 위한 정밀한 온도 구배 |
| 진공 브레이징 | 일관된 필러 금속 흐름을 위한 확장된 균일한 가열 영역 |
| 반도체 제조 | 확산 공정 및 산화물 성장을 위한 다중 구역 제어 |
| 세라믹 소결 | 고순도 재료 처리를 위한 진공 호환 설계 |
| 산업 규모의 열처리 | 카바이드 생산 및 합금 처리를 위한 맞춤형 열 프로파일 |
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