마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착 (MPCVD) 시스템은 고품질 다이아몬드 필름, 탄소 나노튜브 및 나노와이어를 증착하기 위한 다목적 고급 툴입니다.고진공 및 낮은 누출, 넓은 작동 압력 범위(6-500 토르), 안정적인 플라즈마 작동, 정밀한 온도 제어(600-2300°C) 기능을 제공합니다.이 시스템은 비디오 모니터링, 완전 자동 제어, 간편한 유지보수, 오염을 최소화하는 금속 리액터 설계를 특징으로 합니다.저온 처리, 필름 특성에 대한 엄격한 제어, 전자, 광학 및 의료와 같은 산업에 대한 적응성 등의 장점이 있습니다.이러한 특징 덕분에 마이크로 기계, 재료 가공 및 전기 화학 분야의 애플리케이션에 이상적입니다.
핵심 포인트 설명:
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고진공 및 낮은 누출
- 대기 오염을 최소화하여 깨끗한 증착 환경을 보장합니다.
- 특히 전자 및 광학처럼 민감한 애플리케이션에서 고순도 필름을 생산하는 데 필수적입니다.
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넓은 작동 압력 범위(6-500 토르)
- 다양한 재료와 성장 속도를 수용하여 증착 조건에 유연하게 대응할 수 있습니다.
- 더 높은 압력은 일수화물 및 기타 결정 구조의 성장 속도를 높일 수 있습니다.
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안정적인 플라즈마 작동
- 다양한 압력과 전력 수준에서 일관된 플라즈마를 유지합니다.
- 산업 및 연구 환경에서 균일한 필름 증착과 반복 가능한 결과를 얻기 위해 필수적입니다.
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고정밀 온도 측정(600~2300°C)
- 정확한 온도 모니터링을 위해 2파 고온계를 사용합니다.
- 광학 및 전자 애플리케이션에 중요한 응력 및 굴절률과 같은 필름 특성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
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성장 과정의 비디오 모니터링
- 샘플 성장의 실시간 시각화를 제공합니다.
- 증착 중 즉각적인 조정 및 품질 관리가 용이합니다.
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완전 자동화된 시스템 제어
- 인적 오류를 줄이고 재현성을 높입니다.
- 처리량이 많은 산업용으로 운영을 간소화합니다.
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손쉬운 서비스 액세스
- 유지보수를 간소화하고 다운타임을 줄입니다.
- 지속적인 운영이 우선시되는 실험실 및 공장에 이상적입니다.
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금속 리액터 설계
- 리액터 재료로 인한 오염을 최소화합니다.
- 의학 및 하이테크 산업의 애플리케이션에 필수적인 필름 순도를 향상시킵니다.
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저온 처리
- 온도에 민감한 재료를 포함하여 사용할 수 있는 기판의 범위를 확장합니다.
- 폴리머나 섬세한 전자 부품에 증착할 수 있습니다.
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조정 가능한 필름 특성
- 응력, 굴절률, 조성을 제어할 수 있습니다.
- 반사 방지 코팅이나 내구성이 뛰어난 기계 부품과 같은 특정 용도에 맞게 필름을 맞춤 제작할 수 있습니다.
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광범위한 산업 분야
- 보석, 전자, 광학, 생태학, 의학 분야에서 사용됩니다.
- 미세 기계, 마이크로파 기술, 전기화학 분야의 새로운 응용 분야는 마이크로파의 미래 잠재력을 보여줍니다.
정밀성, 유연성, 자동화가 결합된 이 시스템은 첨단 소재 합성의 초석이 되어 의료, 전자 제품 등의 분야에서 조용히 혁신을 만들어가고 있습니다.이러한 시스템이 귀사의 생산 라인을 어떻게 혁신할 수 있을지 생각해 보셨나요?
요약 표입니다:
| 기능 | 이점 |
|---|---|
| 고진공 및 낮은 누출 | 전자제품의 고순도 필름에 필수적인 깨끗한 증착을 보장합니다. |
| 넓은 작동 압력 범위 | 다양한 재료와 성장 속도에 맞는 유연한 조건. |
| 안정적인 플라즈마 작동 | 균일한 필름 증착 및 반복 가능한 산업/연구 결과. |
| 정밀 온도 제어 | 맞춤형 필름 특성을 위한 정확한 모니터링(600~2300°C). |
| 비디오 모니터링 | 실시간 성장 추적을 통해 즉각적인 조정이 가능합니다. |
| 완전 자동화된 제어 | 인적 오류를 줄여 처리량이 많은 생산에 이상적입니다. |
| 간편한 유지보수 | 실험실/공장의 다운타임을 최소화합니다. |
| 금속 리액터 설계 | 오염을 줄여 의료/하이테크 용도의 필름 순도를 높입니다. |
| 저온 처리 | 폴리머와 같은 섬세한 기질에 증착할 수 있습니다. |
| 조정 가능한 필름 속성 | 특정 용도에 맞게 응력, 굴절률 및 구성을 맞춤 설정할 수 있습니다. |
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