튜브 퍼니스는 고급 발열체, 다중 구역 구성, 고정밀 센서, 자동 피드백 시스템의 조합을 통해 정밀한 온도 제어를 실현합니다.이러한 구성 요소가 함께 작동하여 엄격한 허용 오차(보통 ±1°C) 내에서 열 균일성을 유지하며 최대 2400°C의 주변 온도에서 공정 요건에 맞게 조정합니다.프로그래머블 로직 컨트롤러와 실시간 모니터링의 통합으로 반도체 어닐링이나 촉매 테스트와 같이 0.1°C의 편차도 결과에 영향을 미칠 수 있는 중요한 공정에서 동적으로 조정할 수 있습니다.이러한 정밀도는 다음과 같은 특수한 구성에서 더욱 향상됩니다. 분위기 레토르트 용광로 를 통해 열 관리 시스템에 가스 흐름 조절 기능을 추가할 수 있습니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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다중 구역 가열 아키텍처
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저항성 발열체를 사용하여 퍼니스를 독립적으로 제어되는 세그먼트(일반적으로 1~12개 구역)로 나눕니다:
- 흑연(최대 2400°C의 초고온용)
- 몰리브덴(진공 환경에서의 균형 잡힌 성능)
- 텅스텐(극한의 온도 안정성)
- 화학 기상 증착과 같은 공정에서 정밀한 온도 구배(예: 5-50°C/cm)를 생성할 수 있습니다.
- 예시:반도체 웨이퍼 어닐링은 각 구역에서 ±0.5°C 안정성을 갖춘 3구역 제어를 사용할 수 있습니다.
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저항성 발열체를 사용하여 퍼니스를 독립적으로 제어되는 세그먼트(일반적으로 1~12개 구역)로 나눕니다:
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폐쇄 루프 제어 시스템
- 고정밀 열전대(타입 K, S) 또는 RTD와 PID 알고리즘 결합
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0.1°C까지 제어 해상도를 달성합니다:
- 발열체에 대한 실시간 전력 변조
- 열 부하 변화에 대한 적응형 대응
- 도어 개구부/재료 하중에 대한 보정
- 반응 동역학이 온도에 민감한 촉매 테스트와 같은 공정에 필수적입니다.
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대기 통합
- In 분위기 레토르트 용광로 가스 유량은 열 프로파일과 동기화됩니다.
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기능은 다음과 같습니다:
- 반응성/불활성 가스를 위한 질량 유량 컨트롤러
- 열 전달 변화를 방지하기 위한 압력 조절(±0.01psi)
- 열 평형 유지를 위한 가스 예열 시스템
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열 균일성 엔지니어링
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±1°C 균일성을 달성합니다:
- 최적화된 요소 간격 및 단열
- 구배 제어를 위한 능동 냉각 구역
- 로터리 튜브 설계의 회전 메커니즘
- 고르지 않은 가열로 인해 균열이 발생하는 세라믹 소결에 필수적
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±1°C 균일성을 달성합니다:
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애플리케이션별 맞춤 설정
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프로세스 맞춤형 구성:
- 바이오매스 열분해 연구를 위한 다단계 램핑
- 야금 연구를 위한 신속한 담금질 기능
- 현장 광학 모니터링을 위한 투명 챔버
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프로세스 맞춤형 구성:
이러한 시스템의 조용한 정밀성은 나노 재료 합성에서 재생 에너지 연구에 이르기까지 획기적인 발전을 가능하게 하며, 탁월한 온도 제어가 재료 혁신의 보이지 않는 기반임을 증명합니다.
요약 표:
기능 | 기능 | 정밀 수준 |
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다중 구역 난방 | 세분화된 구역에서 독립적인 온도 제어 | 구역당 ±0.5°C |
폐쇄 루프 PID 시스템 | 열전대/RTD 및 적응형 알고리즘을 통한 실시간 조정 | 0.1°C 해상도 |
대기 통합 | 열 프로파일과 동기화된 가스 유량 및 압력 조절 | ±0.01psi 압력 제어 |
열 균일성 설계 | 최적화된 단열, 냉각 구역 및 회전 메커니즘 | 챔버 전체 ±1°C |
맞춤형 구성 | 특정 애플리케이션을 위한 맞춤형 램핑, 담금질 또는 모니터링 | 공정에 따라 달라짐 |
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