지식 CVD 튜브 퍼니스의 핵심 구성 요소는 무엇인가요?정밀 재료 가공을 위한 필수 요소
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Furnace

업데이트됨 2 days ago

CVD 튜브 퍼니스의 핵심 구성 요소는 무엇인가요?정밀 재료 가공을 위한 필수 요소

CVD(화학 기상 증착) 튜브 퍼니스는 통제된 환경에서 정밀한 재료 가공을 위해 설계된 특수 가열 시스템입니다.주요 구성 요소로는 진공/가스 처리 시스템, 고온 용광로 튜브, 고급 단열재, 정밀 온도 제어 메커니즘 등이 있습니다.이러한 요소들이 함께 작동하여 나노 물질 합성에서 산업 규모의 재료 처리에 이르는 다양한 응용 분야에서 균일한 가열, 빠른 열 순환 및 제어된 대기 처리를 가능하게 합니다.퍼니스의 모듈식 설계로 특정 공정 요구 사항에 따라 단일 또는 다중 구역 가열 구성을 맞춤화할 수 있습니다.

핵심 사항 설명:

  1. 진공 및 가스 처리 시스템

    • 진공 펌핑 및 가스 퍼징을 위한 스테인리스강 KF 플랜지가 특징입니다.
    • 진공 또는 제어된 대기(불활성 가스, 환원 환경)에서 작동 가능
    • 다음과 같은 공정에 중요 분위기 레토르트 용광로 및 CVD/CVI 실험
  2. 퍼니스 튜브 어셈블리

    • 석영(저온용) 또는 알루미나(고온용)로 제작됨
    • 고정식 웰 튜브 리액터를 사용한 수직 또는 수평 챔버 설계
    • 원통형/반원통형 기하학적 구조로 균일한 열 분배 촉진
  3. 난방 시스템

    • 튜브를 감싸는 전방위 발열체(일반적으로 저항 코일)
    • 그라데이션 온도 프로파일을 위해 단일 구역 또는 다중 구역 가열로 구성 가능
    • 효율적인 열 설계로 빠른 가열/냉각 속도 지원
  4. 온도 제어

    • 정밀한 조절을 위한 마이크로프로세서 기반 PID 컨트롤러(일반적으로 ±1°C)
    • 복잡한 열 주기를 위한 프로그래밍 가능한 가열 프로파일
    • 온도 영역의 실시간 모니터링
  5. 단열

    • 고알루미나 섬유 단열재로 열 손실 최소화
    • 온도 균일성을 유지하면서 에너지 소비 감소
    • 극한의 내부 온도로부터 외부 부품 보호
  6. 구조적 구성 요소

    • 시료 로딩을 위한 액세스 포트가 있는 견고한 외부 케이스
    • 신속한 열 순환을 위한 통합 냉각 시스템
    • 공정별 구성을 위한 모듈식 플랜지 시스템

이러한 구성 요소의 조합을 통해 CVD 튜브 퍼니스는 나노 와이어 성장, 배터리 재료 처리 및 박막 증착을 포함한 다양한 응용 분야를 지원할 수 있습니다.정밀한 환경 조건을 유지하는 능력 덕분에 연구 및 산업 규모의 재료 합성에 없어서는 안 될 필수 요소입니다.다중 구역 가열 기능을 통해 특정 재료 처리 요구 사항을 최적화할 수 있는 방법을 고려해 보셨나요?

요약 표입니다:

구성 요소 주요 기능 애플리케이션
진공 및 가스 취급 스테인리스강 KF 플랜지, 불활성 가스 호환성 CVD/CVI 실험, 제어된 분위기 공정
퍼니스 튜브 어셈블리 석영 또는 알루미나 구조, 수직/수평 디자인 균일한 열 분포, 높은 온도 안정성
난방 시스템 다중 구역 저항 코일, 빠른 열 순환 그라데이션 온도 프로파일, 빠른 처리
온도 제어 PID 컨트롤러(±1°C), 프로그래밍 가능한 프로파일 정밀한 열 주기, 실시간 모니터링
단열 고알루미나 섬유, 에너지 효율적 설계 열 손실 감소, 외부 부품 보호
구조 구성 요소 모듈식 플랜지, 냉각 시스템, 액세스 포트 맞춤형 구성, 신속한 시료 처리

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