3존 튜브 퍼니스는 연구 및 산업 분야에서 정밀한 열 처리를 위해 설계된 다용도 가열 장치입니다.세분화된 히터 설계로 세 구역에서 독립적인 온도 제어가 가능하여 균일한 가열, 복잡한 열 구배, 유연한 프로그래밍이 가능합니다.주요 용도로는 1000°C 이하의 어닐링 및 화학 기상 증착(CVD)이 있으며, 최대 60mm의 샘플을 처리하고 가스를 공급할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.이 장비는 공간 온도 변화가 중요한 재료 과학, 반도체 공정 및 첨단 제조 요구 사항을 위한 맞춤형 열 환경을 조성하는 데 탁월합니다.
핵심 포인트 설명:
-
다중 구역 온도 제어
- 3존 3존 튜브 퍼니스 길이를 따라 독립적으로 제어되는 3개의 가열 구역이 있습니다.
- 특수한 열 프로파일을 위한 정밀한 온도 구배(예: 50°C/cm)를 생성할 수 있습니다.
- 하나의 연속 공정에서 다양한 온도(예: 800°C/600°C/400°C)를 동시에 구현할 수 있습니다.
-
핵심 애플리케이션
- 어닐링 :금속, 세라믹 및 반도체의 응력 완화 및 미세 구조 수정
- 화학 기상 증착 :제어된 분위기에서 기체상 전구체를 사용한 박막 성장
- 재료 연구 :상 전이, 소결 거동 및 열 분해 연구
-
운영상의 이점
- 균일한 가열로 직경 60mm 이하의 시료 수용 가능
- 통합 가스 매니폴드는 불활성(N₂, Ar) 또는 반응성(H₂, O₂) 대기를 지원합니다.
- 디지털 컨트롤러를 통해 각 구역에서 프로그래밍 가능한 램프/침지 주기 가능
-
기술 사양
- 최대 온도:일반적으로 1000-1200°C(모델에 따라 다름)
- 가열 속도:조절 가능, 일반적으로 분당 1-20°C
- 온도 균일성: 각 구역 내 ±1~5°C
-
다른 퍼니스와 비교
- 단일 구역 퍼니스와 달리 공간적 열 변화 허용
- 에 비해 머플 퍼니스 더 나은 분위기 제어 제공
- 정적 시료 처리를 위한 로터리 퍼니스보다 더 유연함
독립 구역 제어를 통해 새로운 실험 설계를 구현할 수 있는 방법을 생각해 보셨나요?이 기능을 통해 연구자들은 실험실의 정밀도를 유지하면서 연속 용광로와 같은 산업용 열 공정을 시뮬레이션할 수 있습니다.제어된 온도 구배를 생성할 수 있어 확산 연구, 인터페이스 엔지니어링, 구배 재료 개발에 특히 유용합니다.
요약 표:
| 기능 | 이점 |
|---|---|
| 다중 구역 온도 제어 | 정밀한 열 그라데이션과 동시에 다른 온도 설정 가능 |
| 핵심 애플리케이션 | 어닐링, CVD, 제어된 분위기를 이용한 재료 연구 |
| 운영상의 이점 | 균일한 가열, 가스 매니폴드 지원, 프로그래밍 가능한 사이클 |
| 기술 사양 | 최대 1200°C, 조절 가능한 가열 속도, 구역당 ±1-5°C 균일성 |
킨텍의 고급 3존 튜브 퍼니스로 실험실의 열처리 능력을 업그레이드하세요! 정밀하게 설계된 당사의 솔루션은 어닐링, CVD 및 재료 연구를 위한 탁월한 유연성을 제공하며, 정확한 실험 요구 사항을 충족하는 심층적인 맞춤화를 제공합니다.균일한 가열, 복잡한 열 구배 또는 제어된 분위기가 필요한 경우, 당사의 퍼니스는 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다. 지금 바로 문의하세요 에 문의하여 귀사의 연구 또는 산업 애플리케이션에 맞는 솔루션을 맞춤화하는 방법을 논의하세요.
귀하가 찾고 있을 만한 제품:
용광로 모니터링을 위한 고진공 관측 창 살펴보기 제어된 대기를 위한 정밀 진공 밸브 살펴보기 초진공 전극 피드스루를 통한 업그레이드 MPCVD 다이아몬드 시스템으로 CVD 공정 개선 SiC 열 요소로 가열 최적화
