진공 조건에서 분위기 박스 퍼니스의 압력 범위는 일반적으로 대기압 이하로 떨어지며, 종종 -0.1MPa(-101,325hPa 또는 1기압의 음압에 해당)까지 낮아집니다.일부 하이엔드 모델은 특정 산업 또는 연구 요구 사항에 대한 맞춤 설정에 따라 1 Pa, -1 Pa 또는 -0.01 Pa와 같이 훨씬 더 낮은 압력도 달성할 수 있습니다.이러한 진공 환경은 고온 공정에서 재료의 무결성을 손상시킬 수 있는 산소 및 기타 반응성 가스를 제거하는 데 매우 중요합니다.
핵심 포인트 설명:
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일반적인 진공 압력 범위
- 대부분 분위기 상자 용광로 사이에서 작동 -0.1MPa (거의 완전 진공) 및 대기압 (0 MPa).
- 예시:표준 진공 설정인 -0.1MPa(-101,325hPa)는 1기압과 동일한 음압을 생성하여 챔버에서 공기를 효과적으로 제거합니다.
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맞춤형 진공 레벨
- 고급 모델은 초저압을 지원합니다(예, 1 Pa, -0.01 Pa ) 반도체 공정이나 고순도 재료 소결과 같은 특수한 애플리케이션에 적합합니다.
- 이러한 설정은 고성능 진공 펌프와 산소 유입을 방지하는 밀폐 씰을 통해 이루어집니다.
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진공 상태의 목적
- 산화 방지:공기를 제거하여 재료(예: 금속, 세라믹)를 표면 반응으로부터 보호합니다.
- 오염 제어:재료 순도가 가장 중요한 항공우주 또는 의료 기기 제조와 같은 산업에 필수적입니다.
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다른 퍼니스 유형과 비교
- 로터리 튜브 퍼니스(연속 가공용으로 설계)나 표준 산업용 퍼니스와 달리 진공 퍼니스는 환경 격리를 우선시합니다.
- 진공 소결로는 비슷한 압력 범위를 공유하지만 재료를 압축하기 위한 프레스 시스템을 통합합니다.
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진공을 구현하는 시스템 구성 요소
- 진공 펌프:음압을 생성합니다.
- 밀폐 챔버:가열/냉각 중 씰 무결성을 유지합니다.
- 제어 시스템:동적으로 압력을 모니터링하고 조정합니다.
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산업용 애플리케이션
- 사용 분야 반도체 제조 , 태양광 패널 생산 및 유리 제조 정밀한 대기 제어가 필수적인 분야입니다.
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진공을 넘어서는 대기 옵션
- 일부 용광로는 화학적 표면 개질이 필요한 공정에서 진공과 불활성 기체(예: 아르곤, 질소)를 번갈아 사용합니다.
이러한 진공 범위가 특정 재료 또는 공정 요구 사항에 어떻게 부합하는지 고려해 보셨나요? 올바른 압력 설정은 완벽한 제품과 산화 또는 불순물로 인해 손상된 제품의 차이를 의미할 수 있습니다.
요약 표:
| 기능 | 세부 정보 |
|---|---|
| 표준 진공 범위 | -0.1MPa(거의 완전 진공)~대기압(0MPa) |
| 맞춤형 압력 | 특수 애플리케이션을 위한 초저압(1 Pa, -0.01 Pa) |
| 주요 이점 | 산화 방지, 재료 순도 보장, 민감한 공정에 이상적 |
| 핵심 구성 요소 | 진공 펌프, 밀폐 챔버, 동적 제어 시스템 |
| 서비스 산업 | 반도체, 태양광 패널 생산, 의료 기기 제조 |
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