Pecvd를 통해 증착된 실리콘 질화물(Sin)의 구체적인 응용 분야에는 어떤 것이 있을까요?다양한 용도 살펴보기

플라즈마 기상 증착법(PECVD)을 통해 증착된 실리콘 질화물(SiN)은 반도체, 바이오 의료 기기, 광학 코팅, 고온 환경 등 다양한 분야에서 활용되는 다용도 소재입니다.화학적 안정성, 생체 적합성, 기계적 강도, 내열성 등 고유한 특성으로 인해 첨단 기술에서 없어서는 안 될 필수 요소입니다.PECVD는 낮은 온도에서 정밀한 증착이 가능하여 온도에 민감한 기판으로 사용이 확대되고 있습니다.반도체 장치를 부식으로부터 보호하는 것부터 생체 의료용 임플란트를 향상시키는 것까지, SiN의 역할은 현대 엔지니어링 및 의료 혁신에서 매우 중요합니다.

핵심 사항을 설명합니다:

반도체 산업 애플리케이션
- 유전체 및 확산 장벽:SiN은 반도체에서 보호막 역할을 하여 소자 성능을 저하시킬 수 있는 물과 나트륨 이온 확산을 방지합니다.이는 집적 회로와 메모리 장치에 매우 중요합니다.
- 패시베이션 및 캡슐화:민감한 부품을 환경 오염 물질로부터 보호하여 장기적인 신뢰성을 보장하는 데 사용됩니다.컨포멀 코팅 기능은 다음과 같은 복잡한 형상에 이상적입니다. 진공로 시스템 및 기타 고정밀 장비
생체 의료 기기
- 생체 적합성:SiN은 불활성이며 체액에 대한 내성이 있어 정형외과 및 치과 보철물과 같은 의료용 임플란트에 적합합니다.
- 기계적 강도:경도는 ~19 GPa, 영탄성계수는 ~150 GPa로 관절 교체와 같은 하중을 견디는 응용 분야에서 마모를 견뎌냅니다.
광학 코팅
- 고굴절률:SiN은 렌즈(예: 선글라스) 및 광도 측정 장치의 반사 방지 코팅에 사용되어 빛 투과율과 내구성을 향상시킵니다.
- 보호 레이어:태양 전지에서 반사를 최소화하고 환경 손상으로부터 보호하여 효율을 향상시킵니다.
고온 및 마찰 애플리케이션
- 열 안정성:SiN은 항공우주 부품이나 산업용 코팅과 같은 고온 환경에서도 무결성을 유지합니다. 진공로 시스템 .
- 내마모성:경도가 높고 마찰 계수가 낮아 기계 및 공구의 마찰 코팅에 이상적입니다.
증착의 유연성
- 저온 처리:PECVD는 온도에 민감한 기판(예: 식품 포장의 폴리머)에 SiN 증착을 가능하게 하여 장벽 애플리케이션을 위한 조밀하고 불활성인 코팅을 가능하게 합니다.
- 복잡한 형상:이 기술은 복잡한 부품을 균일하게 코팅하여 MEMS 및 미세 가공에 유용합니다.
신흥 및 틈새 용도
- MEMS 및 희생 레이어:SiN은 미세전자기계 시스템(MEMS)에서 구조 또는 희생 재료로 사용되어 정밀한 디바이스 제작을 가능하게 합니다.
- 촉매 설계:다용도로 화학공학의 혁신적인 촉매 구조를 지원합니다.

적합성, 순도, 저온 작동이라는 PECVD의 장점을 활용하여 반도체 수명 연장부터 보다 안전한 생의학 혁신에 이르기까지 산업 전반의 과제를 해결합니다.또한 적응성이 뛰어나 첨단 기술에서 지속적인 관련성을 보장합니다.

요약 표:

응용 분야	PECVD를 통한 SiN의 주요 이점
반도체	유전체 장벽 역할을 하고 부식을 방지하며 장기적인 디바이스 신뢰성을 보장합니다.
생체 의료 기기	생체 적합성, 내마모성, 관절 교체와 같은 임플란트에 이상적입니다.
광학 코팅	반사 방지 층을 위한 높은 굴절률로 태양 전지의 빛 투과율을 개선합니다.
고온 용도	항공우주 및 산업 부품을 위한 열 안정성 및 내마모성.
유연한 기판	저온 증착으로 폴리머와 섬세한 소재에 사용할 수 있습니다.
MEMS 및 촉매	정밀한 미세 제조와 혁신적인 촉매 설계를 가능하게 합니다.

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