진공 튜브 퍼니스는 오염이 적은 통제된 환경에서 고온 처리를 위해 설계된 특수 가열 시스템입니다.주요 특징으로는 통합 펌핑 시스템을 통한 진공 작동, 극한의 온도 범위(종종 1000°C 이상), 균일한 열 분포가 있습니다.이러한 용광로는 컴퓨터로 제어되는 가열 사이클, 안전 인터록, 불활성/반응성 가스 도입을 통한 다양한 분위기 제어로 정밀도가 뛰어납니다.어닐링, 담금질, 침탄과 같은 복잡한 야금 공정을 수행하면서 산화를 최소화하는 능력 덕분에 순도와 반복성이 중요한 재료 연구 및 산업 응용 분야에서 필수 불가결한 요소입니다.
핵심 포인트 설명:
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진공 작동 및 분위기 제어
- 통합 진공 튜브 퍼니스 시스템은 기계식 펌프를 사용하여 저압 환경(<10^-3 mbar)을 구현하여 산화 위험을 제거합니다.
- 분압 제어를 통해 침탄과 같은 특수 공정을 위한 불활성(Ar, N₂) 또는 반응성 가스(H₂)를 도입할 수 있습니다.
- 합금 처리에서 작업 부하를 탈기체화하고 크롬 기화를 방지합니다.
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고온 성능
- 표준 작동 범위는 1100~1500°C(2000~2800°F)이며 고급 모델은 2000°C를 초과합니다.
- 튜브 길이를 따라 균일한 가열(통상 ±5°C)로 일관된 시료 처리 보장
- 과열 보호 회로로 열 폭주 방지
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정밀 공정 제어
- 중요 애플리케이션을 위한 ±1°C 안정성을 갖춘 디지털 PID 컨트롤러
- 프로그래밍 가능한 다단계 가열/냉각 프로파일(램프, 담금, 담금질 사이클)
- 야금 반복성을 보장하기 위한 데이터 로깅 및 레시피 저장을 위한 컴퓨터 인터페이스
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다목적 열처리
- 어닐링, 템퍼링, 브레이징 및 소결 지원
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다양한 담금질 옵션:
- 가스 담금질(고순도 N₂/Ar)
- 액체 담금질(오일, 질산염 수조)
- 급속 냉각을 위한 물 담금질 챔버
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안전 및 유지보수 기능
- 전원 손실 또는 진공 위반 시 자동 차단
- 연동식 액세스 도어로 작동 중 개방 방지
- 냉각 플랜지 설계로 열 성능 저하로부터 O-링을 보호
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오염 방지
- 기존 용광로에 비해 미립자 발생이 적습니다.
- 알루미나 또는 석영 튜브 라이너로 금속 증기 오염 최소화
- 열처리 중 대기 중 CO₂로부터 탄소 픽업 없음
튜브 직경 선택이 담금질 중 가스 흐름 역학에 어떤 영향을 미치는지 고려해 보셨나요?종종 간과되는 이 요소는 박막 응용 분야에서 냉각 균일성에 큰 영향을 미칩니다.이러한 시스템은 진공 기술이 반도체 제조 및 항공우주 합금 개발에서 어떻게 조용히 혁신을 가능하게 하는지를 잘 보여줍니다.
요약 표:
| 기능 | 설명 |
|---|---|
| 진공 작동 | 통합 펌핑 시스템(<10^-3 mbar)이 산화 위험을 제거합니다. |
| 고온 범위 | 1100~1500°C(고급 모델의 경우 최대 2000°C)에서 작동합니다. |
| 정밀 제어 | 중요한 애플리케이션을 위한 ±1°C 안정성을 갖춘 디지털 PID 컨트롤러. |
| 다양한 처리 | 다양한 담금질 옵션으로 어닐링, 템퍼링, 브레이징 및 소결을 지원합니다. |
| 안전 및 유지보수 | 자동 차단, 연동 도어, 냉각 플랜지 설계로 안전을 보장합니다. |
| 오염 방지 | 미립자 발생이 적고, 알루미나/석영 라이너가 있으며, 탄소 흡착이 없습니다. |
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