SCR 타입 실리콘 카바이드 발열체는 전문화되어 있습니다. 고온 발열체 까다로운 산업 및 과학 응용 분야를 위해 설계되었습니다.극한의 경도, 열 안정성, 열 충격에 대한 저항성 등 독특한 소재 특성 덕분에 반도체 제조부터 항공우주 부품 테스트에 이르기까지 다양한 환경에서 정밀 가열에 이상적입니다.이러한 요소는 자동화된 온도 제어와 균일한 열 분배가 중요한 곳에서 탁월하며, 1200~1400°C에서 효과적으로 작동하면서 빠른 열 순환에서도 구조적 무결성을 유지합니다.
핵심 포인트 설명:
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고온 산업 공정
- 금속 열처리:대형 챔버에서 일정한 온도(±5°C)를 유지할 수 있기 때문에 어닐링, 경화 및 템퍼링 용광로에 사용됩니다.3.2g/cm³의 밀도로 1400°C에서도 처짐을 최소화합니다.
- 세라믹/유리 생산:고급 세라믹(예: 지르코니아) 및 유리 템퍼링을 소성하는 가마에 필수적이며, 9.5 Moh의 경도로 입자 유출로 인한 오염을 방지합니다.
- 예시:반도체 웨이퍼 캐리어(보트)는 순도를 위해 SiC 원소 용광로에서 소결하는 경우가 많습니다.
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정밀도에 의존하는 산업
- 반도체 제조:확산로 및 에피택셜 리액터에 필수적이며 칩 제조 시 빠른 열 반응을 위해 0.17kcal/kg의 비열을 활용합니다.
- 항공우주 부품 테스트:열 충격 저항이 급격한 온도 변화(예: 1200°C에서 몇 분 만에 실온으로)에서 미세 균열을 방지하는 열 차폐막의 재진입 조건을 시뮬레이션합니다.
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특수 열 관리
- 자동화 시스템:SCR 유형 소자는 PID 컨트롤러와 완벽하게 통합되어 재료 과학 연구 용광로에서 ±1°C의 안정성을 달성합니다.
- 에너지 효율:중공 튜브형 디자인(DM형 제품에서 볼 수 있음)은 열 질량을 줄여 산업용 배치 용광로의 고체 요소에 비해 예열 시간을 30% 단축합니다.
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고유한 소재의 장점
- 구조적 안정성:금속 히터와 달리 SiC 소자는 최고 온도에서 변형되지 않으므로 연속 작동 환경에서 용광로 선반 간격을 유지하는 데 매우 중요합니다.
- 내화학성:플럭스에 대한 불활성으로 알칼리 증기로 오염된 유리 용해로에 적합합니다.
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새로운 애플리케이션
- 적층 제조:고융점 합금(예: 텅스텐)을 위한 분말 베드 융합 시스템에 사용됩니다.
- 원자로 부품:극한 조건에서 연료봉 피복재 테스트.
열적 및 전기적 특성(50-100 Ω-cm 저항률)의 조합으로 중간 절연 없이 직접 줄 가열이 가능하므로 노 설계가 간소화되고 유지보수가 줄어듭니다.구매자의 경우, 수명 주기 비용 분석에서는 일반적으로 산화 환경에서 MoSi₂ 소자보다 2~3배 더 오래 지속되기 때문에 초기 비용이 더 높더라도 SiC를 선호하는 경우가 많습니다.
요약 표:
| 애플리케이션 | 주요 이점 |
|---|---|
| 금속 열처리 | 일관된 온도(±5°C), 1400°C에서 처짐 최소화 |
| 세라믹/유리 생산 | 높은 경도(9.5 Mohs), 오염 없는 가열 |
| 반도체 제조 | 확산로에 이상적인 빠른 열 반응(0.17kcal/kg), 확산로에 이상적 |
| 항공우주 테스트 | 극심한 온도 변화에 대한 열충격 저항 |
| 자동화된 시스템 | 원활한 PID 통합, ±1°C의 연구용 안정성 |
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