튜브 퍼니스는 실험실 및 산업 환경에서 재료 합성, 열처리, 화학 기상 증착과 같은 공정에 사용되는 다용도 가열 장치입니다.수직형, 수평형, 회전형 등 다양한 구성으로 제공되며 진공, 고온, 석영 튜브 퍼니스와 같은 특수한 유형도 있습니다.이러한 퍼니스는 정밀한 온도 제어, 빠른 가열/냉각, 제어된 대기 또는 진공 조건을 지원하므로 다양한 애플리케이션에 적용할 수 있습니다.
핵심 포인트 설명:
1. 기본 구성
-
수직 튜브 용광로:
- 중력을 이용한 재료 흐름 또는 균일한 가스 분배가 필요한 공정에 이상적입니다.
- CVD(화학 기상 증착) 또는 분말 소결에 자주 사용됩니다.
-
수평 튜브 용광로:
- 긴 시료의 연속 처리 또는 일괄 로딩에 적합합니다.
- 어닐링, 소성 및 튜브 기반 반응에 일반적입니다.
-
로터리 튜브 퍼니스:
- 혼합 또는 교반을 위한 회전 튜브가 있어 분말 처리 또는 촉매 활성화에 유용합니다.
- 예는 다음과 같습니다. 실험실 규모의 로터리 킬른 및 진공 로터리 튜브 용광로.
2. 특수 튜브 퍼니스 유형
- 표준 튜브 퍼니스:범용 난방을 위한 기본 설계.
- 석영 튜브 용광로:고순도 응용 분야(예: 반도체 공정)에 석영 튜브를 사용합니다.
- 알루미나 튜브 용광로:내화 재료 가공을 위한 고온(최대 1800°C)을 견딥니다.
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진공/고진공 튜브 용광로:
- 산화에 민감한 공정을 위해 저압 조건(10^-5 torr 이하)에서 작동합니다.
- 포함 사항 분위기 레토르트 용광로 제어된 가스 환경에 적합합니다.
- 고온 튜브 용광로:세라믹 또는 금속 연구의 극한 열(예: 1800°C)에 적합하도록 설계되었습니다.
3. 주요 특징 및 기능
- 온도 범위:모델 범위는 1200°C~1800°C이며, 프로그래밍 가능한 다중 구역 제어가 가능합니다.
- 난방/냉방 요금:빠른 열 순환으로 재료 스트레스를 최소화합니다.
- 대기 제어:불활성 가스, 반응성 가스 또는 진공을 지원합니다.
- 건설:내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 하우징과 밀폐용 엔드캡.
4. 응용 분야
- 재료 합성:분말 생산, 나노튜브 성장.
- 열처리:어닐링, 템퍼링.
- 반도체 공정:실리콘 웨이퍼 처리.
5. 선택 고려 사항
- 오리엔테이션:샘플 처리 요구 사항에 따라 수직 및 수평으로 구분됩니다.
- 튜브 재질:순도를 위한 석영, 고온을 위한 알루미나.
- 대기 요구 사항:민감한 반응을 위한 진공 또는 기밀 시스템.
이러한 변형은 튜브 퍼니스가 온도, 대기 및 시료 처리 요구 사항의 균형을 유지하면서 정밀한 실험 또는 산업 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.
요약 표:
| 유형 | 주요 기능 | 애플리케이션 |
|---|---|---|
| 수직 튜브 | 중력 보조 흐름, 균일한 가스 분포 | CVD, 분말 소결 |
| 수평 튜브 | 연속 처리, 일괄 로딩 | 어닐링, 소성, 튜브 반응 |
| 로터리 튜브 | 혼합/교반용 회전 튜브 | 분말 처리, 촉매 활성화 |
| 석영 튜브 | 반도체 공정에 이상적인 고순도 | 실리콘 웨이퍼 가공, 민감한 물질 합성 |
| 진공 튜브 | 저압에서 작동(최저 10^-5 torr) | 산화에 민감한 공정, 제어된 대기 반응 |
| 고온 | 극한의 열(최대 1800°C) | 세라믹/금속 연구, 내화 재료 가공 |
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