PECVD 장비의 표준 보증 기간은 일반적으로 1년입니다.이 보증 기간은 이 기간 내에 발생하는 모든 제조 결함 또는 운영 문제를 공급업체가 해결하도록 보장합니다.산화물, 질화물 및 폴리머와 같은 재료를 증착하는 데 다재다능한 것으로 알려진 PECVD 시스템은 반도체에서 항공 우주에 이르는 다양한 산업에서 매우 중요합니다.저온 증착 및 컨포멀 코팅과 같은 고급 기능으로 인해 고정밀 애플리케이션에 없어서는 안 될 필수 요소입니다.보증은 기본적인 보호 기능을 제공하지만, 사용자는 장기적인 안정성을 위해 유지보수 계획과 공급업체 지원도 고려해야 합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
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표준 보증 기간
- 다음을 포함한 PECVD 장비에 대한 보증은 다음과 같습니다. MPCVD 장비 는 일반적으로 1 년 .여기에는 정상적인 작동 조건에서 재료 또는 제작상의 결함이 포함됩니다.
- 예시:예: 이 기간 내에 가스 포드 또는 전극이 오작동하는 경우 일반적으로 공급업체는 해당 부품을 무상으로 수리 또는 교체합니다.
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보증 적용 범위
- 중점 사항 핵심 구성 요소 프로세스 챔버, 전극, 가스 공급 시스템과 같은 핵심 구성품.
- 소모품(예: O-링) 또는 부적절한 사용(예: 잘못된 가스 혼합)으로 인한 손상은 보증 대상에서 제외될 수 있습니다.
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보증 후 고려 사항
- 연장 지원:일부 공급업체는 지속적인 기술 지원을 위해 유료 유지보수 계약을 제공합니다.
- 예방 조치:질량 유량 컨트롤러를 정기적으로 교정하고 챔버를 청소하면 장비 수명을 보증 기간 이상으로 연장할 수 있습니다.
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산업별 신뢰성 요구 사항
- 반도체나 의료 기기 제조에서는 사소한 다운타임도 큰 비용이 발생할 수 있습니다.사용자는 종종 사용자 지정 보증 조건 (예: 중요 하위 시스템의 경우 2년).
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PECVD 다목적성 링크
- 보증의 가치는 고품질 필름(예: 태양전지용 SiNx 또는 생체 적합성 코팅)을 증착하는 장비의 역할과 일치합니다.신뢰할 수 있는 보증을 통해 이러한 고급 기능이 손상되지 않도록 보장합니다.
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보증이 적용되는 주요 기능
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보증 대상 하위 시스템:
- 범용 베이스 콘솔 전자 장치
- 가열식 상부/하부 전극
- 질량 흐름 컨트롤러가 있는 가스 포드
- 소프트웨어(예: 파라미터 램핑)에는 별도의 라이선스 조건이 적용될 수 있습니다.
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보증 대상 하위 시스템:
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구매자에게 보증이 중요한 이유
- 저온 증착 및 컨포멀 코팅 기능(예: 항공우주 코팅)은 정밀도가 필요합니다.강력한 보증은 이러한 중요한 기능을 보호합니다.
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비교 상황
- 용광로 기반 시스템과 달리 플라즈마 강화 공정은 열 스트레스를 줄이지만 복잡한 전자 장치에 의존하기 때문에 수리 비용에 대한 보증 범위가 매우 중요합니다.
광전자나 나노전자처럼 PECVD를 통해 나노 크기의 재료 성장을 가능하게 하는 산업에서는 보증 기간이 조달 결정의 핵심 요소입니다.연장 지원 옵션이 귀사의 생산 주기에 어떻게 부합할 수 있는지 평가해 보셨나요?
요약 표:
| 측면 | 세부 정보 |
|---|---|
| 표준 보증 | 핵심 구성품(예: 프로세스 챔버, 전극, 가스 시스템) 1년 |
| 적용 제외 사항 | 소모품(O-링), 오용(잘못된 가스 혼합물) |
| 확장 지원 | 기술 지원을 위한 유료 유지 관리 계약 |
| 중요 하위 시스템 | 전자 장치, 전극, 가스 포드, 소프트웨어(별도 약관이 적용될 수 있음) |
| 산업별 요구 사항 | 맞춤형 조건(예: 반도체 제조의 경우 2년) |
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