کەرەستە سەرەکییەکانی سیستەمی Cvd چین؟ دانانی چینێکی تەنکی پێشکەوتوو بۆ تاقیگەکەت

لە ناواخنیدا، سیستەمێکی نیشتەجێکردنی هەڵمی کیمیایی (CVD) کۆمەڵێک پێکهاتەی یەکگرتووە کە بۆ دروستکردنی ژینگەیەکی زۆر کۆنتڕۆڵکراو بۆ گەشەکردنی چینە تەنکەکان دیزاین کراوە. هەموو سیستەمێکی CVD، بەبێ گوێدانە جۆری تایبەتی خۆی، پێنج سیستەمی لاوەکی بنەڕەتی کۆدەکاتەوە: سیستەمێکی گەیاندنی گاز بۆ دابینکردنی پێکهاتە کیمیاییەکان، ژوورێکی کارلێک بۆ جێگیرکردنی پرۆسەکە، میکانیزمێکی گەرمکردن بۆ دابینکردنی وزە، سیستەمێکی بۆشایی بۆ کۆنتڕۆڵکردنی کەشوهەوا، و سیستەمێکی کۆنتڕۆڵ بۆ ڕێکخستنی تەواوی ئۆپەراسیۆنەکە.

سیستەمێکی CVD تەنها کۆمەڵێک کەرەستە نییە؛ بەڵکو ئامێرێکە بۆ دەستکاریکردنی وردی گاز، پلەی گەرمی، و پەستان. تێگەیشتن لەوەی چۆن هەر پێکهاتەیەک ئەم گۆڕاوانە کۆنتڕۆڵ دەکات، کلیلە بۆ کۆنتڕۆڵکردنی پرۆسەی نیشتەجێکردن و بەدەستهێنانی تایبەتمەندییە خوازراوەکانی فیلمەکە.

گەشتەکە لە گازەوە بۆ فیلم: شیکردنەوەی پێکهاتە بە پێکهاتە

بۆ تێگەیشتن لەوەی سیستەمێکی CVD چۆن کاردەکات، باشترین شت ئەوەیە کە پرۆسەکە لە سەرەتاوە تا کۆتایی بەدوادا بچیت. گازە سەرەتاییەکان دەناسێنرێن، وزەیان پێدەدرێت بۆ دۆخێکی کارلێککەر، و لەسەر ماددەیەکی بنەڕەت دادەنرێن، لەگەڵ لابردنی هەموو پاشماوەکان بە وریاییەوە.

سیستەمی گەیاندنی گاز: دابینکردنی بلۆکەکانی دروستکردن

تەواوی پرۆسەکە بە پێکهاتە سەرەتاییەکان دەست پێدەکات—"بلۆکەکانی دروستکردنی" کیمیایی فیلمی کۆتایی. سیستەمی گەیاندنی گاز بەرپرسیارە لە هەڵگرتنی ئەم ماددانە و گەیاندنیان بە ژووری کارلێک بە ڕێژەیەکی زۆر ورد و جێگیر.

ئەم سیستەمە کۆنتڕۆڵکەرەکانی لێشاوی بارستە (MFCs) بەکاردێنێت بۆ ڕێکخستنی لێشاوی هەریەک لە گازەکان. توانای کۆنتڕۆڵکردنی وردی تێکەڵەی گاز زۆر گرنگە، چونکە ڕاستەوخۆ کاریگەری لەسەر کیمیای کارلێکەکە و هاوسەنگی فیلمی بەدەستهاتوو دەبێت.

ژووری کارلێک: گۆڕەپانی نیشتەجێکردن

ژووری کارلێک دڵی سیستەمەکەیە کە نیشتەجێکردن تێیدا ڕوودەدات. ئەم ژوورانە بە شێوەیەکی گشتی لە ماددانێک دروستکراون وەک کوارتز یان پۆڵای بێژەنگ کە دەتوانن بەرگەی پلەی گەرمی بەرز و ژینگە کیمیاییە کارلێککەرەکان بگرن بەبێ پیسکردنی پرۆسەکە.

لە ناو ژوورەکەدا، میکانیزمێکی دابەشکردنی گاز، زۆرجار "سەری دوش"، دڵنیایی دەدات کە گازە سەرەتاییەکان بە شێوەیەکی یەکسان بەسەر ڕووی ماددە بنەڕەتییەکەدا بڵاودەبنەوە. ئەمە زۆر گرنگە بۆ بەدەستهێنانی فیلمێک بە ئەستوورییەکی یەکسان.

سیستەمی گەرمکردن: داگیرساندنی کارلێکەکە

زۆربەی پرۆسەکانی CVD بە گەرمی بەڕێوەدەچن، پێویستیان بە بڕێکی بەرچاوی وزە هەیە بۆ دەستپێکردنی کارلێکە کیمیاییەکان. سیستەمی گەرمکردن بەرپرسیارە لە گەیاندنی ماددە بنەڕەتییەکە، و هەندێک جار تەواوی ژوورەکە، بۆ پلەی گەرمی ئامانجدار.

