CVD(화학 기상 증착) 튜브 퍼니스는 정밀한 환경 제어를 통해 고온 재료 가공을 위해 설계되었습니다.주요 특징으로는 고정식 웰 튜브 반응기가 있는 수직 스탠딩 챔버, 고알루미나 섬유 단열재, 균일한 가열을 위한 강력한 전방위 히터가 있습니다.이 퍼니스는 진공 및 제어된 분위기(예: 불활성 가스)를 지원하여 CVD/CVI 실험과 같은 공정을 가능하게 합니다.온도 균일성, 에너지 효율성, 재료 가공(어닐링, 소결) 및 고급 연구(나노필름 준비, 나노와이어 성장) 등 실험실 및 산업 응용 분야를 위한 다용도성 등의 운영상의 이점을 제공합니다.안전 조치와 다중 구역 가열 옵션으로 기능이 더욱 향상되었습니다.
핵심 사항 설명:
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챔버 설계 및 가열 시스템
- 수직 원통형/반원통형 챔버:효율적인 난방 및 냉방에 최적화되어 있으며, 고온에 강한 소재로 제작되는 경우가 많습니다.
- 만능 히터:강력한 발열체(예: 코일 저항 와이어)는 일관된 재료 가공에 중요한 균일한 온도 분포를 보장합니다.
- 고알루미나 섬유 단열재:열 손실을 최소화하고 에너지 효율을 개선합니다.
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분위기 제어
- 두 가지 모두 지원 진공 조건 및 제어된 분위기 (예: 아르곤, 질소)와 같은 공정을 위한 대기 레토르트 용광로 또는 환원 실험.
- CVD/CVI(화학 증기 침투) 애플리케이션을 위한 정밀한 가스 흐름 관리가 가능합니다.
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다중 구역 난방
- 다음과 같이 구성 가능 단일 또는 다중 가열 구역 을 사용하여 다양한 공정 요건(예: 나노와이어 성장을 위한 구배 가열)을 충족할 수 있습니다.
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운영상의 이점
- 온도 균일성:재료 합성에서 재현 가능한 결과를 얻기 위해 필수적입니다.
- 에너지 효율성:빠른 가열/냉각 주기로 전력 소비를 줄입니다.
- 다용도성:담금질, 어닐링, 소결 및 고급 연구(예: 배터리 재료 건조)에 적합합니다.
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안전 기능
- 필요 보호 장비 (내열 장갑, 고글) 및 숙련된 작업자 .
- 환기:가스나 휘발성 물질을 취급할 때 필수적입니다.
- 사용 전 청소:잔류 습기나 반응성 물질로 인한 오염을 방지합니다.
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애플리케이션
- 재료 가공:어닐링, 템퍼링 및 정제.
- 고급 연구:나노 필름 준비, 진공 코팅 및 나노 와이어 합성.
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튜브 리액터 설계
- 고정 우물 튜브 반응기:일반적으로 석영 또는 알루미나로 열 충격과 화학적 부식에 강합니다.
이러한 기능을 통합하여 CVD 튜브 퍼니스는 산업 및 연구 환경의 요구 사항을 모두 충족하며 정밀성, 안전성 및 적응성의 균형을 맞추고 있습니다.
요약 표:
| 기능 | 설명 |
|---|---|
| 챔버 디자인 | 고온 내성을 갖춘 수직 원통형/반원통형 챔버. |
| 난방 시스템 | 균일한 온도 분포를 위한 전방위 히터. |
| 분위기 제어 | CVD/CVI 공정을 위한 진공 및 불활성 가스 환경을 지원합니다. |
| 다중 구역 가열 | 구배 가열 및 다양한 공정 요구 사항에 맞게 구역을 구성할 수 있습니다. |
| 운영상의 이점 | 에너지 효율적이고 빠른 가열/냉각 및 다양한 용도로 사용할 수 있습니다. |
| 안전 기능 | 보호 장비, 환기 및 사용 전 청소가 필요합니다. |
| 응용 분야 | 어닐링, 소결, 나노 필름 준비 및 나노 와이어 성장. |
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