진공로의 진공 시스템은 고온 공정을 위한 제어 환경을 조성하기 위해 공기 및 기타 가스를 제거하는 데 중요한 구성 요소입니다.일반적으로 진공 밸브, 기계식 펌프, 확산 펌프, 루츠 펌프로 구성되며, 필요한 진공 레벨에 따라 선택됩니다.달성 가능한 최대 진공 레벨은 일반적으로 7×10-3 Pa이지만, 특정 시스템 구성 및 애플리케이션에 따라 달라질 수 있습니다.또한 이 시스템에는 프로그래밍 가능한 램프, 진공 설정점 및 가스 백필을 위한 고급 제어 기능이 포함되어 있어 정밀한 작동을 보장합니다.
핵심 포인트 설명:
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진공 시스템의 구성 요소:
- 진공 밸브:가스의 흐름을 제어하고 시스템의 섹션을 격리합니다.
- 기계식 펌프:벌크 가스를 제거하여 초기 거친 진공을 제공합니다.
- 확산 펌프:오일을 기화시켜 가스 분자를 가두어 더 높은 진공 수준을 달성합니다.
- 루츠 펌프:펌핑 속도와 효율을 향상시키며, 종종 기계식 펌프와 함께 사용됩니다.
- 이러한 구성 요소가 함께 작동하여 원하는 진공 환경을 조성하고 유지합니다.
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달성 가능한 진공 수준:
- 이 시스템은 최대 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 7×10-3 Pa 로, 화학 기상 증착 및 귀금속 용융과 같은 고정밀 공정에 적합합니다.
- 진공 수준은 다음과 같이 오염을 최소화해야 하는 공정에 매우 중요합니다. 진공 청소로 작업.
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온도 기능:
- 진공로는 시리즈와 설계에 따라 1000°C에서 2000°C에 이르는 광범위한 온도 기능을 제공합니다.
- 온도 균일성이 +/- 5°C 이내로 유지되어 열처리 및 기타 공정에서 일관된 결과를 보장합니다.
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제어 및 자동화:
- 이 시스템의 특징은 컬러 터치 패널 운영자 인터페이스 프로그래밍 가능한 램프, 진공 설정점, 가스 백필을 위한 PLC를 갖추고 있습니다.
- 고급 기능으로는 데이터 로깅, 과열 제어, 안전을 위한 비상 정지 등이 있습니다.
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애플리케이션:
- 진공로는 다음과 같은 특수 공정에 사용됩니다. 화학 기상 증착, 흑연화 및 유도 용융과 같은 특수 공정에 사용됩니다. .
- 금속 및 세라믹 가공에 필수적이며 고순도와 정밀도를 보장합니다.
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머플 퍼니스와 비교:
- 머플로는 일반적인 고온 응용 분야(특수 모델의 경우 최대 1200°C 또는 3000°C)에 적합하지만, 진공로는 보다 까다로운 공정을 위해 오염이 없는 제어된 환경을 제공합니다.
구매자는 이러한 구성 요소와 기능을 이해함으로써 특정 요구 사항에 적합한 진공로 시스템을 선택하여 최적의 성능과 효율성을 보장할 수 있습니다.
요약 표:
| 구성 요소 | 기능 | 진공 레벨 달성 가능 |
|---|---|---|
| 진공 밸브 | 가스 흐름 제어 및 시스템 섹션 분리 | 최대 7×10-³ Pa |
| 기계식 펌프 | 벌크 가스를 제거하여 초기 거친 진공 제공 | 펌프 유형에 따라 다름 |
| 디퓨전 펌프 | 오일을 기화시켜 가스 분자를 가두어 더 높은 진공을 달성합니다. | 최대 7×10-³ Pa |
| 루츠 펌프 | 펌핑 속도 및 효율성 향상, 종종 기계식 펌프와 함께 사용 | 시스템 설계에 따라 다름 |
| 온도 범위 | 1000°C ~ 2000°C, +/- 5°C 이내의 균일성 유지 | N/A |
| 제어 기능 | 프로그래밍 가능한 램프, 진공 설정 포인트, 가스 백필, 데이터 로깅, 안전 | N/A |
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