대기로는 제어된 환경에서 정밀한 열처리를 가능하게 하여 태양전지 제조에서 중요한 역할을 합니다.이러한 특수 용광로는 다결정 실리콘 웨이퍼 소결, 실리콘 박막 준비 및 태양전지 효율과 안정성을 향상시키는 기타 고온 공정에 사용됩니다.특정 대기 조건(불활성, 환원 또는 산화)을 유지할 수 있기 때문에 고품질의 태양광 소재를 생산하는 데 필수적인 요소입니다.
핵심 포인트 설명:
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다결정 실리콘 웨이퍼 소결
- 대기로는 입자를 서로 결합하여 고밀도의 전도성 물질을 형성하는 공정인 실리콘 웨이퍼 소결에 필요한 제어된 고온 환경을 제공합니다.
- 정밀한 온도 제어와 가스 환경은 실리콘의 전기적 특성을 유지하는 데 중요한 산화와 오염을 방지합니다.
- 이 공정은 많은 태양전지의 기본 재료를 만들어 높은 효율과 내구성을 보장하는 데 필수적입니다.
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박막 준비
- 비정질 실리콘 또는 카드뮴 텔루라이드(CdTe)로 만든 박막 태양 전지는 종종 다음과 같은 곳에서 증착 및 어닐링 공정을 수행해야 합니다. 분위기 레토르트 용광로 .
- 이러한 용광로는 결정성 및 화학량 론과 같은 원하는 필름 특성을 달성하는 데 필요한 균일한 가열과 제어된 분위기를 가능하게 합니다.
- 공정 중에 특정 가스(예: 패시베이션용 수소)를 도입하는 기능은 박막의 성능을 더욱 향상시킵니다.
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패시베이션 및 반사 방지 코팅(ARC) 공정
- PERC(패시베이션 이미터 및 후면 셀)와 같은 첨단 태양 전지 설계에서는 알루미늄 산화물(AlOx) 및 실리콘 질화물(SiNx:H) 등의 유전체 층을 증착하고 어닐링하기 위해 대기 용광로가 사용됩니다.
- 이러한 층은 부동태화(전자 재결합 감소)를 개선하고 반사 방지 코팅 역할을 하여 빛 흡수와 전반적인 셀 효율을 높입니다.
- 퍼니스의 제어된 환경은 장기적인 성능에 중요한 일관된 레이어 품질과 접착력을 보장합니다.
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다른 고온 공정과의 호환성
- 대기로는 실리콘 기반 셀 외에도 페로브스카이트 및 CIGS(구리 인듐 갈륨 셀레나이드) 태양 전지와 같은 다른 태양광 소재의 생산에도 사용됩니다.
- 이러한 재료는 최적의 결정성과 전기적 특성을 얻기 위해 불활성 또는 환원 분위기에서 어닐링 또는 소결이 필요한 경우가 많습니다.
- 퍼니스의 다용도성 덕분에 태양전지 제조의 다양한 재료와 공정에 적합합니다.
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기존 용광로 대비 장점
- 대기로는 가스 구성과 압력을 탁월하게 제어할 수 있어 오염을 방지하고 재현 가능한 결과를 보장하는 데 매우 중요합니다.
- 단일 공정 주기에서 질소, 아르곤, 포밍 가스 등 다양한 분위기 사이를 전환할 수 있어 가동 중단 시간을 줄이고 처리량을 개선할 수 있습니다.
- 이러한 유연성은 여러 공정 조건을 테스트해야 하는 연구 및 개발 분야에서 특히 유용합니다.
이러한 기능을 통합함으로써 대기로는 태양전지 기술의 발전에 크게 기여하여 효율을 높이고 생산 비용을 낮추며 현장에서 더욱 안정적인 성능을 구현할 수 있게 해줍니다.대량 생산과 R&D 모두에서 대기로의 역할은 재생 에너지 부문에서 그 중요성을 강조합니다.
요약 표:
애플리케이션 | 주요 이점 |
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실리콘 웨이퍼 소결 | 산화/오염을 최소화하면서 조밀하고 전도성 있는 소재를 보장합니다. |
박막 준비 | 최적의 필름 특성을 위해 균일한 가열 및 가스 제어가 가능합니다. |
패시베이션 및 아크 공정 | 빛 흡수를 개선하고 전자 재결합을 줄입니다. |
페로브스카이트/CIGS 셀 처리 | 고성능 재료를 위한 불활성/환원 분위기에서의 어닐링을 지원합니다. |
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