SiC 저항기와 관련된 퍼니스 가열 챔버의 권장 치수는 저항기의 핫존 길이를 일치시키거나 챔버를 약간 더 짧게(25mm/1인치) 만드는 두 가지 주요 접근 방식이 있습니다.더 짧은 챔버를 선택하는 경우, 적절한 방사 및 온도 균일성을 보장하기 위해 퍼니스 벽에 45° 원뿔형 홈을 만드는 것이 좋습니다.저항의 장착 방향(수평 또는 수직)과 전기적 구성(병렬 또는 직렬)도 챔버 설계에 영향을 미치며, 균형 잡힌 열 분배를 위해 병렬 연결이 선호됩니다.열팽창을 수용하고 효율성을 유지하려면 적절한 간격과 절연이 중요합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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SiC 저항에 대한 가열 챔버 치수 비교:
- 옵션 1:직접 정렬을 위해 챔버 길이를 저항의 핫존 길이와 일치시킵니다.
- 옵션 2:챔버를 저항기 핫존보다 25mm(1인치) 짧게 만들고 퍼니스 벽에 45° 원뿔형 홈을 통합합니다.이 설계는 방사 및 온도 균일성을 향상시킵니다.
- 원하는 열 분배와 운영 효율에 따라 선택이 달라집니다.예를 들어, 정밀한 온도 제어가 필요한 애플리케이션에는 홈이 있는 짧은 챔버가 더 좋을 수 있습니다.
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저항기 장착 및 구성:
- 장착 방향:SiC 저항기는 수평 또는 수직으로 장착할 수 있습니다.수직으로 장착하려면 단락을 방지하기 위해 전기적으로 절연된 지지대가 필요합니다.
- 확장 고려 사항:저항은 장력 상태에 놓여서는 안 되며 독립적으로 확장 및 축소할 수 있어야 합니다.이렇게 하면 기계적 스트레스를 방지하고 수명을 연장할 수 있습니다.
- 전기 구성:SiC 저항기에는 병렬 연결이 선호됩니다.처음에는 저항이 낮은 저항이 다른 저항과 균형을 이룰 때까지 더 많은 열을 공급하여 시간이 지남에 따라 균일한 가열을 보장합니다.
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열 및 재료 고려 사항:
- SiC 저항기는 열전도율이 높아 열을 효율적으로 전달하고 더 빠르게 가열할 수 있습니다.따라서 급격한 온도 변화가 필요한 공정에 적합합니다.
- 용광로 챔버 재료(예: 알루미나, 지르코니아)는 저항기의 특성을 보완해야 합니다.예를 들어, 알루미나는 균일한 열 분포를 보장하고 지르코니아는 극한의 온도를 견뎌냅니다.
- 챔버 벽의 원뿔형 홈(짧은 챔버용)은 다음과 같은 응용 분야에서 온도 균일성을 유지하는 데 중요한 방사 효율을 향상시킵니다. MPCVD 장비 프로세스.
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장비 구매자를 위한 실질적인 시사점:
- 퍼니스를 선택할 때는 가열 요구 사항에 맞는 저항기 구성과 챔버 치수를 고려하세요.처리량이 많은 공정의 경우, 핫존 길이와 일치하는 챔버에 병렬로 연결된 저항기가 이상적일 수 있습니다.
- 정밀 애플리케이션의 경우 원뿔형 홈이 있고 수직으로 장착된 더 짧은 챔버가 더 나은 제어를 제공할 수 있습니다.선택한 디자인이 열팽창을 수용하고 적절한 단열을 제공하는지 확인합니다.
- 챔버 재료(예: 알루미나, 질화붕소)와 공정 조건의 호환성을 평가하여 조기 마모 또는 비효율을 방지합니다.
요약 표:
| 주요 고려 사항 | 권장 사항 |
|---|---|
| 챔버 길이 | 저항기 핫존 길이와 일치하거나 45° 원뿔형 홈으로 25mm 더 짧게 만듭니다. |
| 장착 방향 | 수평 또는 수직(수직의 경우 절연 지지대). |
| 전기 구성 | 균형 잡힌 열 분배를 위해 병렬 연결이 선호됩니다. |
| 열팽창 | 자유로운 팽창을 허용하고 기계적 스트레스를 방지하기 위해 장력을 피합니다. |
| 챔버 재질 | 균일한 열 분포와 고온 저항성을 위한 알루미나 또는 지르코니아. |
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