پلەکانی گەرمی دەتوانن لە 200°C ی تا ڕادەیەک نزم بۆ هەندێک پرۆسە تا زیاتر لە 1500°C بۆ ماددانێک وەک سیلیکۆن کارباید یان ئەڵماس ببن. گەرمکردنی یەکسان بەسەر ماددە بنەڕەتییەکەدا زۆر گرنگە بۆ دڵنیابوون لە تایبەتمەندییە جێگیرەکانی فیلمەکە.

سیستەمەکانی بۆشایی و هەواکێشان: کۆنتڕۆڵکردنی کەشوهەوا

سیستەمی بۆشایی، کە لە یەک یان چەند پەمپێک پێکدێت، دوو مەبەستی سەرەکی هەیە. یەکەم، هەوای ژینگە لادەبات بۆ دروستکردنی ژینگەیەکی پاک، کە ڕێگری دەکات لە کارلێکە نەخوازراوەکان لەگەڵ ئۆکسجین یان نایترۆجین. دووەم، پرۆسەکە لە پەستانێکی دیاریکراو، زۆرجار نزم، دەهێڵێتەوە.

سیستەمی هەواکێشان لەگەڵ پەمپەکانی بۆشایی کاردەکات بۆ لابردنی سەلامەتی گازە سەرەتاییە کارلێکنەکراوەکان و بەرهەمە لاوەکییە کیمیاییە مەترسیدارەکان لە ژوورەکە.

سیستەمی کۆنتڕۆڵ: ڕێکخەرەکە

سیستەمی کۆنتڕۆڵ مێشکی ناوەندییە کە تەواوی پرۆسەکە چاودێری و خۆکار دەکات. هەموو پێکهاتەکانی دیکە یەکدەخات، ڕێژەی لێشاوی گاز لە MFCs بەڕێوەدەبات، توانا بۆ سیستەمی گەرمکردن ڕێکدەخات، و پەستانی ژوورەکە دەپارێزێت. ئەمە دڵنیایی دەدات کە پرۆسەکە لە یەک کارکردنەوە بۆ کارکردنێکی دیکە دووبارە دەبێتەوە و متمانەپێکراوە.

تێگەیشتن لە گۆڕانکارییە سەرەکییەکانی سیستەم و ئاڵوگۆڕەکان

لە کاتێکدا هەموو سیستەمەکانی CVD پێکهاتەکانی سەرەوە هاوبەشن، شێوەی تایبەتیان ئاڵوگۆڕی گرنگ لە ئەدای کار، تێچوون، و توانادا دروست دەکات. سیستەمی "باشترین" بە پێداویستییە تایبەتەکانی فیلمی نیشتەجێکراو پێناسە دەکرێت.

CVD گەرمی بەرامبەر CVD بە پلاسما بەهێزکراو (PECVD)

ئاڵوگۆڕی سەرەکی لێرەدا پلەی گەرمییە. پرۆسەی CVD گەرمی ستاندارد تەنها گەرمی بەرز بەکاردێنێت بۆ بەڕێوەبردنی کارلێکەکە. CVD بە پلاسما بەهێزکراو (PECVD) سەرچاوەیەکی وزە زیاد دەکات بۆ دروستکردنی پلاسما لەناو ژوورەکەدا.

ئەم پلاسما وزە دەداتە گازە سەرەتاییەکان، کە ڕێگە بە کارلێکە کیمیاییەکە دەدات لە پلەیەکی گەرمی زۆر نزمتر ڕووبدات. ئەمە PECVD دەکاتە شتێکی بنەڕەتی بۆ نیشتەجێکردنی فیلمەکان لەسەر ماددە بنەڕەتییە هەستیار بە پلەی گەرمی وەک پلاستیک یان وێفەرەکانی نیمچەگەیەنەری پێشتر پرۆسەکراو.

پەستان: پەستانی نزم (LPCVD) بەرامبەر پەستانی کەشوهەوا (APCVD)

گۆڕاوێکی دیکەی سەرەکی پەستانی کارکردنە. سیستەمەکانی CVD بە پەستانی نزم (LPCVD) لە بۆشاییدا کاردەکەن، کە کارلێکە گازییە نەخوازراوەکان کەمدەکاتەوە و یەکسانی و پاکژی فیلمەکە باشتر دەکات.

CVD بە پەستانی کەشوهەوا (APCVD)، وەک لە ناوەکەیەوە دیارە، لە پەستانی ئاسایی کەشوهەوادا کاردەکات. ئەم سیستەمانە سادەتر، خێراتر، و هەرزانترن بەڵام بە شێوەیەکی گشتی فیلمی کەمتر کوالێتی و یەکسانی بەرهەم دەهێنن بە بەراورد بە LPCVD.

