튜브 모양에 따른 튜브 퍼니스의 유형은 무엇인가요?솔리드 튜브와 스플릿 튜브 디자인 설명

튜브 퍼니스는 주로 튜브 모양에 따라 두 가지 주요 유형으로 분류됩니다:솔리드 튜브 퍼니스와 스플릿 튜브 퍼니스입니다.솔리드 튜브 퍼니스는 연속적이고 끊어지지 않는 튜브 디자인으로 견고한 구조와 균일한 가열을 제공하며, 분할 튜브 퍼니스는 힌지 또는 분리 가능한 디자인으로 시료 로딩과 유지보수가 용이합니다.이러한 분류는 방향(수평 대 수직), 처리 방법(배치 대 연속), 대기 제어 또는 사용자 지정 치수와 같은 특수 기능에 의해 더욱 영향을 받습니다.유형 간 선택은 샘플 크기, 가열 균일성, 공간 제약과 같은 요인에 따라 달라집니다.

핵심 사항을 설명합니다:

1. 튜브 모양에 따른 주요 분류

   • 고체 튜브 용광로:이음매 없는 일체형 튜브가 특징이며, 높은 구조적 무결성과 균일한 열 분배가 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.알루미나 또는 용융 석영과 같은 재료를 사용하는 고온 공정에서 흔히 사용됩니다.
   • 분할 튜브 용광로:시료에 쉽게 접근할 수 있도록 힌지 또는 분리형 튜브로 설계되어 로딩/언로딩으로 인한 가동 중단 시간을 줄여줍니다.시료를 자주 교체해야 하는 실험실에서 인기가 높습니다.

2. 방향에 따른 하위 카테고리

   • 수평 튜브 용광로:
     • 중력 효과로 인해 필름 두께가 고르지 않고 입자가 발생하기 쉽습니다.
     • 더 많은 공간이 필요하지만 일괄 처리에 더 간단합니다.
   • 수직 튜브 용광로:
     • 중력에 따라 열 분포를 정렬하여 웨이퍼 표면 결함을 줄임으로써 균일성 문제를 완화합니다.
     • 반도체 제조 분야에서 효율성이 뛰어나다는 평가를 받고 있습니다.

3. 처리 방법

   • 일괄 처리(TSO):
     • 고정 용량(배치당 620~1740ml)으로, 통제된 소규모 실험에 적합합니다.
   • 연속 처리(TSR):
     • 중단 없는 생산을 위해 피드 호퍼(최대 5L+)를 사용하므로 산업용 처리량에 이상적입니다.

4. 특수 기능

   • 분위기 제어:맞춤형 반응을 위해 불활성(질소/아르곤), 환원(수소) 또는 산화(산소) 가스를 지원합니다.
   • 사용자 지정:옵션에는 튜브 직경 (50-120mm), 핫존 (300-900mm) 및 고온 발열체 최대 1800°C의 Kanthal 또는 MoSi2와 같은 고온 발열체를 사용하세요.
   • 안전 및 액세서리:수냉식 엔드캡, 가스 믹서, 과열 인터록이 기능을 향상시킵니다.

5. 재료 고려 사항

   • 반응 튜브는 알루미나(높은 내열성), 석영(화학적 불활성) 또는 파이렉스(저온용)로 만들어집니다.

6. 선택 기준

   • 공간 대 균일성:수직 용광로는 공간을 절약하고 균일성을 향상시키며, 수평 용광로는 간단한 배치 요구에 적합합니다.
   • 처리량:대량 생산을 위한 연속 용광로, 정밀도를 위한 배치.
   • 온도 및 대기:튜브 재질과 발열체를 공정 요건에 맞게 조정합니다.

구매자는 예산 및 시설 제약과 함께 이러한 요소의 균형을 맞춰야 재료 연구 또는 반도체 제조와 같은 특정 애플리케이션에 최적의 성능을 보장할 수 있습니다.

요약 표:

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