진공로는 극한의 온도를 견디고 진공 무결성을 유지하기 위해 특수 소재를 사용합니다. 주요 재료로는 고온 금속 합금(스테인리스강, 니켈-크롬, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨)과 부품 가열용 비금속 원소(흑연, 실리콘 카바이드)가 있습니다. 퍼니스 챔버와 레토르트에는 기밀성 고온 강철을 사용하는 경우가 많으며 진공 시스템에는 펌프, 밸브, 게이지가 통합되어 있습니다. 이러한 재료는 제어된 분위기에서 고급 세라믹, 금속 분말, 반도체 및 배터리 재료를 정밀하게 가공할 수 있게 해줍니다.
핵심 포인트 설명:
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발열체
- 금속 합금: 스테인리스강, 니켈-크롬, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨은 녹는점이 높고 저압 환경에서 산화에 대한 내성이 있어 일반적으로 사용됩니다.
- 비금속 재료: 흑연과 탄화규소는 열전도율이 우수하고 1,500°C 이상의 온도에서 안정성이 뛰어나기 때문에 선호됩니다.
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퍼니스 챔버 및 레토르트
- 다음 재료로 제작 고온 내성 강철 으로 제작되어 기밀 밀봉과 내구성을 보장합니다.
- 레토르트(레토르트 용광로에 사용)는 열을 차단하고 재료를 오염으로부터 보호하도록 특별히 설계되었습니다.
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진공 시스템 구성품
- 펌프: 기계식 펌프, 확산 펌프 및 루츠 펌프는 최대 7 × 10-³ Pa의 진공 수준을 달성합니다.
- 밸브 및 게이지: 압력 조절 및 진공 무결성 모니터링에 필수적입니다.
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응용 분야 및 가공 재료
- 고급 세라믹: 실리콘 카바이드, 실리콘 질화물, 알루미나.
- 금속 분말: 티타늄 합금, 초합금, 스테인리스 스틸.
- 반도체: 실리콘 웨이퍼, 갈륨 비소.
- 배터리 재료: 고체 전해질, 음극/양극 재료.
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구조 및 지원 구성 요소
- 퍼니스 쉘: 일반적으로 단열재가 있는 강철 기반입니다.
- 이송 장치: 소결 중 안전한 재료 취급을 보장합니다.
시스템 통합에 대한 자세한 내용은 다음을 참조하세요. 진공로 시스템 .
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열 관리
- 단열: 고순도 알루미나 또는 지르코니아 섬유가 열 손실을 최소화합니다.
- 냉각 시스템: 빠른 온도 조절을 위한 수냉식 재킷 또는 가스 냉각 시스템.
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재료 호환성
- 다음을 처리하도록 설계 내화성 금속 (텅스텐, 몰리브덴) 및 희귀 합금 (텅스텐-구리)를 성능 저하 없이 처리할 수 있도록 설계되었습니다.
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운영 고려 사항
- 분위기 유연성: 진공 처리와 함께 불활성 가스 소결을 지원합니다.
- 정밀 제어: PID 온도 컨트롤러는 광전자 코팅과 같은 민감한 재료의 균일한 가열을 보장합니다.
이러한 재료 선택으로 진공로는 엄격한 산업 및 연구 요구 사항을 종합적으로 충족할 수 있습니다.
요약 표:
| 구성 요소 | 사용된 재료 | 주요 특성 |
|---|---|---|
| 가열 요소 | 스테인리스 스틸, 니켈-크롬, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨, 흑연, SiC | 높은 융점, 내산화성, 열 안정성(>1,500°C) |
| 퍼니스 챔버 | 고온 강철 | 기밀 밀봉, 극한 조건에서의 내구성 |
| 진공 시스템 | 기계식/확산 펌프, 밸브, 게이지 | 초고진공(7 × 10-³ Pa), 정밀한 압력 조절 달성 |
| 절연 | 알루미나/지르코니아 섬유 | 열 손실 최소화, 온도 균일성 유지 |
| 가공 재료 | 고급 세라믹, 금속 분말, 반도체, 배터리 재료 | 내화성 금속(텅스텐, 몰리브덴) 및 민감한 코팅과 호환 가능 |
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