SiC 저항기를 교체할 때는 수명과 성능을 보장하기 위해 안전, 열 관리, 적절한 설치 기술에 세심한 주의를 기울여야 합니다.주요 예방 조치에는 전원 차단, 열 충격을 피하기 위한 저항기 취급, 적절한 장착 정렬이 포함됩니다.또한 이 프로세스에는 전기 절연과 온도 균일성을 유지하면서 열팽창을 수용하는 호환 가능한 재료와 구성을 선택하는 것도 포함됩니다.이러한 단계는 다음과 같은 고온 애플리케이션에서 매우 중요합니다. MPCVD 장비 시스템에서는 저항기 성능이 증착 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.
핵심 사항 설명:
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전원 안전 및 취급
- 전기적 위험을 방지하기 위해 교체하기 전에 항상 전원을 차단하세요.
- 단자가 손상되지 않도록 스프링 클립과 알루미늄 브레이드를 조심스럽게 분리하세요.
- 이물질이 시스템을 오염시키지 않도록 오래된 저항기를 조심스럽게 제거하세요.
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열 충격 방지
- 갑작스러운 온도 변화를 피하기 위해 제어된 속도로 새 저항을 부드럽게 삽입하세요.
- 삽입 속도가 너무 느리거나(과도한 열 전달) 너무 빠르면(열 스트레스) 알루미늄 단자가 녹을 수 있습니다.
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마운팅 고려 사항
- 방향:수평 또는 수직 설치가 가능하지만 수직 설치에는 전기적으로 절연된 지지대가 필요합니다.
- 확장 자유도:저항기는 자유롭게 확장/축소해야 하며 장력이나 단단한 고정을 피해야 합니다.
- 포지셔닝:균일한 온도 분포를 위한 퍼니스 챔버의 중앙 가열 섹션.
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재료 호환성
- 단열재에는 알루미나(균일한 열) 또는 질화붕소(열충격 저항)와 같은 세라믹을 사용하세요.
- 고온에서 SiC와 반응하는 재료는 피하세요.
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전기 구성
- 균형 잡힌 열 분배를 위해 병렬 연결이 선호됩니다.
- 초기 가열 중 저항 변화를 모니터링하여 평형을 유지합니다.
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퍼니스 챔버 설계
- 최적의 방사 균일성을 위해 저항기 길이를 핫존에 맞추거나 원뿔형 홈(45°)을 사용합니다.
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설치 후 점검
- 장착 후 전기 절연 및 기계적 안정성을 확인합니다.
- 열 스트레스를 최소화하기 위해 전력을 작동 수준까지 서서히 높입니다.
저항기 정렬이 장기적인 용광로 효율에 어떤 영향을 미치는지 고려해 보셨나요? 올바른 설치는 저항기 수명을 연장할 뿐만 아니라 다이아몬드 박막 증착과 같은 중요한 공정에서 일관된 성능을 보장합니다.이러한 주의 사항은 고온 시스템에서 재료 과학과 엔지니어링 정밀도 사이의 미묘한 균형을 반영합니다.
요약 표:
| 주의 사항 | 주요 조치 |
|---|---|
| 전원 안전 | 전원을 끄고, 저항기를 조심스럽게 다루어 파편이 튀지 않도록 주의하세요. |
| 열 충격 방지 | 균열이나 단자 손상을 방지하기 위해 저항을 제어된 속도로 삽입합니다. |
| 마운팅 정렬 | 자유로운 확장을 보장하고, 중앙 가열 섹션을 통해 온도를 균일하게 유지합니다. |
| 재료 호환성 | 알루미나 또는 질화붕소 절연체를 사용하고 반응성 물질은 피하세요. |
| 전기 구성 | 병렬 연결을 선호하고 가열 중 저항을 모니터링합니다. |
| 설치 후 점검 | 절연 상태를 확인하고 전력을 서서히 높여 스트레스를 최소화하세요. |
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