언급된 CVD 시스템은 2인치(약 50.8mm) 및 1인치(25.4mm) 직경의 두 가지 표준 크기의 석영 튜브와 호환됩니다.또한 더 작은 시료 처리가 필요한 특수 응용 분야를 위해 70mm 튜브 용광로 변형도 있습니다.이러한 치수는 다양한 실험 또는 산업 요구 사항을 충족하며 재료 처리량과 정밀도의 균형을 맞춥니다.또한 이 시스템은 반도체, 태양광, 바이오메디컬 애플리케이션 전반에 걸쳐 적응성을 보장하는 PECVD와 같은 공정을 위한 가스 유량 제어(0-500 sccm)를 통합합니다.
핵심 포인트 설명:
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기본 쿼츠 튜브 크기
- 2인치(50.8mm):반도체 웨이퍼 코팅 또는 벌크 재료 합성과 같은 대규모 공정에 이상적입니다.
- 1인치(25.4mm):정밀한 제어가 필요한 MEMS 장치 또는 소규모 배치 연구와 같은 정밀 애플리케이션에 적합합니다.
- 이러한 크기와의 호환성은 산업 및 실험실 규모의 워크플로우에서 유연성을 보장합니다.
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특수 70mm 튜브 옵션
- 그리고 쿼츠 튜브 퍼니스 는 내부 직경이 70mm인 작은 시료(예: 박막 또는 나노 물질)를 수용하여 광학 코팅 또는 생의학 연구와 같은 틈새 응용 분야에 효율성을 제공합니다.
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시스템 다용도성
- 이 튜브 크기는 정밀한 반응 제어를 위해 가스 흐름 시스템(Ar/H₂, 0-500 sccm)의 지원을 받아 PECVD 및 기타 CVD 공정과 통합됩니다.
- 튜브 직경이 증착 균일성 및 재료 특성에 영향을 미치는 태양 전지, 마이크로 일렉트로닉스 및 배리어 코팅에 적용됩니다.
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구매자를 위한 고려 사항
- 처리량 대 정밀도:대형 튜브(2인치)는 대량 생산에 유리하며, 1인치 또는 70mm 튜브는 디테일에 민감한 작업에 최적화되어 있습니다.
- 가스 호환성:공정 안정성을 유지하기 위해 튜브 치수가 가스 유량과 일치하는지 확인합니다(예: 좁은 튜브에서 난기류를 피하기 위해).
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미래 대비
- 모듈식 설계는 튜브 교체가 가능할 수 있으므로 크기 간 확장이 예상되는 경우 시스템 사양을 확인하여 적응성을 확인합니다.
이러한 옵션은 표준화와 맞춤화 사이의 균형을 반영하며, 진화하는 R&D 또는 제조 수요에 맞춰 장비를 조정하는 데 매우 중요합니다.
요약 표:
| 쿼츠 튜브 크기 | 직경(mm) | 최적 용도 |
|---|---|---|
| 2인치 | 50.8 | 대규모 공정(반도체 웨이퍼, 벌크 재료 합성) |
| 1인치 | 25.4 | 정밀 애플리케이션(MEMS 장치, 소량 연구) |
| 70mm | 70 | 틈새 응용 분야(박막, 나노 재료, 광학 코팅) |
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