진공관로는 주로 밀폐된 용기로 석영 또는 커런덤 튜브를 사용하며, 밀폐 상태를 유지하기 위해 스테인리스 스틸 플랜지로 밀봉합니다.이러한 재료는 고온 저항성과 화학적 불활성 때문에 선택되며 열처리, 재료 합성, 화학 기상 증착과 같은 공정에 적합합니다.퍼니스는 저온 건조부터 전자 및 의료 산업의 고온 공정에 이르기까지 다양한 산업 요구 사항을 충족하도록 크기, 온도 범위 및 제어 시스템을 맞춤화할 수 있습니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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주요 용기 재료
- 석영 튜브:최대 1200°C의 온도에 이상적이며 공정 모니터링에 투명하고 열충격에 강합니다.일반적으로 건조 또는 CVD와 같은 저온 애플리케이션에 사용됩니다.
- 커런덤 튜브(알루미나):최대 1800°C의 온도를 견딜 수 있어 소결이나 결정 성장과 같은 고온 공정에 탁월한 내화학성을 제공합니다.
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씰링 메커니즘
- 진공 등급 개스킷이 있는 스테인리스강 플랜지는 다음과 같은 공정에서 진공 무결성을 유지하는 데 중요한 기밀 밀봉을 보장합니다. 진공 핫 프레스 기계 작업 또는 담금질.
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사용자 지정 옵션
- 직경/길이:표준 튜브의 직경은 50-120mm이며, 특수 용도를 위한 핫존은 최대 900mm입니다.
- 발열체:칸탈(≤1200°C용), SiC(≤1500°C) 또는 MoSi2(≤1800°C) 소자는 온도 요구 사항을 충족합니다.
- 제어 시스템:옵션으로는 정밀한 열 관리를 위한 PID, 터치스크린 또는 PLC 자동화가 있습니다.
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컨테이너 유형별 애플리케이션
- 석영:저온 건조, CVD 또는 디바인딩(예: 폴리머 제거).
- Corundum:고온 소결, 합금 열처리 또는 단결정 성장.
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퍼니스 구성
- 수평/수직/회전식 설계:균일한 가스 흐름을 위한 수평, 분말 처리를 위한 수직, 혼합에 민감한 반응을 위한 회전식.
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구매자를 위한 주요 고려 사항
- 재료 호환성:튜브가 공정 화학물질(예: 부식성 가스)에 견딜 수 있는지 확인합니다.
- 열 균일성:더 긴 핫존(600mm 이상)으로 온도 구배를 줄입니다.
- 진공 무결성:플랜지 디자인은 누출률에 영향을 미치며, 초고진공의 경우 이중 O링 씰이 필요할 수 있습니다.
이러한 용기는 진공 브레이징을 통해 항공 우주 또는 정밀 소결을 통한 생의학 임플란트와 같은 분야의 발전을 조용히 지원하며 산업 혁신의 숨은 영웅으로서의 역할을 입증하고 있습니다.
요약 표:
| 기능 | 석영 튜브 | 커런덤 튜브 |
|---|---|---|
| 최대 온도 | 최대 1200°C | 최대 1800°C |
| 주요 속성 | 투명하고 열충격에 강함 | 화학적 불활성, 고온 안정성 |
| 일반적인 애플리케이션 | CVD, 건조, 디바인딩 | 소결, 결정 성장, 합금 처리 |
| 씰링 메커니즘 | 진공 개스킷이 있는 스테인리스 스틸 플랜지 | 석영과 동일하며 내구성이 강화되었습니다. |
| 커스터마이징 | 직경(50-120mm), PID/PLC 제어 | 더 긴 핫존(900mm), MoSi2 요소 |
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