کارلێکەرەکانی گەرم-دیوار بەرامبەر سارد-دیوار

ئەمە باس لەوە دەکات کە چۆن ژوورەکە گەرم دەکرێت. لە کارلێکەرێکی گەرم-دیواردا، تەواوی لوولەکەی ژوورەکە گەرم دەکرێت، کە یەکسانییەکی نایابی پلەی گەرمی بۆ چەندین ماددە بنەڕەتی دابین دەکات. لایەنی خراپی ئەوەیە کە نیشتەجێکردن لەسەر دیوارەکانی ژوورەکە ڕوودەدات، کە پێکهاتە سەرەتاییەکان بەکار دەهێنێت و پێویستی بە پاککردنەوەی بەردەوام هەیە.

لە کارلێکەرێکی سارد-دیواردا، تەنها هەڵگری ماددە بنەڕەتییەکە گەرم دەکرێت. ئەمە وزە بەکارهێنەرترە و نیشتەجێکردنی دیوار کەم دەکاتەوە، بەڵام دەتوانێت لێژییەکانی پلەی گەرمی و لێشاوی هەوایی گاز دروست بکات کە ڕەنگە کاریگەری لەسەر یەکسانی فیلمەکە بێت.

گونجاندنی سیستەمەکە لەگەڵ ئامانجی نیشتەجێکردنەکەت

هەڵبژاردنی شێوەی سیستەمی CVD بە تەواوی بە ئەنجامە خوازراوەکە دیاری دەکرێت. هیچ ڕێکخستنێکی "باشترین" نییە؛ تەنها ئامێری گونجاو هەیە بۆ کارەکە.

ئەگەر سەرنجی سەرەکی تۆ لەسەر فیلمە پاک و یەکسانەکان بێت بۆ نیمچەگەیەنەرەکان: سیستەمێکی LPCVD یان Ultra-High Vacuum CVD (UHVCVD) لەگەڵ لێشاوی بارستەی ورد و گەرمکردنی دیواری سارد ستانداردە.
ئەگەر سەرنجی سەرەکی تۆ لەسەر نیشتەجێکردن بێت لەسەر ماددە بنەڕەتییە هەستیار بە پلەی گەرمی: سیستەمێکی PECVD هەڵبژاردەی پێویستە بۆ چالاککردنی نیشتەجێکردن لە پلەی گەرمی زۆر نزمتردا.
ئەگەر سەرنجی سەرەکی تۆ لەسەر ڕووپۆشکردنی قەبارە گەورەی پیشەسازی بێت: سیستەمێکی APCVD، زۆرجار بۆ پرۆسەی بەردەوام ڕێکخراوە، ئەگەری زۆرە کە باشترین چارەسەری تێچوون و کارایی بێت.

تێگەیشتن لەوەی چۆن ئەم پێکهاتە سەرەکییانە و شێوەکانیان گۆڕاوە بنەڕەتییەکانی پرۆسەکە کۆنتڕۆڵ دەکەن، تۆ بەهێز دەکات بۆ هەڵبژاردن یان دیزاینکردنی سیستەمێکی CVD کە بە وردی پێداویستییەکانی دروستکردنی ماددەکەت دابین دەکات.

خشتەی کورتکراوە:

پێکهاتە	کاری سەرەکی
سیستەمی گەیاندنی گاز	گازی سەرەتایی دابین دەکات و ڕێکی دەخات بۆ کۆنتڕۆڵی وردی کیمیایی
ژووری کارلێک	پرۆسەی نیشتەجێکردن لەخۆدەگرێت بە دابەشکردنی یەکسانی گاز
سیستەمی گەرمکردن	وزە بۆ کارلێکە گەرمییەکان دابین دەکات، دڵنیایی دەدات لە یەکسانی پلەی گەرمی
سیستەمەکانی بۆشایی و هەواکێشان	کەشوهەوا کۆنتڕۆڵ دەکات و بەرهەمە لاوەکییەکان لادەبات بۆ پاکژی
سیستەمی کۆنتڕۆڵ	تەواوی پرۆسەکە خۆکار دەکات و چاودێری دەکات بۆ دووبارەبوونەوە

ئامادەی بۆ باشترکردنی تواناکانی تاقیگەکەت بە سیستەمێکی CVD گونجاو؟ لە KINTEK، ئێمە توێژینەوە و پەرەپێدانێکی نایاب و دروستکردنی ناوخۆیی بەکاردەهێنین بۆ دابینکردنی چارەسەری کورەی پلەی گەرمی بەرزی پێشکەوتوو، لەوانە سیستەمەکانی CVD/PECVD. توانای بەهێزی کەسیکردنمان دڵنیایی دەدات کە بە وردی پێداویستییە تاقیکارییە ناوازەکانت بۆ دانانی فیلمی تەنک جێبەجێ دەکەین. ئەمڕۆ پەیوەندیمان پێوە بکە بۆ گفتوگۆکردن لەسەر ئەوەی چۆن دەتوانین پرۆسەکەت باشتر بکەین و ئەنجامی نایاب دابین بکەین!