대기 튜브 퍼니스는 제어된 대기 조건에서 정밀한 열 처리를 위해 설계된 특수 가열 장치입니다.다양한 산업 및 연구 요구 사항을 충족하기 위해 균일한 온도 분포, 안정적인 밀봉, 맞춤형 가스 환경에 초점을 맞춘 구조 설계가 특징입니다.주요 구성 요소에는 고온 내성 퍼니스 튜브, 고급 발열체, 가스 흐름 시스템, 정밀 온도 컨트롤러가 포함됩니다.이러한 퍼니스는 과열 보호 및 가스 누출 감지 등의 안전 메커니즘을 통합하면서 산화 없는 처리, 일관된 결과물, 에너지 효율을 제공합니다.
핵심 포인트 설명:
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퍼니스 튜브 재질 및 구조
- 내열성 강철, 석영 유리 또는 세라믹 튜브로 제작되어 극한의 온도(최대 1600°C 이상)를 견딜 수 있습니다.
- 원통형(수평 튜브 용광로) 또는 수직 디자인으로 다양한 시료 크기와 처리 요구 사항을 수용합니다.
- 재료 선택은 온도 범위, 화학적 호환성 및 열 전도성 요구 사항에 따라 달라집니다.
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난방 시스템 아키텍처
- 다중 구역 발열체(예: 탄화 규소 막대, 이규화 몰리브덴)로 균일한 온도 분포 가능
- 단열층(알루미나 섬유/내화 벽돌)으로 열 손실을 최소화하고 에너지 효율 향상
- 나선형 또는 병렬 발열체 배열로 작업 챔버로의 열 전달 최적화
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대기 제어 구성 요소
- 정밀한 분위기 조절을 위한 유량계가 있는 가스 흡입구/배출구 포트(불활성/반응성 가스)
- 진공 시스템(일부 모델)은 최저 10^-3 mbar의 압력으로 산소가 없는 환경을 제공합니다.
- 가스 정화 장치는 재료 특성에 영향을 줄 수 있는 오염 물질을 제거합니다.
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온도 관리 시스템
- K/S 타입 열전대 또는 RTD로 실시간 온도 모니터링 제공
- 1°C 정확도의 PID 컨트롤러로 프로그래밍 가능한 가열/냉각 곡선 가능
- 과열 보호 회로로 열 폭주 방지
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씰링 메커니즘
- 수냉식 이중 오링 씰이 플랜지 연결을 보호합니다.
- 열전대 및 시료 조작을 위한 기밀 피드스루
- 압력 릴리프 밸브로 안전한 작동 조건 유지
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안전 및 운영 기능
- 가스 누출 또는 냉각 시스템 고장 시 자동 종료
- 반복 가능한 공정을 위한 레시피 저장 기능이 있는 터치스크린 인터페이스
- 모듈식 설계로 유지보수 및 부품 교체 간소화
이러한 설계 요소를 결합하여 소결, 어닐링, CVD 및 대기 제어가 중요한 기타 공정을 수행할 수 있는 다목적 시스템을 만들 수 있습니다.수평 튜브 퍼니스 구성은 특히 연속 처리 및 대량 샘플 배치에 유리합니다.
요약 표:
| 기능 | 설명 |
|---|---|
| 퍼니스 튜브 재질 | 극한의 온도(1600°C 이상)를 위한 내열성 강철, 석영 또는 세라믹 튜브 |
| 난방 시스템 | 균일한 열 분배를 위한 단열재를 갖춘 다중 구역 요소(SiC, MoSi2) |
| 대기 제어 | 정밀한 환경 조절을 위한 가스 유입구, 진공 시스템 및 정화 장치 |
| 온도 관리 | 과열 보호 기능이 있는 PID 컨트롤러(±1°C 정확도) |
| 씰링 메커니즘 | 이중 O링 씰, 기밀 피드스루, 압력 릴리프 밸브 |
| 안전 기능 | 누출 시 자동 종료, 터치스크린 인터페이스 및 모듈식 유지보수 |
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