최신 튜브 퍼니스는 실험실 및 산업 환경에서 정밀한 열 처리를 위해 설계된 고급 가열 시스템입니다.고온 성능과 지능형 제어 기능을 결합하여 재료 연구부터 반도체 공정에 이르기까지 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.주요 발전 사항으로는 다중 구역 가열, 대기 제어, 성능 저하 없이 공간을 절약하는 소형(벤치탑 퍼니스)[/topic/benchtop-furnace] 설계가 있습니다.이러한 퍼니스는 디지털 인터페이스를 통해 사용자 친화적인 작동을 유지하면서 CVD, 어닐링 및 결정 성장과 같이 제어된 환경이 필요한 공정에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
핵심 포인트 설명:
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온도 성능 및 균일성
- 최대 1760°C의 연속 온도에서 작동(최고 1800°C에서 피크)
- 다중 구역 구성으로 튜브 길이에 따라 ±1°C 균일성 보장
- 발열체(주로 MoSi₂ 또는 칸탈)로 빠른 가열 속도 지원
- 머플 퍼니스와 비교:튜브 설계로 종방향 열 분배 가능
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대기 제어 시스템
- 진공 기능이 있는 기밀 엔드캡(최저 10-⁵ torr)
- 정밀한 O₂/N₂/H₂/Ar 조합을 위한 통합 가스 혼합
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다음과 같은 공정에 필수적입니다:
- 금속 어닐링에서 산화 감소
- CVD 반응 활성화
- 민감한 재료를 위한 불활성 환경 조성
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지능형 작동 기능
- 50개 이상의 프로그램 세그먼트가 있는 터치스크린 컨트롤러
- 이더넷/RS-485 인터페이스를 통한 원격 모니터링
- LabVIEW 및 기타 소프트웨어와 호환되는 데이터 로깅
- 과열 및 가스 흐름 결함을 위한 안전 인터록
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공간 효율적인 기계 설계
- 수평 방향으로 시료 로딩을 간소화
- 실험실 공간을 절약하는 소형(벤치탑 퍼니스)[/topic/벤치탑 퍼니스] 모델
- 열 손실이 적은 내구성 있는 스테인리스 스틸 하우징
- 애플리케이션 유연성을 위한 퀵 체인지 튜브 시스템(석영/알루미나/SS)
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전문화된 공정 기능
- 분말 가공을 위한 회전식 튜브 버전
- 빠른 담금질을 위한 냉벽 버전
- 현장 관찰을 위한 투명 석영 튜브
- ASTM, MIL-STD 및 기타 산업 표준 충족
이러한 기능들이 어떻게 나노 재료 연구의 획기적인 발전을 가능하게 하는지 생각해 보셨나요?온도 구배와 가스 환경을 정밀하게 제어할 수 있는 현대식 튜브 퍼니스는 차세대 배터리, 태양전지, 항공우주 합금 개발에 필수적인 장비입니다.이러한 발전은 실험실 규모의 혁신과 산업 생산 요구 사항을 연결하는 장비에 대한 필요성이 커지고 있음을 반영합니다.
요약 표:
| 기능 | 설명 |
|---|---|
| 온도 성능 | 최대 1760°C, ±1°C 균일성, MoSi₂/칸탈 소자를 통한 빠른 가열 속도 |
| 분위기 제어 | 기밀 진공(10-⁵ torr), CVD/어닐링을 위한 정밀한 O₂/N₂/H₂/Ar 혼합 |
| 스마트한 작동 | 터치스크린 제어, 원격 모니터링, LabVIEW 호환성, 안전 인터록 |
| 컴팩트한 디자인 | 벤치탑 모델, 스테인리스 스틸 하우징, 퀵 체인지 쿼츠/알루미나 튜브 |
| 특수 기능 | 회전식 튜브, 냉벽 담금질, 현장 관찰을 위한 투명 석영 |
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