진공로에서의 배기 공정은 고온 처리를 위한 오염 없는 환경을 조성하는 데 있어 매우 중요한 단계입니다. 진공 시스템을 사용하여 챔버에서 공기와 가스를 제거하고, 산화 및 기타 원치 않는 반응을 방지하기 위해 정확한 압력 수준을 달성하는 것이 포함됩니다. 이 공정은 진공 펌프, 발열체, 단열재와 같은 특수 구성 요소가 함께 작동하여 다양한 열처리를 위한 온도 균일성과 제어된 분위기를 유지합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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배기 목적
- 산소 및 기타 반응성 가스를 제거하여 불활성 환경을 조성합니다.
- 공작물의 산화, 탈탄 및 오염 방지
- 다음과 같은 정밀한 열 공정을 가능하게 합니다. 진공 청소로 , 어닐링 및 담금질과 같은 정밀한 열 공정을 가능하게 합니다.
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배기 시스템 구성 요소
- 진공 펌프: 가스 제거를 위한 주요 메커니즘
- 진공 측정 장치: 압력 수준 모니터링
- 진공 밸브: 가스 흐름 제어 및 진공 무결성 유지
- 밀폐 챔버: 작동 중 진공 환경 유지
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공정 순서
- 초기 펌프 다운으로 대량의 대기 제거
- 2차 고진공 펌프로 더 미세한 진공 수준 달성
- 지속적인 모니터링으로 필요에 따라 펌프 속도 조정
- 고성능 시스템에서 최종 진공 수준은 최대 10^-6 mbar에 도달할 수 있습니다.
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온도 통합
- 기준 진공에 도달한 후 가열 시작
- 다중 구역 제어로 ±5°C 균일성 유지
- SCR 전원 공급 장치로 정밀한 온도 조절 가능
- 최대 온도 범위는 퍼니스 유형에 따라 1000°C~2200°C입니다.
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자재 취급 고려 사항
- 로딩 방법은 퍼니스 크기(수동 및 카트 시스템)에 따라 다릅니다.
- 초기 배기 단계에서 공작물 가스 배출 발생
- 민감한 재료를 위한 분압 제어 옵션
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운영상의 이점
- 반응성 금속을 오염 없이 처리할 수 있습니다.
- 정밀한 분위기 제어로 복잡한 열 사이클 지원
- 항공우주, 의료 및 에너지 응용 분야에서 일관된 결과 제공
진공 생성 및 열 제어 간의 상호 작용으로 인해 이 시스템은 첨단 제조에 없어서는 안 될 필수 요소입니다. 이러한 매개 변수를 특정 재료 요구 사항에 맞게 최적화하는 방법을 고려해 보셨습니까?
요약 표:
| 주요 측면 | 세부 사항 |
|---|---|
| 목적 | 불활성 환경 조성, 산화/오염 방지 |
| 핵심 구성 요소 | 진공 펌프, 밸브, 밀폐 챔버, 압력 센서 |
| 진공 레벨 | 고성능 시스템에서 최대 10-⁶ mbar |
| 온도 제어 | 다중 구역(±5°C 균일성), 최대 1000°C-2200°C |
| 재료 취급 | 수동/카트 로딩, 가스 배출 관리, 분압 옵션 |
| 응용 분야 | 항공 우주 합금, 의료용 임플란트, 에너지 재료 |
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- 오염 없는 환경(≤10-⁶ mbar)
- ±5°C 온도 균일성
- CVD/PECVD 공정과의 완벽한 통합
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