튜브 퍼니스의 진공 및 가스 처리는 정밀한 대기 조건을 조성하도록 설계된 특수 구성 요소와 제어 시스템의 조합을 통해 가능합니다.이러한 기능에는 압력 제어를 위한 진공 펌프 시스템, 보호 가스 또는 반응성 가스 도입을 위한 가스 입구/출구 포트, 진공 무결성을 유지하기 위한 고급 밀봉 메커니즘, 정교한 온도 및 대기 제어 시스템 등이 포함됩니다.이러한 요소의 통합으로 산화 없는 처리, 화학 반응 제어, 균일한 재료 처리가 가능하므로 정밀한 환경 제어가 중요한 연구 및 산업 분야에서 튜브 용광로는 필수 불가결한 장비입니다.
핵심 포인트 설명:
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진공 펌프 시스템
- 퍼니스는 밀봉 플랜지를 통해 진공 펌프에 연결되어 저압 또는 진공 환경을 조성할 수 있습니다.
- 이를 통해 어닐링, 브레이징, 소결 등의 공정에서 중요한 산화 및 불순물 형성을 최소화할 수 있습니다.
- 진공 레벨은 디지털 디스플레이와 프로그래밍 가능한 설정 포인트를 통해 모니터링 및 제어됩니다.
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가스 처리 기능
- 가스 유입/배출 포트를 통해 불활성(예: 아르곤, 질소) 또는 반응성 가스(예: 수소, 산소)를 도입하여 대기를 제어할 수 있습니다.
- 가스 재충전 시스템은 진공 단계 후 주변 압력을 복원하여 안전과 공정 유연성을 보장합니다.
- 침탄, 환원 반응 또는 특정 기체 상 화학 물질 생성 등의 응용 분야에 사용됩니다.
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씰링 및 플랜지 설계
- 고온 씰(예: O-링, 금속 개스킷)은 가스 누출을 방지하고 진공 무결성을 유지합니다.
- 플랜지는 장시간 고온에서 작동하는 동안 씰을 보호하기 위해 수냉식인 경우가 많습니다.
- 퀵 릴리스 메커니즘으로 튜브를 쉽게 로딩/언로딩할 수 있습니다.
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온도 및 분위기 제어
- 고급 PID 또는 퍼지 로직 컨트롤러가 난방 램프, 침수 및 냉각 속도를 조절합니다(±1°C 정확도).
- 다중 구역 설계(일부 벤치탑 퍼니스 모델)은 복잡한 프로세스를 위한 독립적인 온도 프로파일을 지원합니다.
- 과열 보호 및 비상 정지 기능으로 안전한 작동을 보장합니다.
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균일한 가열 및 안전
- 발열체가 튜브 길이를 따라 열을 균일하게 분배합니다(±5°C 안정성).
- 인터록은 진공 또는 가스 유량 파라미터가 설정 값에서 벗어날 경우 작동을 방지합니다.
- 데이터 로깅은 품질 보증 및 재현성을 위해 공정 변수를 추적합니다.
이러한 기능을 종합하면 맞춤형 대기 조건에서 정밀한 재료 가공이 가능하여 야금에서 반도체 제조에 이르는 다양한 산업의 요구를 충족할 수 있습니다.
요약 표:
| 기능 | 기능 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 진공 펌프 시스템 | 저압/진공 환경 조성 | 산화 및 불순물 최소화 |
| 가스 처리 포트 | 불활성/반응성 가스 도입 | 화학 반응 제어 가능 |
| 고온 씰 | 진공 무결성 유지 | 프로세스 일관성 및 안전성 보장 |
| 고급 온도 제어 | 가열/냉각 속도 조절(±1°C) | 균일한 재료 처리 달성 |
| 안전 인터록 | 편차 중 작동 방지 | 장비 및 샘플 보호 |
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