화학 기상 증착(CVD)은 벌크 재료의 무결성을 유지하면서 표면 특성을 수정하는 박막을 증착하여 기판의 특성을 근본적으로 변화시킵니다.이 프로세스를 통해 고온에서 제어된 기체상 반응을 통해 전기 전도도, 기계적 강도, 광학 투명도, 열 관리 및 내화학성을 정밀하게 엔지니어링할 수 있습니다.전구체 가스, 온도 프로파일(일반적으로 1000~1150°C), 다음과 같은 특수 장비와 같은 조정 가능한 파라미터를 통해 다양한 용도로 활용할 수 있습니다. MPCVD 기계 고급 애플리케이션을 위한 원자 수준의 커스터마이징이 가능합니다.
핵심 사항을 설명합니다:
-
전기적 특성 수정
- 전도성 금속(티타늄, 텅스텐) 또는 절연 세라믹을 증착하여 저항률을 맞춤화합니다.
- 정밀한 층별 성장을 통해 마이크로일렉트로닉스를 위한 반도체 도핑 가능
- 예시:집적 회로에 확산 장벽을 생성하는 텅스텐 CVD
-
기계적 강화
- 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 코팅으로 표면 경도를 최대 90 GPa까지 향상시킵니다.
- 자동차 부품의 마찰 계수 60~80% 감소
- 계면에서의 공유 결합을 통해 내마모성 향상
-
광학 성능 제어
- 실리콘 질화물 또는 산화물 층으로 굴절률 조정
- 태양 전지를 위한 반사 방지 스택 생성(예: 8층 PECVD 코팅)
- 디스플레이용 인듐 주석 산화물(ITO)과 같은 투명 도체를 구현합니다.
-
열 관리
- 2000W/m-K 전도도의 열 확산 다이아몬드 필름 증착
- 터빈 블레이드용 열 차단 코팅(TBC)을 형성합니다.
- 항공우주 분야에서 1600°C를 견디는 실리콘 카바이드 코팅
-
부식 저항
- 알루미나 코팅은 산화에 대한 핀홀 없는 보호 기능을 제공합니다.
- 화학 공정에서 공구 수명을 연장하는 크롬 카바이드 층
- 할로겐 기반 전구체는 소수성 표면을 생성합니다.
-
공정에 따른 변수
- 온도 구배는 결정성(무정형 대 다결정)에 영향을 미칩니다.
- 가스 유량이 증착 균일성을 결정합니다(두께 허용 오차 ±3%).
- 저온 처리를 가능하게 하는 플라즈마 강화 CVD(PECVD)
-
장비 고려 사항
- MPCVD 장비 낮은 압력에서 다이아몬드 성장 가능
- 대기 용광로는 테스트를 위한 운영 환경을 시뮬레이션합니다.
- 민감한 기판의 순도를 유지하는 로드 록 시스템
터빈 블레이드 코팅은 다층 구조를 통해 열 보호, 내산화성 및 변형 허용 오차를 통합할 수 있는 등 여러 속성 향상을 동시에 결합할 수 있는 CVD의 능력에 진정한 혁신이 있습니다.따라서 벌크 재료 특성만으로는 성능 요구 사항을 충족할 수 없는 애플리케이션에서 우위를 점할 수 있습니다.
요약 표:
| 속성 | CVD 수정 | 애플리케이션 예시 |
|---|---|---|
| 전기 | 전도성 금속/절연체를 통해 저항률을 조정하고 반도체 도핑을 가능하게 합니다. | 집적 회로, 마이크로 일렉트로닉스 |
| 기계 | 경도 증가(최대 90 GPa), 마찰 감소(60~80%), 내마모성 향상 | 자동차 부품, 절삭 공구 |
| 광학 | 굴절률 조정, 반사 방지/투명 전도성 층 생성 | 태양 전지, 디스플레이 |
| 열 | 열 확산 필름(2000W/m-K)을 증착하고 열 차단 코팅을 형성합니다. | 터빈 블레이드, 항공우주 부품 |
| 부식 | 핀홀 없는 보호 기능 제공; 소수성 표면으로 공구 수명 연장 | 화학 공정, 해양 환경 |
킨텍의 첨단 CVD 솔루션으로 소재 성능을 향상시키세요! 고온 용광로 시스템 및 심층 맞춤화에 대한 당사의 전문 지식은 반도체 도핑, 내마모성 코팅 또는 열 관리 등 기판이 엄격한 표준을 충족하도록 보장합니다. 팀에 문의 에 문의하여 당사의 MPCVD 기계, 진공로 및 맞춤형 공정 전문 지식으로 CVD 응용 분야를 최적화하는 방법을 논의하세요.내구성, 효율성 및 정밀도를 재정의하는 코팅을 위해 R&D 중심의 접근 방식을 활용하십시오.
고객이 찾고 있을 만한 제품:
다이아몬드 코팅을 위한 고성능 MPCVD 시스템 살펴보기 공정 모니터링을 위한 진공 지원 관찰 창 살펴보기 정밀 볼 밸브로 진공 시스템 업그레이드 초고진공 설정을 위한 밀폐형 커넥터 찾기 세라믹 라이닝 진공로를 통한 열처리 최적화
