멀티 스테이션 진공관로 은 일반적으로 고온 안정성과 효율성이 뛰어난 실리콘 카본봉을 발열체로 사용합니다.용광로 튜브는 석영 또는 스테인리스 스틸로 만들 수 있으며, 각 튜브는 애플리케이션 요구 사항에 따라 뚜렷한 장점을 제공합니다.석영 튜브는 고순도와 가시성이 요구되는 공정에 이상적이며, 스테인리스 스틸 튜브는 내구성과 기계적 스트레스에 대한 저항성을 제공합니다.이러한 구성 요소가 함께 작동하여 다양한 산업 및 연구 환경에서 정밀한 온도 제어와 오염 없는 처리를 보장합니다.
핵심 포인트 설명:
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발열체:실리콘 카본 로드
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실리콘 카본(SiC) 봉은 뛰어난 열 특성으로 인해 멀티 스테이션 진공관 용광로의 주요 가열 요소입니다:
- 고온 저항:최대 2000°C까지 작동할 수 있어 극한의 열 환경에 적합합니다.
- 균일한 가열:여러 스테이션에서 일관된 온도 분포를 보장합니다.
- 긴 수명:산화 및 열충격에 강해 유지보수 필요성이 줄어듭니다.
- 이 로드는 정밀한 온도 관리(±1°C 정확도)를 위해 SCR 전원 공급 장치 및 PID 루프 제어를 통해 조절됩니다.
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실리콘 카본(SiC) 봉은 뛰어난 열 특성으로 인해 멀티 스테이션 진공관 용광로의 주요 가열 요소입니다:
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퍼니스 튜브 재질:석영 대 스테인리스 스틸
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석영 튜브:
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장점:
- 고순도로 오염을 피해야 하는 반도체 또는 유리 가공에 이상적입니다.
- 투명성으로 샘플을 시각적으로 모니터링할 수 있습니다.
- 제한 사항:깨지기 쉬우며 높은 기계적 응력이나 빠른 담금질 공정에는 적합하지 않습니다.
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장점:
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스테인리스 스틸 튜브:
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장점:
- 견고하고 내구성이 뛰어나 산업 현장에서 사용하기에 적합합니다.
- 공격적인 담금질 방법(예: 가스/오일 담금질)과 호환됩니다.
- 제한 사항:불투명, 프로세스 모니터링을 위해 외부 센서가 필요함.
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장점:
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석영 튜브:
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운영 고려 사항
- 온도 범위:용광로는 다양한 최대 온도(예: 1000°C~2000°C)의 직렬로 제공되므로 공정 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다.
- 로딩 방법:소형 용광로는 수동 로딩을 사용할 수 있으며, 대형 시스템은 부피가 큰 부품을 효율적으로 처리하기 위해 롤링 랙/트레이를 사용합니다.
- 안전 기능:표준화된 보호 기능은 진공 조건에서 안전한 작동을 보장하지만, 세부 사항(예: 압력 릴리프 밸브)은 모델에 따라 다릅니다.
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애플리케이션별 인사이트
- 석영 튜브 은 순도가 중요한 결정 성장 또는 CVD 공정을 위한 실험실에서 선호됩니다.
- 스테인리스 스틸 튜브 은 특히 담금질 옵션과 결합할 경우 어닐링 또는 브레이징과 같은 야금 처리에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
이러한 요소를 이해함으로써 구매자는 온도 정밀도, 재료 호환성 및 공정 확장성과 같은 요소의 균형을 유지하면서 운영 요구 사항에 맞게 장비 선택을 조정할 수 있습니다.
요약 표:
| 구성 요소 | 주요 기능 | 최고의 용도 |
|---|---|---|
| 실리콘 카본 로드 | 고온 안정성(최대 2000°C), 균일한 가열, 긴 수명 | 정밀도가 요구되는 극한의 열 애플리케이션(±1°C 제어) |
| 석영 튜브 | 고순도, 투명, 오염 방지 | 반도체 공정, CVD, 결정 성장 |
| 스테인리스 스틸 튜브 | 내구성, 기계적 스트레스에 대한 내성, 담금질과 호환 가능 | 야금 처리(어닐링, 브레이징), 고강도 산업 공정 |
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